冷场发射扫描显微镜

8月23日，上海大学公开招标购买1台冷场发射扫描电子显微镜，预算650万元。　　项目编号：SHXM-00-20210813-1030　　项目名称：上海大学冷场发射扫描电子显微镜　　预算金额(元)： 6500000　　最高限价(元)： 6000000　　采购需求：　　包名称：冷场发射扫描电子显微镜　　数量：1　　预算金额(元)：6500000　　简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：　　合同履约期限： 合同签订后5个月内　　本项目( 不允许 )接受联合体投标。　　开标时间： 2021年09月15日 09:30

―新研发的冷场电子枪，分辨率更高，稳定性更强―　　采用日立高新技术公司(社长：久田 真佐男/以下简称日立高新)全新开发的冷场电子枪，实现超高分辨率下观察的同时，稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。新型冷场发射扫描电镜(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款机型，将从5月20日开始发售。　　扫描电镜广泛应用于纳米技术，半导体及电子产品，碳材料，生物及制药等领域。比如说，作为支撑新一代先进科学发展的核心技术，锂电池和燃料电池领域的碳材料和高分子材料，高效催化剂等的材料研究，正在全球范围内进行着。由于这些材料所具有的细微结构，所以电子显微镜不仅要有超高的分辨本领，还要具备在电子束损伤较小的低加速电压下的观察能力以及高灵敏度的元素分析能力，与此同时更要有良好的稳定性和可靠性。　　这次开始发售的SU8200系列，色差更小，更适合于低加速电压下的高分辨率观察。安装了全新冷场电子枪。该电子枪的主要特点为，利用空气分子付着在灯丝表面以前的这段时间，使灯丝处于长时间稳定状态，实现发射电流稳定、高亮度的观察。正是因为这些，即使在低加速电压下，也能获得大束流，高亮度，优秀的信噪比，良好的稳定性和可靠性。还有，新型冷场电子枪配合各个能谱厂家的大口径高灵敏度的X射线探头，即便是在低加速电压下也可做高空间分辨率的能谱分析(元素分析)。　　另外，在观察性能方面，通过提高马达台的抗震动能力和光路的优化将最高分辨率提高了20%(与前代机型SU8000系列相比)，在加速电压15KV时达到1.0nm，在着陆电压1KV时达到1.1nm。　　SU8200系列，根据样品大小及观察目的，使用不同的马达台和样品仓，共三种机型。　　【主要特点】　　新研发的冷场电子枪　　&bull 利用电子枪轰击后的高亮度稳定期，高分辨观察和分析兼顾　　&bull 大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)　　&bull 减轻污染的高真空样品仓　　&bull 通过顶部过滤器(选配项)实现多种材料对比度可视化　　【主要参数】 SU8220SU8230SU8240二次电子分辨率(*1)0.8 nm (加速电压15kV, WD=4mm, 放大倍率270 kx)1.1 nm (着陆电压1kV, WD=1.5mm, 放大倍率200 kx)(*2)着陆电压0.01-30 kV放大倍率20-2,000x(*3)马达台控制5轴5轴高精度5轴(*4)可动范围X0 - 50 mm0 - 110 mm0 - 110 mmY0 - 50 mm0 - 110 mm0 - 80 mmR360° Z1.5 - 30 mm1.5 - 40 mm1.5 - 40 mmT-5 - 70° 重复精度 小于± 0.5µ m *1: 用本公司样品拍的SEM像测量最小颗粒间的夹缝*2: 使用减速模式观察*3: 以127mm× 95mm（4X5照片尺寸）为基准的显示倍率*4: Regulus® （REGULated Ultra Stable：日立高新生产的高性能马达台）是日立高新技术公司在日本的注册商标.

仪器信息网讯 11月下旬，第七届中关村国际前沿科技大赛华东赛区决赛在安徽合肥中安创谷全球路演中心拉开帷幕。其中，由科大硅谷招引落地企业合肥国镜仪器科技有限公司（冷场发射扫描电镜项目）在华东赛区总决赛中荣获佳绩，成功入围2024年5月份的全球总决赛。比赛现场，来自高校院所、投资机构、领军企业的9位专家受邀担任评委。经过评委专家的细致点评、公正赋分，最终，12家硬科技企业脱颖而出，成功入围第七届中关村国际前沿科技大赛华东赛区十二强。据悉，11月份，合肥国镜仪器科技有限公司也参加了由合肥物联网科技产业服务管理中心等主办的“Tech 7创新者项目路演（第6期）”活动，在活动中，新型台式场发射扫描电子显微镜项目总经理方小伟指出，SEM广泛应用于科学研究、工业开发、（第三方）检测等领域。国内市场规模约50亿，国外品牌占据90%市场份额，国内品牌目前聚集在低端产品部分。随着国内科研和产业水平升级，市场规模呈现快速增长状态，总规模预期数年内达百亿以上。电子枪是SEM的信号源，是SEM的核心部件，电子发射技术是SEM的核心技术，对设备性能有决定影响，SEM设备的代际一般用电子发射技术的代际来区分。技术每提升一代，性能将提升十倍。目前国产电镜技术水平主要停留在第一代热发射，第二代热场发射技术国外占据绝对优势，第三代冷场发射技术被国外垄断（日立），第四代纳米线冷场发射电镜则具有亮度高、单色性好、体积小巧、高性价比易维护等多项优势。关于国镜仪器据公开信息，合肥国镜仪器科技有限公司于2023年10月12日注册成立，企业法人为方小伟。经营范围包括：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；工程和技术研究和试验发展；新材料技术研发；仪器仪表制造；智能仪器仪表制造；电子测量仪器制造（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）等。关于科大硅谷“科大硅谷”是聚焦创新成果转化、创新企业孵化、创新生态优化，以中国科学技术大学等高校院所全球校友为纽带，汇聚世界创新力量，发挥科技体制创新引领作用，立足合肥城市区域新空间打造的科技创新策源地、新兴产业聚集地示范工程。到2025年，汇聚中国科大和国内外高校院所校友等各类优秀人才超10万名；形成多层次基金体系，基金规模超2000亿元；集聚科技型企业、新型研发机构、科创服务机构等超1万家，培育高新技术企业1000家，上市公司和独角兽企业50家以上；形成一批可复制可推广的制度成果，成为全国科技体制创新的标杆。