质谱氧氮氢气体分析仪

APIX超高纯电子气质谱分析仪 结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件的、性能卓越 的大气压离子化质谱仪 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的选择。 API-MS 为传统质量控制技术提供了一个成本-效益的替代方案，允许每种大宗气体中一系列潜在污染物浓度监测能够达到很低的测量下限；相较于其他技术，甚至能够优于100倍。 APIX产品线提供了更多完整的杂质分析，包括： H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4 、Kr和 Xe ，以及其他需要测量的杂质。随着 300 mm 晶圆生产者发布更严格污染物控制气体质量标准，这种技术将持续的成为ppt级杂质测量下限的首选技术。 特点： 快速在线测量（典型＜5秒）确保 了立即响应供气的波动状况 完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速检测 超高的灵敏度和10ppm的测量下限满足当下以及未来的严格的气体分析要求 备份能力在单个大气压离子化分 析器（API）在维护时，允许每 一台大气压离子化质谱仪（APIMS）支持多流路分析 针对于工厂控制和数据集中的标准 化工业通讯协议 (OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS, 等等)应用 超高纯氮气（UHP N2） 超高纯氩气（UHP Ar） 超高纯氦气（UHP He） 超高纯氢气（UHP H2） 运行原理APIX δQ 和APIX Quattro 采用阳离子大气压离子化质谱仪 （ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯气体中的污染物。进样时，样气以大气压或略高于大气压的压力进入离子源。 金属针设置在靠近由孔板行成的通向棱镜组的入口附近。它带有高的电压，能够产生电晕放电。这就产生了从孔板到针头的电子流。电子与离子源中 大量样气发生反应，从而导致大量样气气体分子的电离。 幸运的是，相对于氮气、氢气、氦气和氩气而言，这些出现在样气中浓度很低的污染物需要很少的能量就可以产生 电离。正是因为如此，任何污染物分子出现在样气中，它们与样气离子发生反应的几率就非常高。 这种反应发生时，电荷转移至污染物气体分子，这就形成了再次电离。 这个电荷转移导致非常高比例的污染物气体分子被电离。 事实上，这个效率比其他使用真空腔电离技术的质谱仪， 其效率要高1000倍。 部份样品、完全电离的污染物，经过一系列的减压透镜后，进入三重四级杆质谱仪。一个测量质量数达到300道尔顿（原子质量单位）三重四级杆能够确保实现所有污染物的精确测量。脉冲计数放大器的噪声等级仅为10个脉冲，每106个脉冲, 与大气压离子源配合后, 能够确保12数量级的测量下限，它可以低1012之一 (即1 ppt). 配置：APIX δQ的标准配置为一个单一机箱，它里面配置了1个大气压离子化质谱仪（API-MS）和 一个Air Liquide 气体处理单元，它能够用于ppb或ppt级自动校准。标准机箱是为 相对空气洁净且有温度控制的环境而配置；如果需要，一定数量的冷却降温和吹扫选项也可以满足更多环境需求。 APIX Quattro 标准配置使用了三个机箱，两个配置了4 个大气压离子化质谱仪（API-MS）独立机箱，和第三个装有一个Air Liquide 气体处理单元机箱。 四个质谱仪中的每一个都安装在滑轨上，以便向前拖出，便于维护。 顶部安装的机箱盖包含流路切换阀组， 用于采样气体连接。它允许多个流路连接到每个独立的 散装气体分析器。这种流路选择可以是手动或完全自动完成。每一个大气压离子化质谱仪（ API-MS ）都是独立的，并且都具备多流路切换功能。当一台质谱仪进行年度固定维护时，可以使用其余三台质谱仪监测四个散装气体。 在这两种配置的机箱盖组件包含一个氢安全系统，以确保质谱仪在氢气泄漏时安全关闭。这个安全设备使用独立于质谱仪供电。如果需要有限的机动性，可以提供一组车轮，使该质谱仪能够安全地从一个测试点推送到另一个测试点。 每一个质谱仪通过使用后备电池闪存、运行实时的操作系统的处理器控制。这个处理器作为一系列内部控制器的主人，它们之间的通过以太电缆实现互联。 这些微处理器中的每一个都能作为一个独立部件单独运行，例如气体处理器和多流路进样系统。气体处理器仅需要一个单独的校准气瓶并结合了来自渗透管装置的湿度校准。 内部配电装置通过内部分析仪网络进行监测和控制。 这一设计拓展了 GasWorks 软件的诊断能力。每一个多处理器网络提供了冗余的通讯渠道，允许质谱仪可靠、不需要电脑工作站独立运行，直接传送样品流路数据和诊断信息至DCS或SCADA系统。每一个通讯渠道都可被配置为点对点的 光纤通讯或是硬接线的电流回路、多点连接 。每个分析器都可以配置一个嵌入式opc服务器，与 Microsoft 主机或多种工艺网关协议(Modbus, Siemens, Allen-Bradley, 等.)实现无缝通信 。如果需要质谱仪提供硬接线模拟检测和数字报警输出， OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 协议将被完全支持，一系列硬件卡件能够使用。 Thermo Scientific GasWorks 软件 Thermo Scientific GasWorks 软件包为质谱仪操作提供了一个直观的、信息丰富且灵活的窗口。使用安装了Gasworks软件的一台电脑可以完成初始设置，过程数据和诊断信息的显示。我们也可以断开电脑与APIX的连接；APIX能够脱离与电脑的连接而独立运行于无人值守模式。 从设计概念到数代产品，完全认可的ISO 9001质量程序得到了软件团队的严格执行。 软件安装可以随时检查，以确保其可验证的完整性和正确性。软件更新可以远程上传。 技术参数测量方式APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器 APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器质量范围1-300 AMU离子源类型大气压离子化离子源背景＜1 ppt放大器和动态测量范围100 MHz脉冲计数型检测器脉冲计数通道电子倍增器检测噪声每106 有10个数检测下限 10 ppt (根据组份变化)分析时间（典型） 1s每个组份流路切换时间（典型）15分钟至 1 ppb适合的大宗气体H2 , N2 , Ar, He串口连接类型RS232, RS422, RS485检测的污染物H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)外形尺寸APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D) APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)

ONH5000是快速、准确分析氧、氮、氢元素的高效、高性能仪器，ONH5000整机采用模块化、一体化设计，即主机由可靠的脉冲电极炉、高灵敏高精度的检测系统、布局合理和气密性好的气路系统、可靠耐用的电源系统、先进稳定的电路系统、高校节能的水循环散热系统等六个独立的硬件模块单元组成。　　ONH5000氧氮氢分析仪适用于黑色金属、有色金属、超导材料、半导体材料、稀土材料、陶瓷材料、耐火材料等金属非金属固体材料中的氧、氮、氢含量的测定。产品可选型号产品名称型号应用描述ONH5000氧氮氢分析仪ONH5000-O定氧专用ONH5000-N定氮专用ONH5000-H定氢专用ONH5000-ON氧氮联用ONH5000-OH氧氢联用ONH5000-ALL全能型ONH5000工作原理　　金属和非金属固体材料中的氧氮氢元素是采用惰性气体保护的脉冲电极炉熔融分解样品、红外吸收法测氧和热导检测氮、氢，ONH5000氧氮氢分析仪可以同时测定氧、氮、氢三个元素含量，也可单测氧、氮或氢的含量。　　ONH5000氧氮氢分析仪配置功率8.0KW的惰性气体保护脉冲电极炉，炉温最高可达3500℃以上，脉冲电极炉采用程序控制升温，可选择功率控制或电流控制加热控制方式，实现样品的最佳熔融分解，同时根据分析元素来决定采用惰性气体中氦气或氮气的作为载气，将诸如黑色金属、有色金属、陶瓷材料、超导材料、半导体材料等各种金属非金属材料的样品进行高温热分解，样品中的氧与石墨坩埚中的碳反应生成一氧化碳（CO），氮和氢分别以氮气（N2）和氢气（H2）的形式逸出，载气将这些混合气送到转化炉中，一氧化碳（CO）转化为二氧化碳（CO2），通过转化炉后的混合气体被送到红外检测系统检测，将除去二氧化碳（CO2）等成分后含有氮气（N2）和氢气（H2）的混合气体送入热导检测器检测。红外检测系统和热导检测系统将测得的信号经放大、A/D转换等处理后，送入计算机进行数据处理，从而计算出氧、氮、氢元素在样品中的含量。仪器分析软件聚光科技ONH5000氧氮氢分析仪软件主界面ONH5000主要特点　　稳定可靠的脉冲电极炉系统　　全数字闭环控制脉冲电极炉；　　程序升温控制功率，具有恒功率、恒流、恒压、斜率控制等多种升温方式；　　更高精度的温度控制，更好的熔融释放效果。　　电路系统　　仪器运行控制电路与数据采集均采用模块化、无飘移设计；　　采用32位元精简指令集（RISC）中央处理器架构；　　电路系统内部运行uClinux操作系统，系统运行更快更稳定；　　采用通道完全独立，无顺序采样之干扰。　　气路系统　　整机一体化设计，布局更合理，气路系统气密性更佳；　　气路系统部件全部采用进口元器件；　　特有的气缸加双轴导向设计保证了下电极平稳升降；　　带有气幕保护的自动落料机构；　　稳定的流量、压力控制及待机节气工作模式。　　氧气检测系统　　集成固态红外传感器测定氧，可选多种量程的红外检测池；　　长寿命的贵金属微型红外光源，长期使用无衰减；　　高精度的窄带滤光片和红外传感器；　　特有的全量程线性定标技术，温度、压力、流量自动补偿；　　进口红外探测器和双红外检测池可选。　　氮、氢检测系统　　高电阻率、大电阻温度系数的高灵敏度热导检测器；　　高强度，低噪声的热丝元件的高稳定性热导检测器；　　无飘移的电路采集模块；　　特有的线性定标技术，具有更为宽广的检测范围；　　综合性能更佳的原装进口热导检测器可选。?ONH5000技术参数分析材料黑色金属、有色金属、超导材料、半导体材料、稀土材料、陶瓷材料、耐火材料等金属非金属固体材料测量范围氧：0.00001%～3.0%氮：0.00001%～3.0%氢：0～0.25%灵敏度0.000001%分析精度氧：0.0001% 或RSD≤1.0%氮：0.0001% 或RSD≤1.0%氢：0.00002% 或RSD≤2.0%分析时间通常为120～180s，包括冲洗、分析延时、分析时间仪器尺寸W700*D770*H820mm仪器重量约190Kg电源AC220V±10%，频率50Hz，波动＜±0.2%

氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONHp 2新的ELEMENTRAC ONH-p 2是一个功能强大的元素分析仪，用于测量无机材料如钢、铁、铜或陶瓷中的氧、氮和氢浓度。高灵敏度的非色散红外检测器和热导检测器能够检测从极低ppm到高百分含量的元素含量，给出可靠的结果。 创新的进样系统具有脉冲脱气和垂直进样设计，因此可以很方便的分析棒状、颗粒状以及粉末状等样品，最大分析重量高达2g。 ELEMENTRAC ONH-p 2元素分析仪满足或超越所有相关国际标准的要求，如ASTM E 1019或DIN EN 3976。氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONH-p 2• 封闭的气体系统降低载气的消耗并且提高检测灵敏度• 对于针状、粉末以及颗粒状材料都能很好的应用• 经济型的氩气可以作为载气供选择• 缩短分析时间• 感应功率高达8.5kw• 可选配自动清洁器• ONH分析仪可以可靠得分析不锈钢、有色金属、陶瓷、炉渣、矿石等样品氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONH-p 2 运行及分析过程步骤1:将样品信息输入到ELEMENTS软件中样品名称被输入到软件中，重量信息将被自动转移到软件中（见第2步）第2步：称量并将样品投入进样口ELEMENTRAC ONH-p 2分析仪能安全精确的分析几毫克至2克的样品。能直接分析棒状或者颗粒状的样品。对于粉末样品的分析，将会使用到镍囊，使用时镍囊不需要封口。第三步：分析然后将空石墨坩埚放置在下电极上，通过ELEMENTS软件点击开始，进行元素分析。软件会控制随后所有的分析步骤。第四步：输出数据分析开始后的120到180秒，被检测到的含量可以以报告的形式或者通过LIMS导出氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONH-p 2 配置ELEMENTRAC ONH-p 2元素分析仪也可作为单元素分析仪单单用于测量氧，氮或氢，或多元素配置测量ON, OH, NH，或ONH。氧气在最多两个红外检测器中以二氧化碳的形式被测量，而氮气和氢气则在热导电池中以单质形式被测量。ELEMENTRAC ONH-p 2元素分析仪使用氦气作为载气(也可选氩气)测量ON和氮气作为载气并且使用高灵敏度的热导检测器测量OH。不同长度的检测池高灵敏度热导检测器氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONH-p 2 一站式标准解决方案ELEMENTRAC ONH-p 2元素分析仪操作所需的化学试剂和过滤器安置在前面板上，在日常操作时可以隐藏在可移动的门后。这种安排大大减少了维护所需的时间，并增加了良好的用户体验。此外，创新的细节大大提高了测量的重现性。创新的样品进样口&脉冲脱气样品室全新ONH-p2的样品进样口的确保舒适的操作和稳定的重现性。不同形状的样品，如固体块、颗粒或镍囊中的粉末，可分析重量高达2000毫克，并在样品端口的脉冲脱气的帮助下迅速去除周围大气。然后它们垂直地落入预热过的石墨坩埚中进行分析。• 强力防止粉尘的堆积• 不再需要密封镍囊• 可以直接分析重量高达2000mg的颗粒样品• 维护方便并且耐用强大的催化剂在石墨坩埚中进行元素分析时，产生一氧化碳(CO)，一氧化碳在催化剂作用下转化为二氧化碳(CO2)，随后在红外检测器中被检测。易于维护的氧化铜催化剂确保其完全氧化，因此，即使复杂的材料，比如氧化物也能得到可靠的氧含量分析结果。封闭气体管理ELEMENTRAC ONH元素分析仪系列在高压下使用封闭的气体系统，保证被释放的样品气体能100%被送入检测器，确保了良好的灵敏度和重现性。氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONH-p 2 选配除了ELEMENTRAC ONH-p 2一站式解决方案，更有其它可选配件用于提高效率并且扩大元素分析仪的应用范围。Autoloader (coming soon)High-capacity automated sample loading is becoming an increasingly important factor for fast and robust O/N/H analysis in metals. The new autoloader for the ELEMENTRAC ONH-p 2 features a sample carousel with 32 crucible positions, as well as a correspondingly designed crucible magazine. This combination currently represents the largest sample loader on the market for analyzers with inert gas fusion.自动清扫仪样品在高达3000°C的温度下熔化在石墨坩埚中会导致上电极和炉膛中产生积碳，这将对ONH测试的重复性产生负面影响。 全新可选配的自动清扫仪能可靠地清除这些积碳，在高通量的情况下也能做到精确的元素分析，除此之外，元素分析仪还具有高效的气体校准功能和炉体清洁中的载气预清洁功能。软件 ELEMENTS基于 windows 的综合元素分析软件是所有元素生成元素分析仪必不可少的组成部分。 中央窗口(分析和结果)是日常工作所需的所有功能的起点。 从这里可以对分析过的样品进行分组和出口，或者登记和分析新的样品。 用户可以调用各种从属功能，如应用程序设置、校准、诊断或状态。 氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONH-p 2 典型樣品材料合金, 铝, 尘土, 碳化物, 铸铁, 陶瓷, 铜, 铁合金, 铁, 金属, 矿石, 难熔金属, 硅, 钢铁, ...氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONH-p 2 技术参数分析元素氢, 氧, 氮样品无机炉子校准垂直载样石墨坩埚应用领域钢铁、冶金、陶瓷、金属、工程、电子炉子脉冲炉功率高达8.5 kw，温度最高3000℃检测方式氧：红外吸收法测定； 氮和氢：热导法测定典型分析时间120 - 180 s化学品高氯酸镁、氢氧化钠、 氧化铜、 舒茨试剂载气压缩空气或氮气作为动力气；载气氦气：99.995%纯度；载气氮气：99.995%纯度；载气氩气：99.995%纯度，所有气体压力(2 - 4bar/ 30 - 60 psi)功率要求3~ 400 V, 50/60 Hz, 最大功率8,500 W设备尺寸（宽x高x深）56 x 78 x 64 cm重量~ 165 kg所需设备电脑,显示器,天平(精度0.0001克)选配件冷却循环器、气标单元、载气净化炉-脉冲炉功率高达8.5 kw氧/氮/氢 分析仪 ELEMENTRAC ONH-p 2 作用原理ELEMENTRAC ONH-p 2元素分析仪具有广泛的测量范围。分析样品时，样品称量后放入进样口。用载气脱气以防止大气气体(氧气和氮气)进入炉膛。 石墨坩埚在分析仪的脉冲炉中脱气，以减少可能的污染(如残余氢)。仪器稳定后，样品被投入坩埚中并熔化。一氧化碳是由石墨坩埚中的碳与样品中的氧反应而产生的。氮和氢以单质形式释放出来。载气(氦气)和样品气体通过过滤器，然后氧化铜催化剂将CO转化为CO2。 二氧化碳是通过红外检测器来测定氧含量的。用化学方法去除二氧化碳和水，在热导检测器中测量氮含量。在氢气分析的情况下，载气氮气以及样品气体通过舒茨试剂而不是氧化铜催化剂。作为另外一种选择，经济型的氩气可以用来测定分析过程中的氧和氮含量。