推荐厂家
暂无
暂无
1 背景某日,SEM正常测试中。每更换一批样品,需要去样品室(Chamber)真空和抽真空,在有一次更换样品之后的抽真空过程出现故障。现象表现为软件界面指示Chamber Pressure的读数为-,不显示数值。通常当Chamber真空值在真空计的读数范围之外时,比如从皮拉尼(Pirani)切换到潘宁规(Penning Gauge)和样品室打开时(即大气压),该值才会显示为-。正常的情况下,由低真空到高真空,都会经历真空计从皮拉尼到潘宁规的过程,且这个过程时间非常短暂,所以只能短暂的看到Chamber Pressure显示为-的过程,甚至没有显示为-就已经到潘宁规的检测范围,即显示为**E-1 Pa或更小的数值(数值越小,真空度越高)。现在的情况是,Chamber Pressure显示为-,而且不变化了。通常要等真空值到**E-3 Pa,我们才打开高压,进行后续的测试,此故障导致无法开高压,也就无法继续工作了。根据以往的经验,导致此故障的原因是潘宁规出问题。考虑到仪器已经出保,请工程师来维修并不划算,于是我们自己尝试着先修一下。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/10/201210102311_395878_2193245_3.jpg图1 Chamber Pressure显示为-的时刻2 准备工作工具:一套六角扳手,一把螺丝刀,几块干净的无尘布,一双一次性橡胶手套,氮气,相机(非必需)。其中无尘布是用来垫潘宁规和清洁的,氮气是用来吹潘宁规里面的灰尘和碎屑的,也可用其它无害气体或者洗耳球(效果没那么好)代替。相机是用来记录拆解的过程的,便于原样装回去。3 维修过程(注:本扫描电镜型号为FEI的Nova NanoSEM 230,其它厂商或型号的具体操作可能不同,请先咨询工程师;步骤仅供参考,本人不承担因参照此步骤而引起的损失。)3.1 关扫描电镜场发射灯丝。场发射型扫描电镜平时灯丝都是常开的,只有在长时间(如1个月以上)不用或者出故障时才会关掉。虽然开关灯丝对灯丝本身的损耗较大,但是迫不得已,必须关掉。具体操作为在supervisor账号下的Alignments标签下的5-Emitter Startup,点击Start按钮后出现界面,点Emitter Off,等待倒计时结束(约5分钟)。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/10/201210102313_395881_2193245_3.jpg图2 Emitter Startup 下的Emitter Off3.2 关扫描电镜系统。拆潘宁规之前必须断电,所以整个系统都要关掉。在灯丝关掉之后,退出软件(Microscope User Interface),等待提示UI stopped之后点Stop,等待所有的模块前的图标都变成黑色(即Stopped),然后点被红色粗线条框框起来的Shutdown System,最后关掉Microscope、Support、EDAX等几台计算机。Shutdown System外的红色框在界面上就是存在的,说明这个按钮十分重要,不能轻易点。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/10/201210102322_395884_2193245_3.jpg图3 Stop UI, Stop, and Shutdown System3.3 拆潘宁规。①拔掉潘宁规与扫描电镜的连接线,如图4所示。http://ng1.17i
最近看到扫描电镜的减震方法非常多,其中最常见的大家说的是机械减震和气垫减震,还有主动减震,请教一下,这几种减震方法主要原理是什么呢?各种减震方法的优缺点在哪里?听说气垫减震时间长了以后,橡胶会老化,若是气压太大,则会损坏气垫,若是气压小,则又起不到减震的效果,请问会不会存在这样的问题呢?
刚引进的一台扫描电镜据说有防震功能,但是在使用时发现,每次使用都需要打气重新找平衡,否则电镜主腔体部分左右发生倾斜,请问这属于正常现象吗?