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恳求高手赐教,如何分析四氟化硅气体以及其中的各个杂质(氧气,二氧化碳,氯化氢,氟化氢等),要求精确到ppm级别联系信箱:jxfgh@sina.com
我想分析四氟化硅气体,看有没有合适的分析方案,及其所要用到的仪器,请高手赐教,信箱:jxfgh@sina.com,电话13949653048四氟化硅气体中还要分析其中的杂质的含量,如:氧气、氮气、二氧化碳、氯化氢等具体指标如下:项目 指标 纯度(SiF4),% 重量比 ≥98 惰性气体,% 重量比 ≤1 二氧化碳(CO2),% 重量比 ≤0.2 二氧化硫(SO2),% 重量比 ≤0.05 盐酸(HCl),% 重量比 ≤ 1.5氢氟酸(HF),% 重量比 ≤0.5 水份(H2O),% 重量比 ≤0.01 氧(O2),PPm 重量比 ≤50 [em0808]
三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫,三氟甲磺酸,这些高纯气体怎么分析?跪求分析方法