曝光模式： 投影式
产地类别： 进口
分辨率： 1-2微米
光源： LED
光源波长： 可见光
曝光面积： 2.5mm×1.5mm-100um×100um
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ARMS SYSTEM无掩模光刻机/直写光刻机UTA-IA
UTA系列是将DLP投影仪盒金相显微镜相结合的缩小投影型无掩模曝光系统，其价格低于传统系统（用于掩模光刻的图案投影曝光系统） 可以使用专门为此目的开发的软件来创建想要的图案。
特点：
显微镜LED曝光单元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的图案投影曝光装置。
使用金相显微镜盒LED光源DLP投影仪，将具有机微米分辨率的任意图案投影到涂有抗蚀剂的基板上进行曝光。
图案可以在PC上自由创建。
因为可以在普通的室内环境中在各种大小盒形状的单晶薄片上形成电极，所以它比电子束光刻便宜且简单，不需要制造昂贵的电极图案掩膜。
应用：
薄膜FET和霍尔效应测量样品的电极形成。
从石墨烯/钼原石中剥离电极形成并评估其特性。
研发应用的图案形成。
技术参数：
由于显微镜和DLP的结合，可以用很低的成本来构建系统
易于使用的软件可以轻松的创建曝光图案
通过物镜放大倍率图案，可以进行大范围的批量曝光
可以连接到您自己的显微镜上（可选）
分辨率1um
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 南开大学 | 2020-06-10 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 安装时培训一次
免费仪器保养: 1年
保内维修承诺: 保修期免费更换零部件
报修承诺: 24响应
ARMS SYSTEM激光直写光刻机UTA-IA的工作原理介绍
激光直写光刻机UTA-IA的使用方法?
ARMS SYSTEMUTA-IA多少钱一台?
激光直写光刻机UTA-IA可以检测什么？
激光直写光刻机UTA-IA使用的注意事项？
ARMS SYSTEMUTA-IA的说明书有吗？
ARMS SYSTEM激光直写光刻机UTA-IA的操作规程有吗？
ARMS SYSTEM激光直写光刻机UTA-IA报价含票含运吗？
ARMS SYSTEMUTA-IA有现货吗？
