匀胶显影机

近日，芯源微披露投资者关系活动记录表指出，公司前道涂胶显影机与国际光刻机联机的技术问题已经攻克并通过验证，可以与包括ASML、佳能等国际品牌以及国内的上海微电子（SMEE）的光刻机联机应用。芯源微表示，涂胶显影机在Iline、KrF、向ArF等技术升级的过程中，主要技术难点在于涂胶显影机结构复杂，运行部件多。研发升级在技术上有很大的跨度，主要体现在颗粒污染物的控制方面，例如烘烤精 度、多腔体的一致性及均匀性、不同光刻胶的涂胶显影工艺精 细化控制，以及设备整体颗粒污染物控制等。据悉，当前，全球半导体设备市场的主要份额基本被国外厂商占据，如美国应用材料、荷兰阿斯麦、美国泛林集团、日本东京电子、美国科天等，为了突破这一卡脖子技术，近年来，国产半导体企业亦在奋力追赶，希望尽早实现国产替代。资料显示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务。图片来源：芯源微公告芯源微产品广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域，产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于8/12英寸单晶圆处理及6英寸及以下单晶圆处理。目前，芯源微的主要客户包括中芯国际、华力微电子、长江存储、台积电、华为、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、长电科技、通富微电、华天科技、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等半导体知名厂商。作为芯源微的标杆产品，光刻工序涂胶显影设备成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中，在集成电路前道晶圆加工环节，作为国产化设备已逐步得到验证，实现小批量替代；在集成电路制造后道先进封装、化合物、MEMS、LED 芯片制造等环节，作为国内厂商主流机型已广泛应用在国内知名大厂，成功实现进口替代。新华社此前报道，芯源微产品在匀胶显影技术领域居国内第一，达到国际先进水平。芯源微在记录表指出，公司现有的厂区已经是满负荷运转，同时新厂房也在建设当中，按照计划将于2021年4季度投入使用，届时对公司产能提升会起到非常大的作用。

2022年6月10日，沈阳芯源12寸KrF涂胶显影设备顺利入驻厦门士兰集科。作为士兰集科引入的首台国产高产能KrF涂胶显影机台，沈阳芯源产品获得了客户的高度重视和充分认可，士兰集科总经理黄军华、副总经理李文深、相关技术和商务代表，沈阳芯源公司董事长兼总裁宗润福、前道设计总监程虎、市场总监王星园以及现场服务代表出席了搬入仪式。此次沈阳芯源公司12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的顺利交付，将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务，为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供更为安全的供应链保障。同时，士兰集科作为中国大陆12寸晶圆特种工艺产线的领导者，也为集成电路高端设备国产化替代提供了优秀的平台和机遇。搬入仪式完成后，双方进行了深入友好的商务交流，沈阳芯源与士兰集科签署了战略合作协议。本次战略合作的达成，既是对过往双方成功合作的肯定，也是对未来深入合作的无限期许，双方也将继续携手前行，协同发展，同“芯”聚力，共创辉煌！

p style="text-indent: 2em "10月9日，清华大学发布《清华大学涂胶显影一体机采购项目公开招标公告》，预算达600万元。span style="text-indent: 2em "本次采购的涂胶显影一体机主要用于对8英寸及6英寸直径的硅、玻璃、聚合物等材料基片进行光刻胶或聚合物材料的均匀涂覆并在光刻后进行显影，以达到后续光刻或键合等工艺的要求。/span/pp style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "获取招标文件时间为2020年10月09日 至 2020年10月15日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。/span提交投标文件截止2020年10月30日 14点00分。开标时间为2020年10月30日 14点00分。以下为公告概要：/ph3span style="font-size: 16px "项目概况/span/h3p清华大学涂胶显影一体机采购项目 招标项目的潜在投标人应在北京市海淀区文慧园北路10号，北京中教仪国际招标代理有限公司603室（中国教育报刊社院内）获取招标文件，并于2020年10月30日 14点00分（北京时间）前递交投标文件。/ph3span style="font-size: 16px "项目基本情况/span/h3p项目编号：清设招第2020071号（0873-2001HW2L0110）/pp项目名称：清华大学涂胶显影一体机采购项目/pp预算金额：600.0000000 万元（人民币）/pp采购需求：/pp1.本次招标共 1 包：/ptable align="center" border="1" cellpadding="0" cellspacing="0" style="border: none font-variant-numeric: inherit font-variant-east-asian: inherit font-stretch: inherit line-height: inherit font-family: " Microsoft YaHei" , 微软雅黑, 黑体 vertical-align: baseline margin: 0px auto padding: 0px border-spacing: 0px color: rgb(56, 56, 56) white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) "tbody style="border: 0px font: inherit vertical-align: baseline margin: 0px padding: 0px "tr style="border: 0px font: inherit vertical-align: baseline margin: 0px padding: 0px " class="firstRow"td style="font: inherit vertical-align: baseline margin: 0px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="59" height="49" align="center" valign="middle"p style="text-align: center border: 0px font-style: inherit font-variant: inherit font-weight: inherit font-stretch: inherit font-size: inherit font-family: inherit vertical-align: baseline margin-bottom: 5px line-height: normal margin-top: 5px "span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "包号/span/p/tdtd style="font: inherit vertical-align: baseline margin: 0px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " width="126" height="49" align="center" valign="middle"p style="text-align: center border: 0px font-style: inherit font-variant: inherit font-weight: inherit font-stretch: inherit font-size: inherit font-family: inherit vertical-align: baseline margin-top: 5px margin-bottom: 22px line-height: normal "span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "名称/span/p/tdtd style="font: inherit vertical-align: baseline margin: 0px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="103" height="49" align="center" valign="middle"p style="text-align: center border: 0px font-style: inherit font-variant: inherit font-weight: inherit font-stretch: inherit font-size: inherit font-family: inherit vertical-align: baseline margin-top: 5px margin-bottom: 22px line-height: normal "span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "数量/span/p/tdtd style="font: inherit vertical-align: baseline margin: 0px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="223" height="49" align="center" valign="middle"p style="text-align: center border: 0px font-style: inherit font-variant: inherit font-weight: inherit font-stretch: inherit font-size: inherit font-family: inherit vertical-align: baseline margin-top: 5px margin-bottom: 5px line-height: normal "span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "预算金额/span/pp style="text-align: center border: 0px font-style: inherit font-variant: inherit font-weight: inherit font-stretch: inherit font-size: inherit font-family: inherit vertical-align: baseline margin-top: 5px margin-bottom: 5px line-height: normal "span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "（人民币）/span/p/td/trtr style="border: 0px font: inherit vertical-align: baseline margin: 0px padding: 0px height: 43px "td style="font: inherit vertical-align: baseline margin: 0px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="59" height="43" align="center" valign="middle"p style="text-align: center border: 0px font-style: inherit font-variant: inherit font-weight: inherit font-stretch: inherit font-size: inherit font-family: inherit vertical-align: baseline margin-top: 5px 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href="https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCSMD2020/" target="_self"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202010/uepic/3e77024c-93ff-43b3-8ef6-5ed6d81686d4.jpg" title="半导体材料与器件.jpg" alt="半导体材料与器件.jpg"//a/p