宽波段微型近红外仪

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  • 北京格致同德科技有限公司 银牌8年
    400-860-5168转3737
    北京格致同德科技有限公司于2015年成立，是一家专业从事实验设备、科学器材贸易与研发的高科技企业。公司以近红外光谱技术为主要的发展方向。依托强大的近红外技术力量，代理了美国VIAVI公司的MicroNIRTM系列微型近红外光谱仪，包括了用于在线分析的PAT-W、PAT-Wx、PAT-U、PAT-Ux、PAT-L、PAT-Lx以及用于现场分析的手持式MicroNIR OnSite W、用于实验室分析的MicroNIR PRO ES等多种产品，并成功将该系列产品推广到制药、食品、粮油、烟草等行业。公司在开展贸易工作的同时也投入大量精力于产品研发，到目前为止公司已经研发出了OLNIR-1700在线近红外光谱仪，TTNIR-1700台式近红外光谱仪等一系列近红外产品。在烟草、发酵、食品、军工等行业拥有众多业绩。
    主营产品：
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  • Specac 银牌8年
    400-860-5168转3766
    Specac 从1971开始生产销售,现今已经有45年的历史了。Specac总部坐落于英国Kent郡奥平顿，面积达25,000平方英尺Specac是世界上最领先的红外紫外以及XRF等样品制备配件的生产厂家，拥有先进的生产制造经验。我们为全世界各个知名的红外分析仪厂家提供配件和技术支持和服务。产品应用于世界各大领域。产品涵盖了从固体，液体到气体，粉末等所有红外分析样品的专业配件和组件。欧洲品质，经久耐用。Specac 是红外光谱组件及压片技术解决方案的专家，我们在红外样品解决方面 ，特别是在傅里叶变换红外光谱组件，衰减全反射ATR组件以及压片技术方面处于世界领先的位置。 我们致力于为红外光谱（IR）,近红外光谱（NIR）, X射线荧光光谱（XRF）,紫外/可见光谱（UV/VIS）等光谱设备提供样品制备技术和大量不同类型的红外组件。 产品包括衰减全反射（ATR）组件，反射模式组件，透射模式组件，漫反射组件，气体池组件，高温高压条件组件，全息偏振片等组件。 在光谱样品制备方面我们提供KBr和XRF压片机/压片模具和薄膜制备套装。 Specac同时提供大量在线光谱分析应用组件，包括不同类型的流通分析池和探针。这些设备广泛适用于液体和气体/蒸汽样品的紫外可见光谱和近红外光谱分析。 Specac 公司最新开发的Pearl 系列快速液体测定附件获得了巨大的成功，得到了客户的一致好评，将简单，快速，准确，易清洁的测试理念带到红外分析领域。 Specac 公司也是最早上市并成功应用衰减全反射ATR配件的厂家，我们新型的Quest ATR 附件是一款Specac最新设计的单反射ATR附件，适合于实验室红外光谱仪的中红外、远红外波段的固体，粉末，液体样品的直接分析。Specac已通过 ISO9001, ISO14001, FM and ATEX 认证Specac的目标是向广大客户提供价格优惠、技术领先，使用便捷的制样方案。我们致力于创新、质量与优异的售后服务。创新 – 汇聚工程师以及化学家的优秀才能，为客户提供最好的解决方案质量– 欧洲品质，工艺先进，经久耐用客户服务– 为客户提供卓越服务
    主营产品： 红外光谱仪   压片机   研磨机   偏振仪  
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  • 筱晓（上海）光子技术有限公司 金牌11年
    400-860-5168转3429
    公司简介筱晓(上海)光子技术有限公司成立于2014年，是一家被上海市评为高新技术企业和拥有“上海市专精特新企业称号”的专业光学服务公司，业务涵盖设备代理以及项目合作研发，公司位于大虹桥商务板块，拥有接近2000m² 的办公区域，建有500平先进的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室，为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。十年来，依托专业、强大的技术支持，以及良好的商务支持团队，筱晓的业务范围逐年增长。目前业务覆盖国内外各著名高校、顶级科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室，奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。公司自成立以来，始终遵循行业领先、诚信发展、探索创新、务实致远、以质取胜的服务理念，并在产品开发和销售中贯彻到底。公司自始至终秉承着国际标准的质量安全保障。多年来，公司一直致力于光学设备的设计开发，以及知识产权的保护。我们将不断完善管理机制和技术水平，为客户提供更安全环保的产品以及更优质的服务。应用领域医学医用相关产品分类：Wasach OCT光栅、 SLD 二极管、高速扫频激光器、SOA 放大器、光纤延迟线，OCT光谱分析仪光纤通讯与传感相关产品分类： 波分复用器、光纤放大器、高速光电探测器、锁频半导体可调谐激光器、强度/相位调制器、特种光纤、超窄线宽稳频激光器模块、光通讯DFB激光器......微波光子相关产品分类：20G信号发生器、高速电光调制器、高速光电探测器、高频相位/强度电光调制器、高速示波器 、任意波形发生器......气体分析相关产品分类：单模声光调制器 、超高反射率反射镜、光电探测器模块 、小型化气室、中红外气体吸收池、激光气体分析综合控制器、DFB激光二极管、中红外超连续谱光源、高精度波长计......量子计算相关产品分类： 外腔半导体激光器、空间光隔离器 、电光调制器、高精度波长计 、高精度光谱分析仪......激光雷达相关产品分类：窄线宽稳频激光器模块、FMCW DFB激光器、ns级超快光开关，光电平衡探测器......半导体分析相关产品分类：激光光束分析仪、激光芯片LIV测试系统、近红外相机、六轴位移台、光束匀化..机械视觉相关产品分类：经济型荧光近红外数字相机、低成本近红外InGaAs铟镓砷相机，中红外高性能非制冷相机、UV CMOS/CCD紫外波段相机、 SWIR镜头(C-mount）......先进光学实验室半导体综合分析实验室：半导体激光器光谱分析，功率测试，光束质量测试，线宽测试，各种光无源器件的测试，光纤放大器等等近红外产品的测试。目前我们在半导体测试，TDLAS激光法气体分析检测，CRDS腔衰荡系统,DTS高温传感以及DVS等项目研究开发领域有着深厚的积累，能够为客户提供更加精准的器件方案支持。未来前沿光学综合实验室：负责公司未来前沿科学的相关应用支持。其中包括：自适应光学，量子计算，微波光子，太赫兹，微纳光学等技术学习与推广应用，自适应光学：波前分析仪，可变形镜，近红外CCD相机；微波光子：是德科技20G矢量网络分析仪，25G信号发生器，20G高速调制器，22G光电接收器，光谱仪AQ6375B、771B-MIR波长计等测量设备 太赫兹：300G太赫兹发生器，太赫兹功率计，太赫兹时域光谱仪分析仪；微纳光学：微纳光纤制作平台，光学显微镜，2-4.5um超连续谱光源；量子计算：（在建中）-
    主营产品： 光学仪器组件   激光产品   光源   光学测量仪  
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  • VIAVI MicroNIR OnSite-W无线近红外光谱仪 400-860-5168转3737
    无线近红外光谱仪来了。MicroNIR OnSite-W无线手持近红外光谱仪产品设计符合人体工程学原理，结构紧凑，坚固抗震。无论生产现场还是野外应用，OnSite-W均是理想的近红外解决方案，其软件功能强大，用户界面直观，可在平板电脑或笔记本电脑上方便使用。操作人员仅需极少的培训即可在现场完成快速检测及分析。MicroNIR OnSite-W是目前世界上最小的全集成近红外光谱仪，该产品的核心技术是美国VIAVI Solutions公司的线性渐变技术（LVF），其优势是整机无任何移动部件，符合IP65 / IP67防尘防水等级要求。MicroNIR OnSite-W可广泛应用于食品，农业，医药和安防领域的现场快速检测。技术特点? 快速，实时，无损的近红外光谱分析技术；? 无线传输，超紧凑，符合人体工程学的手持式近红外光谱仪；? 具有用于一键式数据采集的多功能按钮；? 内置可充电电池，工作时间大于10小时；? IP65和IP67等级，适用于潮湿和多尘的复杂环境；? 可通过蓝牙或USB接口与平板电脑或者笔记本电脑连接，操作方便；? 与原装MicroNIR OnSite配件兼容；? 用户界面直观，方便用户使用。
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    厂商： 北京格致同德科技有限公司
    品牌： 唯亚威/VIAVI
    型号： MicroNIR OnSite-W
    价格： 30万 - 40万元
  • NIRONE SENSOR微型智能近红外光谱仪传感器 400-859-7900
    Spectral Engines 设计了智能的NIR 光谱传感器，使检测材料更加容易。 NIRONE SENSOR 体积小巧，可与实验室仪器相媲美。Spectral Engines公司现有4款不同型号的基于MEMS技术的微型近红外光谱探测器，具有技术成熟稳定、集成度高、体积小质量轻（小于15g）、适应性强、可选择性好、覆盖近红外全谱段的优点，为微型近红外光谱仪器的二次开发和应用提供了一种方便快捷的解决方案。 NIRONE Sensor高性能、紧凑、可靠的近红外光谱传感器。用于二次开发，非常方便的集成进您的终端仪器产品。体积小巧，性能卓越Spectral Engines 的 NIRONE Sensor 是一款将新一代高性能光谱测量仪器小型化、低成本化的仪器，它是真正坚固耐用的、基于微机电制造技术的微型化近红外光谱传感器。先进的技术NIRONE Sensor 采用基于MEMS 的法布罗- 珀罗干涉仪（完全可编程的光学滤光器）。传感器可覆盖全波长范围，或者在选定波长区间工作，NIRONE Sensor 的智能算法中包含了对温度稳定性的补偿修正。NIRONE Sensor 采用单点检测器替代线性阵列，可为各种应用提供解决方案。单点检测器与法布罗- 珀罗干涉仪技术的结合，可以检测比线性阵列检测更大的区域（由于线性阵列有缝隙），这极大的提高了信噪比，单点铟鎵砷检测器性价比高，为样品检测提供了更好的灵敏度和特征性。广泛的适应性NIRONE Sensor 将所有这些高科技特点集成进一个紧凑的模块，配备了单独的的电路连接器和可替换的前端光学部件，容易适配于各种终端产品设计。NIRONE 的评估套件为技术测试和应用研究提供很方便的手段。评估套件包含了USB 数据通讯板，可以通过界面友好的SensorControl 软件用PC 控制NIR 光谱仪传感器。核心价值适用于开发\ 定制符合您实际需求的的终端产品高性能的NIR 光谱仪，集成于小型模块内模块化设计，可以很方便的集成进各种终端产品中真正的近红外，具有更好的灵敏度和光学性能技术参数 项目参数备注型号/波长范围Wavelength range1150 – 1350nm (S 1.4)1350 – 1650nm (S 1.7)1550 – 1950nm (S 2.0)1750 – 2150nm (S 2.2)2000 – 2450nm (S 2.5)检测器类型Detector type单像素InGaAs波长分辨率（半峰宽）Wavelength resolution(FWHM)12 – 16nm (S 1.4)13 – 17nm (S 1.7)15 – 21nm (S 2.0)16 – 22nm (S 2.2)18 – 28nm (S 2.5)With an SMA-adapter and a fiber with 400 um core and 0.22 NA波长切换时间Wavelength switching time1 ms波长点Wavelength pointsMinimum step 0.1 nm,up to 512 in total最小步距为0.1 nm，最多可达512信噪比（int。time 0.1 ms）SNR (typical, w/o averaging) 15’000 (NIRONE 1.4) 11’000 (NIRONE 1.7) 7’500 (NIRONE 2.0 and 2.2) 1’500 (NIRONE 2.5)With external illumination and signal level of 75% of the maximum range波长温度稳定性Wavelength temperature response (max.)0.1nm /℃光源Illumination source钨灯x 2灯泡寿命Bulb life 40,000 hrs样品工作距离2-25 mm（带微型光反射组件）工作温度范围Operation temperature range10 - + 50°C功耗Power consumption1.1 W（峰值），300 mW（标称值）光学接口Optical interface漫反射光学器件SMA光纤连接器电接口Electrical interfaceUART（3.3V）；I2C（3.3V）和数字触发输入/输出（3.3V）机械接口可安装在PCB上。 两个M2螺丝与PCB连接。 PCB面积需要25 x 25 mm尺寸（宽x高x高）25 x 25 x 17.5 mm重量15克
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    厂商： 海能未来技术集团股份有限公司
    品牌： 未知
    型号： NIRONE SENSOR
    价格： 面议
  • 双相机全波段高光谱分选仪 400-628-5299
    GaiaSorter-Dual “盖亚”双相机全波段高光谱分选仪GaiaSorter-Dual “盖亚”双相机全波段高光谱分选仪的核心部件包括：350nm-2500nm全波段光谱范围的穹顶均匀光源、400~1000nm~2500nm全波段光谱相机、大行程电控移动平台（或传送带）、标准线性透射光源、计算机及控制软件等部分。 “盖亚”双相机全波段高光谱分选仪系统优势1、配备全波段光谱相机（400nm-1000nm、900~1700或1000-2500nm） 2、光谱相机类型、电控平移台扫描速度、文件保存路径等自动切换功能 3、数据采集时实现相机的自动切换 4、双相机数据文件的自动保存 5、近红外相机噪声坏点修复功能 6、自动光谱反射率校准 “盖亚”双相机全波段高光谱分选仪结构示意图如下： GaiaSorter -Dual“盖亚”双相机全波段高光谱分选仪的标准配置针对大小为300mm ( 长)*300 mm ( 宽)*100 mm ( 高) 的物品的测量，光谱范围350nm~2500nm可同时搭载两套不同波段相机，采用上下分体设计，样品平移机构可更换为传送带装置，实现批量的连续量测。GaiaSorter-Dual可以搭载Image-λ“G”系列高光谱相机，也可搭载Gaiafield系列便携式高光谱相机，相机具体规格参见相关产品规格表。主机基本规格：GaiaSorter-Dual“盖亚”双相机全波段高光谱分选仪主机样品空间尺寸（长x宽x高，最大）300mm×300mm×100mm样品台配置光学K9玻璃（透射测试）标准校准白板300mm×25mm×10mm光照空间均匀性≥95%系统电源输入电压AC 220V ±10%均匀光源额定工作电压DC12V光源额定总功率～400W系统总功率～500W工作距离可调整范围100mm～600mm样品台扫描行程*800mm系统输出端口USB、网线、串口等注*：工作距离调整范围为100mm~600mm，测试不同物体和使用不同款相机升降高度不一样 穹顶光源附件-线型穹顶光源（HSIA-DS）有效消除镜面反射、光照不均匀性 技术参数：光谱范围350-2500nm照射长度300mm灯泡寿命平均2000H溴钨灯电源额定输出功率400W输入电压DC12V内部材料属性聚四氟乙烯喷涂上输出口尺寸300mmx20mm下输出口尺寸300mmx50mm应用模式可单独使用备注：消除其他类型光源在照射样品时，由于角度不同，导致样品不同角度上的光照信息不一致，同时也消除镜面反光效应，适用于平面、球型、不规则物体的测试。 透射光源附件-线型白光光源（HSIA-LS-TS-30） 技术参数：透射光源HSIA-LS-TS-30光源灯泡类型卤素灯光谱范围350-2500nm照射长度30cm云光棒类型石英玻璃透射玻璃标准光学K9玻璃（标配）石英玻璃（高配）光学聚焦模式使用匀光棒构造，使输出的线光源能够汇聚成一条均匀的线，高度可调节灯泡寿命平均2000H溴钨灯电源额定输出功率150W输入电压220V AC±10%使用范围：测试样品尺寸范围：250mmx250mmx2mm（长x宽x高）用于较为平整、薄的样品测试（纸张、货币、）
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    厂商： 北京卓立汉光仪器有限公司
    品牌： 双利合谱/Dualix Spectral Imaging
    型号： GaiaSorter-Dual
    价格： 25万元
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  • 新型光谱发生器：可发射近红外波段任何期望波长的光
    光谱发生器L12194-00-70130可发射近红外波段的光，而且使用者可根据用途自行选择波长，其调节的最小单位间隔可为1nm。该产品内置高稳定性的光源和特有的光学系统，实现了小型化（144x236.5x513.5mm）、高稳定性、高输出功率和高效率。滨松新型光谱发生器L12194-00-70130L12194-00-70130作为一个新产品，与以往同为近红外波段的光谱发生器的产品相比，照射波长可以根据实际应用，拥有390~700nm，430 nm ~790nm，700nm~1300nm三种照射波段的选择。滨松将提供产品的样本软件，直接在PC上就可实现波长的控制。产品连接示例该产品可以广泛应用于生物发光刺激、光谱设备性能以及材料光学性能的研究和评估，另外，亦可作为显微镜和内窥镜的光源使用。产品应用点击按钮，查看详细产品信息：欢迎关注滨松中国官方微信号
    时间： 2015-06-12
    作者： 滨松中国
  • 可调谐红外双波段光电探测器，助力多光谱探测发展
    红外双波段光电探测器是重要的多光谱探测器件，特别是近红外/短波红外区域，相较于可见光有更强的穿透能力，相较于中波红外可以以较低的损耗识别冷背景的物体，因此广泛应用于民用和军事领域。当前红外双波段探测器主要面临光谱不可调谐，器件结构复杂而不易与读出集成电路相结合的挑战。据麦姆斯咨询报道，近日，合肥工业大学先进半导体器件与光电集成团队在光电子器件领域取得重要进展，研究团队研发了一种光谱可调谐的近红外/短波红外双波段探测器，相关研究成果以“Bias-Selectable Si Nanowires/PbS Nanocrystalline Film n–n Heterojunction for NIR/SWIR Dual-Band Photodetection”为题，发表于《先进功能材料》（Advanced Functional Materials, 2023: 2214996.）。第一作者为许晨镐，通讯作者为罗林保教授，主要从事新型高性能半导体光电子器件及相关光电集成技术方面的研究工作。该研究使用溶液法制备了硅纳米线/硫化铅异质结光电探测器（如图1（a）），工艺简单，成功将硅基探测器的光谱响应拓宽到2000 nm。基于有限元分析法的COMSOL软件分析表明，一方面，有序的硅纳米线阵列具有较大的器件面积，提升了载流子的输运能力，且纳米线阵列具有较好的周期性，入射光可以在纳米线结构之间连续反射，产生典型的陷光效应。另一方面，小尺寸的纳米线阵列可以看作是微型谐振器，可以形成HE₁ₘ谐振模式，增强特定入射光的光吸收。通过调制外加偏压的极性，器件可以实现近红外/短波红外双波段探测、近红外单波段探测、短波红外单波段探测三种探测模式的切换。器件还具有较高的灵敏度，在2000 nm光照下的探测率高达2.4 × 10¹⁰ Jones，高于多数短波红外探测器。图1 双波段红外探测器结构图及相关仿真和实验结果图2 偏压可调的近红外/短波红外双波段探测及探测率随光强的变化曲线此外，该研究还搭建了单像素光电成像系统（如图3（a）），在2000 nm光照下，当施加-0.15 V和0.15 V偏压时，该器件能对一个简单的英文字母实现成像。但是不施加偏压时，缺无法清晰成像。这表明只需要对器件施加一个小的偏置电压时，就可以将成像系统的工作区域从近红外调整到短波红外，具有较高的灵活性。图3 光电成像系统及成像结果这项研究得到了国家自然科学基金、安徽省重点研发计划、中央高校基本科研业务费专项资金等项目的资助。
    时间： 2023-06-29
    作者： 筱筱
  • 全球首套5米分辨率宽波段多光谱卫星数据集发布
    5月29日至31日，第六届亚洲大洋洲区域综合地球观测计划(AOGEO)国际研讨会在澳门大学召开。在GEO秘书处、AOGEO协调委员会联合主席、GEO中国专家委员会专家、以及现场参会代表等共同见证下，全球首套5米分辨率宽波段多光谱卫星数据集(JLS-5M)正式对外开放共享。全球用户可通过国家对地观测科学数据中心获取相关数据产品。 　　该数据集由长光卫星技术股份有限公司和中国科学院空天信息创新研究院联合研制，包含20个光谱谱段，其中主要地物特征谱段图像的空间分辨率达到5米。数据集的研制利用了吉林一号光谱01/02卫星在2020-2022年期间采集的覆盖“一带一路”沿线65个国家的L1级标准数据，采用剔除邻近像元效应的大气校正算法、场地定标与交叉定标等在轨绝对辐射定标技术以及指数产品验证进行数据集精度评价，最终构建了两期覆盖率达到90%以上、支持定量遥感应用的地表反射率产品数据集，数据量超过80TB。 　　作为国家重点研发计划国际合作专项的重要成果，该数据集有助于提高土地利用、资源管理、环境监测等领域的精细程度，进一步提升了国产优质卫星数据资源的国际影响力。 长光卫星技术股份有限公司成立于2014年12月1日，是我国第一家商业遥感卫星公司。公司由吉林省政府、中科院长春光机所、社会资本以及技术骨干出资成立，总注册资金19.7亿元。公司专注于商业航天领域，是我国第一家集卫星研发制造、运营管理和遥感信息服务于一体的全产业链商业遥感卫星公司。 中国科学院空天信息创新研究院是光电工程、航天航空和应用科技等三个主要领域兼具总体管理与技术总体职能的研究单位。中国科学院空天信息创新研究院始建于1956年的电子学研究所。
    时间： 2023-06-09
    作者： 情绪波动
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  • 近红外光谱特征波段解释分析

    做[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱[/color][/url]霉变检测，运用特征提取方法获取了一些波段，如1172nm，1902nm等，看文献中都有对波段的分析，比如该波段是由哪个基团的什么运动引起的，对应于什么物质（碳水化合物，水分，油），想请教下这些东西是怎么分析出来的，或者有大牛能否帮忙分析下我的特征波段，万分感谢！

  • 微型近红外光谱仪关键技术研究进展

    [color=#555555]微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]（Near Infrared Microspectrometer, NIM）是一种运用光学原理对物质的组分和含量进行定性、定量分析的微型无损检测仪器，具有小体积、低功耗、低成本、可现场在线分析、便于二次开发等优点，在农业生产、食品安全、生物医药、石油化工、航空航天以及国防安全等众多领域获得了广泛的应用。例如，Zeltex公司的手持式近红外粮食分析仪可直接显示出蛋白质等成分的含量。[/color][color=#555555]传统的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]体积大、功耗高、价格昂贵、难以二次开发，这极大地限制了其应用范围。直到上世纪90年代，随着微光机电系统（MOEMS）技术的兴起，微型化的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]器逐渐出现并不断发展，开启了[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]器的微型化进程。[/color][color=#555555]不论哪种类型的光谱仪，都需要将复色光色散为单色光，所以分光是光谱仪最基本的功能。文章根据不同的分光技术，主要介绍了光栅扫描型、傅里叶变换型和阿达玛变换型三种类型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]，并进行了分析及总结。[/color][align=center][color=#333333] [img=,650,234]http://www.gdkjfw.com/images/image/95851544146319.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#888888]图1 典型的微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url][/color][/align][color=#ffffff]光栅扫描型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url][/color][color=#555555]为了降低微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]的成本，德国夫朗禾费光学微系统研究所（IPMS）率先提出了以MOEMS扫描光栅为核心元器件的光栅扫描型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]，以集分光与扫描于一体，可以用价格低廉的单管探测器取代昂贵的阵列探测器，仪器的性能不再取决于阵列探测器而主要取决于扫描光栅（如图2所示）。[/color][align=center][color=#333333][img=,650,207]http://www.gdkjfw.com/images/image/9751544146319.jpg[/img] [/color][/align][align=center][color=#888888]图2 MOEMS扫描光栅型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]工作原理[/color][/align][color=#555555]随着MEMS技术的发展，微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]向超小型、宽光谱发展的趋势越来越大。[/color][color=#555555]2016年IPMS报道了一种体积只有方糖大小，可集成于手机的光栅扫描型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]，如下图所示，光谱范围950~1900 nm，分辨率10 nm，其核心元器件为集成了入射狭缝和出射狭缝的MOEMS扫描光栅芯片。扫描光栅面大小为3 mm×3 mm，采用静电梳齿驱动，并集成了压电式角传感器进行闭环控制，以实现高精度扫描。但由于镜面厚度只有数十微米，在扫描过程中，镜面容易出现动态变形的问题，影响光谱仪的信噪比。基于IPMS的核心技术，德国HiperScan公司在市场上推出了相应商品化的光栅扫描型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]。[/color][align=center][color=#333333] [img=,650,226]http://www.gdkjfw.com/images/image/45711544146319.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#888888]图3 德国IPMS研究所研制的超小型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url][/color][/align][color=#555555]国内相关科研团队也进行了光栅扫描型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]的研究。[/color][color=#555555]西北工业大学乔大勇团队研制的MOEMS扫描光栅，采用SOI制作，静电梳齿方式驱动，但同样存在镜面动态变形的问题，且静电驱动方式所需驱动电压较高。[/color][color=#555555]重庆大学温志渝团队提出的MOEMS扫描光栅，利用偏晶向硅片制作大面积闪耀光栅，具有较高的衍射效率和分辨率，采用较厚的光栅面能够有效地解决动态变形的问题，但同时带来了稳健性较弱的问题。扫描光栅采用电磁式驱动和传感，便于一体化集成，且所需驱动电压较低，但存在电磁干扰的问题。[/color][color=#555555]由于光栅扫描型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]有MOEMS扫描光栅这一可动部件，抗震性较差，因此开发出高性能的MOEMS扫描光栅是光栅扫描型仪器发展所需突破的关键技术问题，而且在拓宽光谱范围的同时需考虑解决二级光谱重叠的问题。[/color][color=#ffffff]傅里叶变换型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url][/color][color=#555555]傅里叶变换型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]是基于光干涉和傅里叶变换原理设计的，一般采用迈克尔逊干涉仪为核心部件。迈克尔逊干涉仪主要由定镜、分束器和动镜组成，而其中的动镜尤为关键。动镜主要做活塞式运动，其可动行程（即扫描位移）的大小直接决定了仪器性能。[/color][align=center][color=#333333] [img=,650,286]http://www.gdkjfw.com/images/image/80411544146319.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#888888]图4 迈克尔逊干涉仪工作原理及MOEMS工艺制成的干涉仪[/color][/align][color=#555555]2[/color][color=#555555]015年，德国夫朗禾费ISIT研究所提出了基于PZT薄膜的压电驱动MOEMS活塞镜，在163Hz谐振频率下扫描位移最大可达±800 μm ，但在扫描位移较大时存在镜面倾斜的问题。镜面倾斜限制了可用的扫描范围，而且会影响干涉信号，因此降低了分辨率。[/color][color=#555555]美国佛罗里达大学谢会开团队对电热驱动MOEMS活塞镜进行了深入研究，其采用双闭环控制的方法不仅有效减小了大位移扫描过程中的镜面倾斜幅度，同时实现了恒定速度的线性扫描，降低了信号处理的难度，使得光谱分辨率和抗干扰能力等性能大为提升。[/color][color=#555555]另一种类型的微型傅里叶变换[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]则是以层状光栅干涉仪为核心元件，利用单管探测器对零级光谱进行探测。相较于迈克尔逊干涉仪，层状光栅干涉仪不需要分束器、定镜等光学元件，结构更加简单、紧凑。[/color][color=#555555]土耳其科克大学Urey团队提出了一种基于垂直梳齿驱动器的层状光栅干涉仪，同时梳齿电极作为驱动器和可动光栅，产生的位移达到106 μm。[/color][color=#555555]随后，该团队又提出了稳健性更好的基于FR4板材的电磁驱动层状光栅干涉仪，及基于MOEMS技术更大位移的静电驱动层状光栅干涉仪，后者可动光栅的最大位移可扩展至±356 μm，并引入机械闭锁装置以提高抗冲击能力。新加坡国立大学周光亚团队也做了相应的研究。[/color][color=#555555]微型傅里叶变换[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]具有结构紧凑、光通量大、波长精度高、高分辨率等优势，适用于对分辨率要求较高的场合，但仍存在抗震性差的固有缺陷以及仪器性能受限于动镜或可动光栅所能实现的活塞位移等问题。目前，瑞士Arcoptix公司、日本滨松、埃及的Si-Ware Systems和国内的无锡微奥公司均推出了商品化的微型傅里叶变换[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]。[/color][color=#ffffff]阿达玛变换型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url][/color][color=#555555]阿达玛变换型微型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]是一种在色散光谱仪中引入阿达玛变换的数字变换型仪器，通过光的多路复用提高信噪比，而且一般采用单管探测器使成本较低，无移动部件使抗冲击能力也优于傅里叶变换型光谱仪。[/color][align=center][color=#333333] [img=,650,214]http://www.gdkjfw.com/images/image/76961544146320.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#888888]图5 微型阿达玛变换光谱仪工作原理及数字阵列微镜[/color][/align][color=#555555]基于数字微镜阵列的微型阿达玛变换[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]通过控制微镜单元的选通实现对光信号的开关调制，既减小了光谱能量损失，也抑制了杂散光的干扰，是近年来研究的热点。[/color][color=#555555]为了进一步减小光能量损失，重庆大学张智海等人结合H矩阵与S矩阵的优点，提出了一种互补S矩阵编码调制方案，在S矩阵的基础上将信噪比提升约1.4倍。[/color][color=#555555]2014年，长春光学精密机械与物理研究所刘华团队设计了一种光谱折叠式微型阿达玛变换[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]，采用两个子光栅使光谱范围有效拓宽为800~2000 nm，光谱分辨率也得到了提升，但杂散光较大。为了避免这一缺陷并降低光谱仪的复杂度，该团队又提出了一种采用自由曲面透镜准直的光谱折叠式光谱仪来拓宽光谱，光谱范围达800~2400 nm，可覆盖几乎整个近红外波段，仿真结果显示分辨率优于10 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