赛默飞气相色谱仪操作说明书

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  • Thermo Scientific GC Isolink是连接气相色谱仪与同位素比质谱仪的重要的高灵敏度接口:用于正确和高精度在线测定有机混合物中单个组分13C/12C, 15N/14N, D/H或18O/16O同位素比。从气相色谱分离出的单体化合物,分别进入该接口,通过燃烧或高温转化的方法,分别转化成为用于IRMS分析的简单的气体 (CO2/ N2/ H2/ CO)。 * 双反应通道设计,一个用于CN,一个用于H或O;* 两个通道通过专利的四通阀技术自动切换,CNH或CNO分析时无需更换任何反应管,自动化软件操控。
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  • Thermo Scientific™ TRACE™ 1310 气相色谱仪可以帮助您提高生产率、加快响应时间,并降低仪器的持有 成本。 凭借功能多样性和超高的 GC 和 GC-MS 性能,它是较大规模生产和 QA/QC 实验室及研究机构的理想选择。 该系统拥有用于仪器控制、状态监测和仪器上方法开发的全触摸屏设计。 拥有即时连接进样口和检测器,您可以在数分钟内更换模块,重新配置不同的工作流程、开发新方法并省去维护停机时间。在数分钟内切换进样口和检测器无需特殊培训或工具,在两分钟内切换进样口和检测器显著减少维护停机时间,数分钟内即可重新运行样品立即切换至不同的工作流程或方法提高生产率使用系统稳健的进样口技术,分析较脏的基质样品也几乎不用清理具备出色的检测器灵敏度和微体积技术,可以以更少的注入量和最小的预浓缩结果,分析痕量化合物。采用可选的反吹技术,可以保护系统部件,并减少运行时间和维护采用低热容的进样口和检测器以及快速炉箱技术可以缩短样品运行的循环周期使用一系列样品处理选项,实现整个工作流程(从移液到进样)的自动化采用Thermo Scientific™ Dionex™ Chromeleon™ 色谱分析数据系统 (CDS) 软件简化并加速数据分析降低仪器持有成本重新配置该模块系统,以满足不同需求,或在几个 GC 之间共用进样口和检测器采用无需工具的便于检修模块最小化停机时间允许使用标准耗材,减少操作成本以低热容和快速启动的方式节能以微量样品功能最小化样品和溶剂消耗即时连接进样口和检测器选项氦气节省模块分流/不分流 (SSL);也可选反吹功能程序升温进样口 (PTV);也可选用反吹功能火焰离子化检测器 (FID)热导检测器 (TCD)电子捕获检测器 (ECD)氮磷检测器 (NPD)火焰光度检测器 (FPD)气体采样阀兼容Thermo Scientific™ TriPlus™ RSH 自动进样器Thermo Scientific™ TriPlus 300 顶空自动进样器Thermo Scientific™ TriPlus 100 LS 液体自动进样器Thermo Scientific™ AI/AS 1310 自动进样器Thermo Scientific™ ISQ™ 单四极杆 GC-MSThermo Scientific™ ITQ™ GC 离子阱 MS 系统(可删除,该产品工厂停产)Thermo Scientific TSQ™ 8000 三重四极杆 GC-MS/MSThermo Scientific™ TSQ Quantum XLS™ 和 Thermo Scientific™ TSQ Quantum XLS Ultra™ 三重四极杆 GC-MS 系统Thermo Scientific™ DFS™ 高分辨率 GC-MSThermo Scientific™ Delta V™ 同位素比质谱仪TRACE 1310 辅助炉箱认证国际电工委员会 (IEC): 61010-1:2001 - 61010-2-010:2003 - 61010-2-081:2001 + A1:(2003)CAN/CSA C22.2 No. 61010-1 和 UL 61010-1欧洲标准 (EN): 61010-1:2001 - 61010-2-010:2004 - 61010-2-081:2002电磁兼容性 (EMC) 和射频干扰 (RFI): CISPR 11/EN 55011: 1 组 A 类和 IEC/EN 61326-1:2006
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  • Thermo Scientific™ TRACE™ 1300E气相色谱仪全面开启气相色谱卓越性能、牢固性和简单经济无与伦比组合的新篇章。该全新气相色谱仪秉承TRACE™ 1300系列模块化进样口和检测器的创新设计,集成电子控制模块提供了与行业领先仪器相媲美的精确度和精密度。TRACE 1300E GC系统支持满足不同应用的灵活配置,搭配气体进样阀模块、紧凑型辅助阀箱、辅助气模块等,使其成为了化学、石油化工等领域的理想分析平台。结合功能强大的Thermo Scientific™ Dionex™ Chromeleon™ 色谱分析数据系统,直观的界面为您提供简单、快速的从样品到结果的工作流程,大大提高了实验室的分析效率和生产能力。模块化设计非常方便GC 的重新组合,提供许多无可比拟的优势最优化您的投资确保持续获得实验结果最大程度提高仪器运行时间并尽可能快速恢复运行最灵活的 GC 系统,最稳定可靠的结果提供不同进样口和检测器以满足常规实验室分析要求即时连接分流/不分流 (SSL) 进样口和即时连接气体进样阀 (GSV) 适用于各类液体和气体样品所有模块均存储其校准信息,确保其响应的高重现性、准确度和精密度,且在更换时相互之间的差异性最小繁杂的维护程序将一去不复返SSL 进样口创新设计,无需任何专用工具,可快速、完全地对进样口的衬管和隔垫进行快速维护SSL进样口体可以非常容易并完全地取出,且不需要拆卸模块的其他任何部分该系统可兼容标准耗材,允许使用TRACE 1300 系列 GC 系统及其他不同 GC 模块和品牌的通用衬管、隔垫和刃环,最大程度地降低运营成本 即时连接进样口和检测器选项? 分流/不分流 (SSL);也可选反吹功能? 即时连接气体进样阀 (GSV)? 即时连接-FID 氢火焰离子化检测器? 即时连接-ECD 电子捕获检测器? 即时连接-NPD 氮磷检测器? 即时连接-TCD 热导检测器? 即时连接-FPD 火焰光度检测器兼容? Thermo Scientific™ AI/AS 1310 自动进样器? 紧凑型辅助阀箱符合的安全标准:EN 61010 -1:2010(第3a版)IE C 61010 -1:2010(第3版)CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12UL 61010 -1:2012
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赛默飞气相色谱仪操作说明书相关的方案

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  • 赛默飞Trace 1600气相色谱仪的经验分享

    赛默飞Trace 1600气相色谱仪的经验分享

    操作赛默飞Trace 1600[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]有一年时间了。最开始的时候几乎什么都不懂,到现在完全熟练的操作[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url],可以说是付出了不少精力和时间。下面分享几个赛默飞使用经验。1、赛默飞的仪器方法可以在进样序列直接互相复制,然后修改赛默飞Trace 1600[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]的操作软件在建立仪器方法的时候是英文的,而且还有部分界面显示不全,这算是赛默飞最大的一个缺点了,我相信很多人看到英文后,学习的动力都会减半。直到现在我每次看到这英文界面还是很头疼,因此我更喜欢复制一个已有的仪器方法进行修改,修改的方法比新建一个方法简单多了。2、赛默飞点火前,要先升温到120摄氏度以上。熄火时,要先熄火,再降温。赛默飞的点火功能不像是岛津[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url],岛津[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]不用手动点火,开启GC后,到了一定程度,就会自动点火,很少存在低温点火导致FID积水的问题。但是赛默飞的氢气、空气、尾吹气、升温等都需要手动单击软件上面的按钮,这时候就存在一个点击顺序的问题。最开始的时候同事告诉我先升温,再点火。点熄火,再降温。但是从来没有人知道为什么这样做。后来我查看资料,知道了原因。那就是如果还没有升温到120度就点火,就容易让FID检测器积水。3、序列中选择“空白”,就是老化色谱柱老时间不是用的色谱柱需要进行老化,只需要在序列中选择仪器方法,设置为“空白”项,这时候赛默飞就只执行升温程序,不选择进样。其实这个地方是不合理的,正常情况大家都认为“空白”项应该是空白样品,但是在赛默飞这里只执行升温程序。4、赛默飞的曲线没有线性方程。很多时间我们需要线性方程,但是赛默飞的软件里面默认没有,我们可以在这里设置。 [img=,690,468]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/08/202308072342387879_9152_6118461_3.jpg!w690x468.jpg[/img]{"Y="+text(peak.calCoefficient(1),"0.0000")+"*X+"+text(peak.calCoefficient(0),"0.0000")+" R^2="+text(peak.rQuadrat/100,"0.0000") "0.000"} 这样曲线上面既可以看到线性方程了

  • 赛默飞的气相色谱仪1300

    我们用的是赛默飞的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]1300,前几天柱箱马达坏了,停了几天,修好之后点不着火了,喷嘴也洗了,还是点不着火,一点火信号就升到4.0pA,但又开始慢慢降低0.2pA了,请问是什么原因

赛默飞气相色谱仪操作说明书相关的耗材

  • 气相色谱仪 /
    高性能气相色谱仪/气相色谱仪 型号:HAD-GC900C简介:新型的HAD-GC900C系列气相色谱仪是我公司最新研制成功的微机化、高性能、多用途的分析仪器,可根据需要选择多种检测器组合满足普通实验室、日常生产、常规检测以及微量、衡量的分析要求,广泛应用于石油、化工、农药、环保、防疫、医药、电力、科研及教育等多项领域。主要性能特点:1、优良的柱箱性能,可实现真正意义上的近室温运行,可进行五阶程序升温,降温速度快。2、具有专用毛细管柱分流与不分流进样系统、具有隔膜清洗功能。3、键盘设定各种控制及检测器参数、机内具有故障自诊断、掉电保护、文件存储等功能。4、可根据使用要求选择多种检测器组合:FID、TCD、FPD、ECD、NPD等。5、仪器同时按装填充柱和毛细管柱两种气路系统,能满足目前色谱分析对各种色谱柱的选用及分析使用要求。6、采用LCD显示器,显示内容丰富、直观、便于操作。主要技术指标:温控范围:室温上8℃-399℃,控温精度:土0.1℃。控温路数:5路(可扩充为6路)程序升温阶数:5阶程升速率:0.1℃-40℃/min时间设定:0-9999.9/minFID检测器:检测限Mt≤1×10-11g/s(苯)噪音:≤0.02mv漂移:≤0.1mv/hTCD检测器:灵敏度:S≥3000mv.ml/mg(苯)噪音:≤0.02mv漂移:≤0.15mv/h配置1:双 FID 毛细管进样器+双填充柱进样器,双通道色谱数据工作站,毛细管色谱柱30m*0.32mm*0.5um(氮、氢、空气钢瓶自己当地配)配置2:双 FID 毛细管进样器+双填充柱进样器,双通道色谱数据工作站,毛细管色谱柱30m*0.32mm*0.5um,氮、氢、空发生器
  • Agilent 3000A 微型气相色谱仪 G2801A
    产品特点:Agilent 3000A 微型气相色谱仪快速、简单和便携* 完全便携 – 连接笔记本电脑,微型 GC 可以带到任何地方,任何现场* 更灵敏 – 高灵敏度热导检测器比传统热导检 测 器 的 灵 敏 度 高 十 倍 以 上,Agilent 3000A 微型 GC 现在包含一个性能强化选 项(选项 001),可以实现低 ppm 级的 痕量分析* EPC 控制 – 先进的数字电子化气路控制载气流速,增强了可靠性和精密度,同时进 一步简化了操作广泛的应用*天然气和 LPG * 炼厂气* 填埋气* 燃料电池* 矿山安全* 变压器油* 油气勘探* 化工制造* 环境* 常见永久气体订购信息:Agilent 3000A 微型气相色谱仪说明部件号1 通道或 2 通道微型气相色谱仪G2801A3 或 4 通道微型气相色谱仪G2802A天然气分析仪G2803A炼厂气分析仪G2804A便携式微型气相色谱仪G2805A可更换的色谱模块G2807A
  • 气相色谱仪 配件
    汽油中烃族组成测定专用气相色谱仪 型号:GC-9310-DW随着科学技术的突飞猛进和国家经济建设的快速发展,汽油中烯烃、芳烃和苯含量已成为汽油规格中重要的质量指标。因此测定汽油中的饱和烃、烯烃、芳烃和苯的体积分数和质量分数对监测有关炼油装置的工艺状况提供了重要的手段。对确定汽油的调和比例,了解不同汽油的质量特性非常重要。为了适应发展和打破国外仪器厂商对该行业的垄断,组织分析仪器行业专家和教授、以及在石油化工行业工作多年的高级工程师在GC-9310气相色谱仪的基础上二次研究开发了TZGC-9310-DW气相色谱仪,专门用于汽油中的烃族组成分析,该仪器性能稳定,分析结果精度高,操作简单易于维护,分析时间较短更有利于生产控制。适用范围:适用于测定汽油以及终馏点205℃以下的石油馏分中饱和烃、烯烃、芳烃和苯的含量;不适用于测定除苯以外的各烃族中单体组分含量。含量测定范围:烯烃5%~65%(体积分数)、芳烃5%~50%(体积分数)、苯含量0.3%~50%(体积分数)醇和醚对测定结果的影响:对含有醇和醚等含氧化合物组分的汽油样品,醇和醚将随特定的烃族出峰,应对结果进行校正。满足的标准:中华人民共和国石油化工行业标准SH/T 0741-2004工作原理:该仪器利于不同极性色谱柱和专用的烯烃吸附阱对汽油样品按族选择性保留的特点,通过适当的柱阀连接流程,实现对样品的族组成分析。当汽油样品经汽化后经过六通阀进入极性分离柱,芳烃组分于饱和烃、烯烃组分在此柱中分离。当饱和烃、烯烃经过烯烃吸附阱时,此时烯烃吸附阱处于低温吸附状态,烯烃组分被选择性保留,饱和烃则通过烯烃吸附阱,进入检测器检测;待饱和烃组分流出后切换六通阀,使烯烃吸附阱脱离载气流路,此时吸附阱温度开始上升至脱附温度,而芳烃中的苯由极性分离柱经过平衡柱后进入检测器;为了缩短分析时间,使其它芳烃组分快速出峰,切换另外一只六通阀,则极性分离柱成反吹状态,经平衡柱进入检测器检测;当吸附阱温度达到设定温度后,切换六通阀使烯烃吸附阱反吹状态接入载气流路,烯烃脱附并流入检测器检测,整个分析过程结束。仪器配置:主机GC-9310 1台FID检测器 1只柱箱1 1只柱箱2 1只柱箱3 1只极性分离柱 1支烯烃捕集阱 1支平衡柱 1支TCEP预柱 1支甲基硅酮石英毛细柱30m 1支六通阀3只载气纯化器 1只烃族标样1套含氧化合物测定标样1套工作站1套电脑打印机 1套

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赛默飞气相色谱仪操作说明书相关的资讯

  • Thermo C2V-200 Micro GC 微型气相色谱仪
    Thermo C2V-200 Micro GC 微型气相色谱仪快速、可靠、简便和高效 C2V-200 Micro GC 微型气相色谱仪是为快速可靠的气体分析而量身定制,可用于实验室或在线气体分析。&ldquo 集成微芯片技术&rdquo 结合窄口径毛细管柱带来了更高效的性能和更低的成本。C2V - 200设计理念是为了更简单实用、减少维护和更低的耗气量。设备采用模块化设计, 可更换的色谱柱模块集成加热控制部分, 且非常容易更换安装 由于采用了MEMS微芯片一体化设计的进样器和快速色谱柱温控技术,分析效率大大提升,常规气相色谱分析需要20分钟,在微型气相色谱上只要30s就可以完成,大大节约实验时间。 秒级的分析速度集成化的微芯片进样口可以有效保证进样精度,色谱柱快速程序升温更便于方法最优化,这些使得快速的、重复性高的分析结果在几秒内就能得到。 创新的色谱柱程序升温升温速度高达240° C/分钟,最多可分为4个温度段, 独特的功能满足更复杂快速的应用。 灵活的配置C2V - 200微型气相色谱仪每个模块都是独立的色谱仪,可以组合为一套色谱仪以应对复杂样品,每个通道也可以独立工作。可以随意增减色谱模块而无须其他额外投资。 快速启动、易于操控C2V - 200微型气相色谱仪可通过自身的在线控制和数据处理软件连接到个人电脑,使您更方便快捷的操作仪器。并且可以通过互联网在任何地方控制仪器。对于工业在线过程控制方案,一个可选的NeSSI(SP76-1.0)底座方便于色谱仪的配置和集成组合。 配置灵活的模块化配置方案1-4色谱通道可选,任意升级 色谱柱模块色谱柱模块包括可加热控温的进样器/检测器和可程序控温的色谱柱: PDMS、MS5A、U-PLT、U-BND、QS-BND和ALOX 进样&bull 样品类型: 0° C至50° C非冷凝性气体&bull 进样口尺寸: 1.6 mm (1/16&rdquo ) 不锈钢 接头可更换的5 &mu m 不锈钢过滤器&bull 推荐进样压力: 50kPa (7 psig), 5ml/min 最大进样压力100kPa(15psig) 可选件,可软件控制和一体化设计:&bull 双通阀&bull 样品泵 一体化的样品进样器和检测器&bull MEMS 集成一体化的进样器和检测 器,并内置色谱柱(无需毛细管连接) 进样器:&bull 进样器温度最高可达120° C&bull MEMS一体化设计&bull 进样体积: 0.2 &mu L至9.0 &mu L, 可通过软 件设置 检测器:&bull 双通道MEMS微型热传导检测器 (TCD)&bull 内部体积: 20 nL&bull 惰性涂层热丝 检出限&bull WCOT色谱柱: 2 ppm&bull PLOT色谱柱: 8 ppm与样品组分类型、样品进样方式、载气等相关因素有关. 检测范围&bull 分析范围: 2 ppm to 100%&bull 线形动态范围: 106 重复性 0.4% RSD 峰面积 0.2% RSD 峰保留时间(百分含量的C1-C6组分,WCOT 色谱柱,恒温25° C) 色谱柱温度控制方式2种方式:程序控温或恒温模式 恒温模式室温+50° C ~ 180° C&bull 温度稳定性: 0.2° C程序控温模式室温+50° C ~ 180° C&bull 升温速度: 240° C/min&bull 降温速度: 60° C/min&bull 温度稳定性: &le 0.2° C&bull 程序控温段: 最大4组温度段 载气&bull 四种载气: 氦气氢气氮气和氩气&bull 载气压力: 500 ± 10 kPa (72.5 ± 1.5 psig)&bull 色谱柱压力范围: 50 &ndash 300 kPa, 用户 可选&bull 载气口尺寸: 1.6 mm (1/16&rdquo ) 不锈钢 接头可更换的5 &mu m 不锈钢过滤器可选件: 每组通道可配备不同的载气 仪器控制&bull C2V-200 操作软件,兼容windows XP和Vista操作系统&bull 通讯接口: USB 2.0和RS-232/RS-485&bull 可同时在线分别控制4通道GC模块&bull 可自行扩展检测方法&bull 每个独立通道可单独编辑方法 数据处理&bull 峰识别及整合&bull 单独运行或连续报告&bull 趋势分析及数据统计 软件扩展&bull NGAC-天然气应用模块, 依据ISO 6976计算C6++ 电源电源2个GC通道:&bull 输入: 100-240 Vac, 50-60 Hz, 200 VA&bull 输出: 2x24 Vdc at 4 A typ. 20 W, max.2x100 W 环境条件&bull 环境温度: 10° C - 35° C&bull 相对湿度: 5 ~ 85%,无凝集&bull 最高海拔: 至2000米 规格尺寸/重量-单个色谱模块最大重量: 3.5kg/1kg高度: 15cm/12.5cm宽度: 12cm/8.5cm长度: 12cm/6cm 关于赛默飞世尔科技赛默飞世尔科技(纽约证交所代码:TMO)是科学服务领域的世界领导者。我们致力于帮助我们的客户使世界更健康、更清洁、更安全。公司年销售额接近110 亿美元,拥有员工约37000人。主要客户类型包括:医药和生物技术公司、医院和临床诊断实验室、大学、科研院所和政府机构,以及环境与工业过程控制行业。借助于Thermo Scientific 和Fisher Scientific 两个首要品牌,我们将持续技术创新与最便捷的采购方案相结合,为我们的客户、股东和员工创造价值。我们的产品和服务有助于加速科学探索的步伐,帮助客户解决在分析领域所遇到的各种挑战,无论是复杂的研究项目还是常规检测或工业现场应用。 如需了解更多技术信息, 欢迎来电来函咨询!联系电话:010-5867 8333电子邮箱:ifac@intermasschina.com
  • 【行业应用】赛默飞气相色谱质谱法助小儿遗传代谢病快速筛查
    赛默飞世尔科技(以下简称赛默飞)近日发布小儿遗传代谢病的气质快速筛查解决方案。通过采用准确、敏感性高、特异性强的赛默飞气质联用仪,成功建立了婴幼儿遗传代谢病的快速筛查方法,构建了筛查遗传性代谢疾病的有效手段。 婴幼儿遗传性代谢病种类繁多,临床表现常常是非特异性的,且多无明显的神经系统定位体征,只凭临床表现往往很难诊断。气相色谱- 质谱(GC-MS)检测技术作为化学诊断方法,首先由K-Tanaka 于1966 年应用于代谢性疾病的诊断,从1992 年起该方法经过多次改进,目前用此方法同时筛查氨基酸、有机酸、糖代谢异常及脂肪代谢紊乱等一百多种疾病。利用全新一代 Thermo ScientificTM TRACETM 1300 气相色谱仪 - Thermo ScientificTM ISQTM系列四极杆 GC-MS 系统进行小儿遗传代谢病的筛查完全可行。尿液经尿素酶处理后,衍生用气质联用仪分析,Tracefinder 软件可以直接给出需要的比值结果,操作简单方便。该方法用于411 例IMD高危儿尿液筛查,筛查结果检测出代谢异常269 例。该方法准确,敏感性高,特异性强,是筛查遗传性代谢疾病的有效手段。 更多产品信息,请查看:TRACETM 1300 气相色谱仪www.thermoscientific.cn/product/trace-1300-gas-chromatograph.html ISQTM 系列四极杆 GC-MS 系统www.thermoscientific.cn/product/isq-series-single-quadrupole-gc-ms-systems.html 解决方案下载:www.thermoscientific.cn/content/dam/tfs/Country%20Specific%20Assets/zh-ch/CMD/Chrom/others/AN_C_GCMS-44-Rapid-Screening-of-inherited-metabolic-diseases-in-children-based-on-Gas-Chromatography-v1-.pdf ---------------------------------------------------关于赛默飞世尔科技赛默飞世尔科技(纽约证交所代码:TMO)是科学服务领域的世界领导者。公司年销售额170亿美元,在50个国家拥有约50,000名员工。我们的使命是帮助客户使世界更健康、更清洁、更安全。我们的产品和服务帮助客户加速生命科学领域的研究、解决在分析领域所遇到的复杂问题与挑战,促进医疗诊断发展、提高实验室生产力。借助于首要品牌Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific和Unity Lab Services,我们将创新技术、便捷采购方案和实验室运营管理的整体解决方案相结合,为客户、股东和员工创造价值。欲了解更多信息,请浏览公司网站:www.thermofisher.com 赛默飞世尔科技中国赛默飞世尔科技进入中国发展已有30多年,在中国的总部设于上海,并在北京、广州、香港、台湾、成都、沈阳、西安、南京、武汉、昆明等地设立了分公 司,员工人数约3800名。我们的产品主要包括分析仪器、实验室设备、试剂、耗材和软件等,提供实验室综合解决方案,为各行各业的客户服务。为了满足中国市场的需求,现有8家工厂分别在上海、北京和苏州运营。我们在全国共设立了6个应用开发中心,将世界级的前沿技术和产品带给国内客户,并提供应 用开发与培训等多项服务;位于上海的中国创新中心结合国内市场的需求和国外先进技术,研发适合中国的技术和产品;我们拥有遍布全国的维修服务网点和特别成 立的中国技术培训团队,在全国有超过2000名专业人员直接为客户提供服务。我们致力于帮助客户使世界更健康、更清洁、更安全。欲了解更多信息,请登录网站:www.thermofisher.com请扫码关注:赛默飞世尔科技中国官方微信
  • 赋能创“芯” | 赛默飞电子气体气相色谱分析解决方案
    赋能创“芯” | 赛默飞电子气体气相色谱分析解决方案原创 飞飞 赛默飞色谱与质谱中国 关注我们,更多干货和惊喜好礼高丽电子气体是半导体工业中使用的一类特殊气体,广义上的电子气体是指具有电子级纯度的特种气体,广泛应用在包括集成电路、显示面板、半导体照明和光伏等泛半导体行业。电子气体按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。其中,特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺,高纯气体则主要用作稀释气和运载气。按纯度等级和使用场合分类,可以分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。按用途可分为大宗气体,包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等;电子特种气体,包括笑气、氨气、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、甲烷等气体。电子气体的使用对电子工业的发展至关重要,随着技术的进步,对电子气体纯度和洁净度的要求也越来越高,需要达到5N(99.9999%)以上的纯度,因为即使是痕量级杂质和污染物也会对最终器件质量和制造产量造成严重影响。赛默飞针对电子大宗气体、电子特气分析需求,推出高纯气分析解决方案。配置Trace1600系列气相色谱主机、脉冲放电氦离子检测器(PDD)、可安装色谱柱的大体积阀箱、带吹扫保护气阀的多阀多柱分析系统等,为用户提供数十种电子气体杂质的检测方案。01高纯氙中杂质分析氙气是一种天然稀有的惰性气体。由于具有较高的密度,低导热系数及可吸收X射线等特征,氙气被广泛的应用于电子电器,光电工业,医疗,电子芯片制造等行业。近年来随着氙气被应用于越来越多高端性产品的生产,行业对氙气纯度的要求也非常严格。赛默飞Trace GC-PDD系统可对高纯氙气中ppb及至ppm级浓度的氢气,氩气,氧气,氮气,一氧化碳,甲烷,二氧化碳,氧化亚氮,氪气,六氟化硫,六氟乙烷等杂质进行定性定量检测,其灵敏度完全符合GB/T 5828-2006的要求,同时具有优异的分离度和重现性。1.1仪器配置及色谱分析条件表1 气相色谱仪仪器配置及色谱分析条件(点击查看大图)1.2氙气中杂质分析色谱图如图1所示,标准气体中氢气,氩气,氧气,氮气,一氧化碳,甲烷,二氧化碳,氧化亚氮,氪气,六氟化硫,六氟乙烷等组分均得到良好的分离效果,氧气和氩气实现了基线分离(分离度大于1.5)。标气中浓度较大的氙气组分通过反吹放空,不进入检测器,从而避免了样品中氙气基质对目标组分的干扰。图1 高纯氙气中杂质典型色谱图(点击查看大图)1.3重现性表2分别列出了各个组分样品连续进样6次的峰面积重现性:各个组分的峰面积相对标准偏差(RSD)均低于1%;表3分别列出了各个组分样品连续进样6次的保留时间重现性:各个组分的保留时间重现性相对标准偏差(RSD)均低于0.01%。表2 各杂质连续6针进样峰面积重现性(点击查看大图)表3 各杂质连续6针进样保留时间重现性(点击查看大图)从测试结果可以发现,方案完全满足国标GB/T 5828-2006中对各杂质组分的检测要求。Trace GC-PDD系统在高纯氙气痕量杂质的分析中表现出优异的性能。反吹技术避免了氙气基质对系统的干扰,高分离效率色谱柱的使用实现了无需使用冷却装置即可分离氩气和氧气。02高纯氪中杂质高纯氪无色、无臭、无味、无毒、不可燃的单原子气体,化学上惰性。广泛应用于各类照明中,是良好的保护气和发光气。还应用于电真空、激光器、医疗卫生等领域。目前,高纯氪主要由大型空分设备从空气中提取,因其在空气中含量极少。因此售价高昂,被誉为“黄金气体”。由于高纯氪中杂质组分含量要求极低,脉冲放电氦离子化检测器(PDD)对痕量杂质组分有很高的灵敏度,被用于做高纯气体中痕量杂质的检测。针对以上检测需求,赛默飞采用Trace 1600系列气相主机、带有脉冲放电氦离子检测器(PDD)、多阀多柱分析系统,实现稀有气体高纯氪中痕量的氢气,氩气,氧气,氮气,一氧化碳,四氟化碳,甲烷,二氧化碳,氙等9种杂质含量的检测。方案分离效果好,检测限低,重复性好,完全满足标准GB/T 5829-2006 氪气的检测要求。2.1仪器配置及色谱分析条件表4 气相色谱仪仪器配置及色谱分析条件(点击查看大图)2.2氪气中痕量杂质分析色谱图按照2.1的色谱分析条件,对标气样品进样测定。如图2所示,以高纯氪为底的标准气体中痕量的氢气,氩气,氧气,氮气,一氧化碳,四氟化碳,甲烷,二氧化碳,氙各组分离效果理想,氧气和氩气实现了基线分离(分离度大于1.5)。标气中绝大部分的基质组分氪气通过阀切换被放空,不进入检测器,从而避免了基质组分氪气对痕量目标组分的干扰。图2 高纯氪气中痕量杂质典型色谱图(点击查看大图)2.3重复性连续进标气样品6针,考察高纯氪标气中各样品组分的峰面积重复性,其峰面积相对标准偏差(RSD)均低于2.33%,重复性结果见表5;表6是高纯氪标气中各个样品组分连续进样6次的保留时间重复性结果,其保留时间重复性相对标准偏差(RSD)均低于0.03%。表5 高纯氪标气中各杂质组分连续6针进样峰面积重复性结果(点击查看大图)表6 高纯氪标气中各杂质组分连续6针进样保留时间重复性结果(点击查看大图)从测试结果可以发现,方案完全满足国标GB/T 5829-2006中对各个杂质组分的检测要求。方案实现一次进样,完成高纯氪中多痕量杂质组分的检测,通过阀放空技术,有效避免了高纯氪基质对痕量杂质的干扰;优化的色谱柱分析系统实现了样品气中氩气和氧气的基线分离。03电子特气六氟化硫和三氟化氮中杂质分析赛默飞针对电子气体六氟化硫和三氟化氮中杂质检测的要求,配置 Trace 1610和大体积色谱阀箱、双通道设计、配置两个PDD检测器。一次进样实现六氟化硫和三氟化氮样品中H2, O2+Ar, N2, CH4, CO, CF4, CO2, SF6, N2O, SO2F2杂质组分分析,方案满足标准GB/T 21287和GB/T 18867的检测要求。3.1仪器配置及色谱分析条件表7 气相色谱仪仪器配置及色谱分析条件(点击查看大图)3.2六氟化硫和三氟化氮中杂质分析色谱图按照3.1的色谱分析条件,分别对六氟化硫标气和三氟化氮标气样品进样测定。F-PDD通道用于分析六氟化硫和三氟化氮样品中H2, O2+Ar, N2, CH4, CO, 杂质组分;B-PDD通道用于分析六氟化硫和三氟化氮样品中CF4, CO2, SF6, N2O, SO2F2杂质组分。六氟化硫中杂质组分典型色谱图见图3和图4;三氟化氮中杂质组分典型色谱图见图5和图6。图3 六氟化硫中杂质分析F-PDD通道色谱图(点击查看大图)图4 六氟化硫中杂质分析B-PDD通道色谱图(点击查看大图)图5 三氟化氮中杂质分析F-PDD通道色谱图(点击查看大图)图6 三氟化氮中杂质分析B-PDD通道色谱图(点击查看大图)滑动查看更多3.3重复性连续进标气样品6针,考察三氟化氮标气中各样品组分的峰面积重复性,其峰面积相对标准偏差(RSD)均低于2.88%,重复性结果见表8。表8 电子气体三氟化氮标气中各杂质组分连续6针进样峰面积重复性结果(点击查看大图)从测试结果可以发现,方案完全满足国标GB/T 21287和GB/T 18867中对各个杂质组分的检测要求。方案实现一次进样,双通道同时分析,完成电子气体六氟化硫和三氟化氮中杂质的检测。总 结赛默飞提供模块化气相色谱仪(Trace 1600系列)、模块化PDD检测器、搭载功能强大的大体积阀箱多阀多柱分析系统,为多种电子气体中痕量杂质分析提供高效的解决方案。实现一次进样,完成样品中痕量杂质组分的检测;方案通过阀放空技术,有效避免了高纯基质组分对痕量杂质的干扰;方案可提供填充柱分析系统或毛细柱分系统,优化的毛细柱分析系统实现了样品气中微量氩气和氧气的基线分离。此外,赛默飞在电子气体、高纯气分析领域,为广大用户提供更多完全定制化的解决方案,满足用户各不相同的检测需求。如需合作转载本文,请文末留言。

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