东京精密轮廓仪

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东京精密轮廓仪相关的厂商

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    镇江超纳仪器有限公司隶属于杭州长川科技股份有限公司(股票代码300604)是一家高科技企业,座落在镇江市科技新城。公司研发的产品精密光学量测设备广泛应用于先进制造业中的纳米、微米级结构表面微观特征的精密测量,包括关键尺寸、套刻精度、表面轮廓、台阶高、表面缺陷、微观形貌、表面粗糙度、薄膜厚度等等。覆盖的行业包括了先进制造业的各个领域:集成电路制程工艺、封装工艺、微电子机械系统制造(MEMS)、PCB基板和多层板制造、太阳能光伏电池片工艺。公司拥有的白光干涉测量技术的产品获得“江苏省首台(套)重大装备”认定。
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  • 苏州诺方科精密设备有限公司专业从事机器视觉、精密量具仪器、工控产品等产品销售。作为工业自动化与精密测量的整合服务商,诺方科提供的售前诊断、产品销售及售后技术支持,广泛服务于汽车、模具、机械、电子元器件、塑胶、船舶、航天航空等行业。  我司主要代理:IRS热像仪,VCA一键式测量仪,威尔WALE轮廓仪|圆度仪|圆柱度仪, Computar工业镜头,Sony 、Teli工业相机,智泰(3dfamily)二次元影像测量仪、思瑞SEREIN三坐标测量机,奥地利INSIZE精密量具量仪,东京精密(ACCRETECH)轮廓仪|圆度仪|圆柱度仪|粗糙度仪,三丰(MITUTOYO)量具仪器等。  我们专业解决测量问题,提供最专业的整体解决方案,一批经验丰富的销售工程师,熟练的技术人员,为您解决在线快速测量和检测问题,为客户产品品质和工作效率的提升贡献力量!
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  • 英昊达精密(昆山英昊达精密设备有限公司、厦门英昊达精密设备有限公司)专业从事各类测量工具、量具、手工具、电动气动工具、测试仪器、光学仪器、机床配件等各类进口精密测试产品销售。服务对象横跨工业产业界、汽车业、航空制造业、船舶制造等专业用户。有着光学检测设备在电路板检测和生产方面具有丰富的经验,能满足专业生产厂商的高端需求,为客户量身定做解决方案。我司主要代理,日本东京精密:圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪,德国温泽:三坐标测量仪,台湾智泰(3DFAMILY):二次元影像测量仪、三次元、测量投影仪、三维激光抄数机,奥地利INSIZE:精密量具、量仪。我们专业解决测量问题,为客户提供最优的解决方案,最佳的测量设备!产品广泛应用于包括航空、航天在内的各大机械制造业、SMT行业、钟表业、电子行业、石油、化工、冶金行业计量检测部门,产品远销世界三十多个国家和地区,通过多年的广交朋友,以及与代理商的密切友好的合作,在行业建立起良好的口碑。 作为专业性的测量产品供应商,我们一直坚持一个不变的信念:品质、服务、专业、创新!这是英昊达公司永续经营的营运原则,也是我们对客户始终如一的承诺。   英昊达公司目前行销上万种测量产品,品种齐全。经过长时间的努力本公司不断壮大,产品规格齐全 ,服务完善,本公司有一批经验丰富的销售工程师,熟练的维修技术人员,充分保证了销售,检测,维修一条龙服务,深受客户的好评和信赖。我们提供专业性的产品与服务,以提升客户的工作效率与技术水平,并期使英昊达成为您最信赖的工作伙伴,共同迈向成功的未来!
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东京精密轮廓仪相关的仪器

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东京精密轮廓仪相关的资讯

  • 基于KLA 探针式轮廓仪的薄膜应力测量(HRP® 系列和 Tencor® P 系列轮廓仪)
    随着器件尺寸不断缩小,表面翘曲度可能引发一些问题从而影响器件的正常功能。在半导体中,薄膜应力对半导体能带隙偏移、超导转变温度和磁各向异性等电子特性有直接影响。在器件制造过程中,监控因薄膜沉积而产生的应力至关重要。在薄膜层面,应力通常会影响薄膜的附着力并产生晶格缺陷和表面再构,从而限制厚层薄膜的生长。在器件层面,应力的形成很少会直接导致良率下降,而是会缩短产品使用寿命。使用寿命缩短会导致每年在产品服务和保修方面花费数百万美元,这是一个重大问题。结合成熟的应力计算理论模型与 KLA 探针式轮廓仪的精密测量,我们可以进行独立于材料与表面特性的精确薄膜应力测。背景应力无法直接测量,它是因薄膜沉积而产生的。薄膜沉积会导致基片弯曲并改变原始形状。基片的曲率半径可以通过测量基片翘曲度和挠度而获得。可以采用 G. Gerald Stoney 开发的用于测量薄膜应力的悬臂梁技术,通过比较薄膜沉积前后的曲率半径变化来估算应力:其中应力测量技术HRP® 和 Tencor® P 系列轮廓仪可在无需拼接的情况下测量衬底的整片直径,可提供基片翘曲度和挠度的详细数据。首先收集薄膜沉积前和薄膜沉积后的扫描图像,然后通过计算由于薄膜沉积而引起的基片曲率半径变化,即可计算应力。HRP 系列和 Tencor P 系列模型为用户提供两种应力计算算法:n 阶多项式和 13 点最小二乘拟合。前代模型仅提供一种方法:13 点最小二乘拟合。在多项式拟合程序中,用户可以指定使用 5 阶、6 阶或 7 阶多项式来计算曲率半径。n 阶多项式有 n+1 个系数:为了确定这些系数,考虑使用 3 阶多项式的示例:一共需要四个方程式来确定这些系数。可以简单地将以上方程式乘以 x3、x2、x 和 1(未知数的系数),生成这些方程式。生成的四个方程式如下:使用Crout法求解联立方程式,即可确定这四个系数,并获得将高度表示为位置函数的多项式。曲率半径由多项式的二阶导数确定。13 点最小二乘拟合法的步骤包括将局部数据拟合成弧线,并根据这些弧线的局部曲率计算平均曲率。由于这种方法多次使用相同的数据点,因此更易受到噪声和震动信号影响,可靠性不佳。最小二乘拟合算法中剔除了所收集数据中前 5% 和后 5% 的数据。其余数据被分为三个长度为 0.3L 的数据段,其中 L 为扫描长度。通过计算第 1~13 ,2~14直至N-12~N个点的局部曲率(其中 N 为数据段中数据点的总数),可确定局部的曲率半径。每个数据段的平均曲率是局部曲率的均值。局部曲率的计算方法需要 2 阶多项式(其中二阶导数用于计算曲率)。多项式的一般方程式如下:该方程式的期望值为:通过以下方程式将残差 (yi- &ycirc i) 平方和最小化:其中 n 为第一个数据点。这些方程式进一步简化为:然后,我们可以使用矩阵行列式或简单替代法求解系数的这些方程式,然后计算曲率。收集应力数据对于精确应力测量,使用针对应力配置的通用载台或应力载台非常重要。应力载台具有三个用于支撑样品的支撑销钉以及两个或三个用于辅助定位晶圆的定位销(有缺口的晶圆使用两个定位销,有平边的晶圆使用三个定位销)。需要注意的是,支撑销钉和定位销的位置需要根据样品大小进行调整。支撑销钉将样品保持在适中位置,通过均匀分布样品重量,防止 (a) 载台形状和 (b) 重力对晶圆形状产生影响。定位销确保样品被放置于一个可复现的位置,从而提高准确性、重复性和安全性。图 1 显示了用于 8 英寸(200 毫米)晶圆的应力定位载台。图:用于应力测量的通用载台,带有三个定位销(在载台外缘)和三个支撑销钉(在载台中部)。定位销和支撑销钉的位置可调整,以适应不同的晶圆尺寸。轮廓仪使用金刚石探针接触样品以收集形貌数据,沉积前后的数据收集采用相同的测试配方,以确保收集的数据具有相同的材料特性和数据分辨率。样品本征特性对于某些光学分析技术而言可能是个问题,而探针式轮廓仪的直接测量技术可以测量任何样品,不受样品特性的影响。应力测试配方的建立优化了数据采集,其关键参数包括扫描长度、探针施力、扫描速率、采样率和纵向量程。在应力测试配方中,用户还可以选择计算应力所用的算法工具。多项式拟合算法提供了最佳测量性,但也可以使用 13 点最小二乘拟合法来增强与先前应力测量技术的匹配度。图:用于应力测量的通用载台上的 200 毫米晶片。载台外围可以看到两个定位销,晶圆放置于三个支撑销钉(图中未显示)的顶部。建议的测量参数包括:-- 探针针尖半径 ≥ 2μm;-- 扫描长度应为晶圆总直径的 80%,扫描应通过晶圆中心;-- 探针施力为 2mg;-- 扫描速率为 1-5mm/s -- 采样率为 200Hz;-- 针尖纵向量程取决于晶片的翘曲度。如果实现不知道翘曲度,请从最大的纵向量程开始测量,以适应较大的翘曲度。如果已知翘曲度跨越的针尖纵向运动范围较小,则使用较小的纵向量程。应力测量准确性保障Tencor 和 HRP 探针式轮廓仪采用光学平晶,以确保载台在水平面无起伏地横向移动。为确保轮廓仪针尖在曲面上运动的准确性,可测试已知曲率半径的镜面,如下图所示。下表列出了与扫描长度函数相关的平整度规格,以及翘曲度和应力重复性。表:扫描平整度和重复性规格*扫描平整度和翘曲度重复性基于 15 次重复次数、2mm/s 扫描速度、2mg 力、200Hz、最大针尖纵向范围、在100mm 镜面上的 80mm 扫描长度和 在150mm 晶圆上的 120mm 扫描长度。图:标定半径为 20.13 ± 0.5m 的镜面测量结果。应力测量分辨率应力分辨率取决于三个参数:轮廓仪的纵向范围、衬底的弹性特性以及衬底和薄膜的厚度。对于 Tencor P 系列,针尖纵向范围取决于使用的扫描头(范围为 6.5μm-1000μm)。而 HRP 的纵向在 3.25μm 与 327μm 之间可变。无论选择哪个范围,垂直分辨率都是亚埃级。衬底的双轴弹性模量因所用衬底而异。通常该值在 1 x 1011Pa 与 5 x 1011Pa 之间变化。最后,薄膜和衬底厚度对于确定应力分辨率来说非常重要。衬底厚度的典型值约为数百微米,而薄膜厚度通常在 100&angst 与 2μm 之间,当然也可能有更厚的薄膜。下表列出了可以测得的应力值示例。表:一系列衬底的测定应力结论HRP 系列和 Tencor P 系列轮廓仪可提供有效的薄膜应力监控和测量方法。由于过高应力可能会导致半导体器件失灵,因此应力监控至关重要。轮廓仪使用接触式量测方法,让探针针尖持续接触样品表面进行扫描,无需拼接即可进行大范围扫描,可确保数据准确性和重复性。这种直接测量不受样品材料和光学特性的影响,得到的结果具有亚埃级的垂直分辨率。应力配方中配有两种不同算法来分析数据:13 点最小二乘拟合和高阶多项式拟合。根据薄膜沉积前后曲率半径的变化,使用 Stoney 方程式提供准确、可重复的薄膜应力测量结果。参考文献1. “Material Science of Thin Films”, Chapter 12, p 711-712, Milton Ohring, 2nd Ed., 2002.2. “Tencor P-11 Long Scan Profiler Operations”, KLA, 1996, section 11.3. Wafer Stress Application Option, Ch. 14.
  • 重磅!中图仪器集中发布扫描电镜、台阶仪、复合型光学3D表面轮廓仪等新品
    近期,深圳市中图仪器股份有限公司(以下简称“中图仪器”)在尺寸精密测量领域再次展现其创新实力,连续发布了一系列新产品,包括Nano Step系列台阶仪、VT-X100共聚焦测量头、SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪以及CEM3000系列台式扫描电镜。这一系列新品的推出,不仅丰富了中图仪器的产品线,更为广大用户提供了更加精准、高效的测量解决方案。台阶仪Nano Step系列台阶仪 是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。该新品采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率;同时,集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。Nano Step系列台阶仪具备极强的应用场景适应性,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。共聚焦测量头VT-X100共聚焦测量头是一款非接触式精密光学测头,基于光学共轭共焦和精密扫描研制而成,主要由光学共聚焦系统和Z向扫描系统组成,具有体积小、重量轻的特点,能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上,在产线上对器件表面进行测量,直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。复合型光学3D表面轮廓仪SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身,能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时,可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析;当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时,可使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测。该新品可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。无论是超光滑还是粗糙、低反射率还是高反射率的物体表面,该新品都能轻松应对,能够精确测量从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等关键参数,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。台式扫描电镜 CEM3000系列台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备,可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。该系列电镜搭载卓越的电子光学系统,拥有优于4nm的空间分辨率,保证了高放大倍数下的清晰成像,能够满足纳米尺度的形貌观测需求。其用户友好性同样出色,无论是通过直观的操作界面还是智能化的自动程序,都能让用户轻松上手,一键获取理想图像,极大简化了操作流程。CEM3000系列涵盖CEM3000A(大样品仓型)和CEM3000B(抗振型)两款强化机型。CEM3000A在不牺牲整机外观尺寸的情况下,极大拓展了样品仓尺寸,支持大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。CEM3000B则配备有高性能复合减振系统,不仅显著缩短了抽放气时间,还有效隔离了外界振动干扰,保证了高倍数成像时的图像质量。此外,该系列电镜允许用户根据需求加装各类探头和附件,极大地扩展了其应用领域,使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域具备广泛应用潜力。2024年以来,中图仪器在几何量精密测量领域取得了显著进展,先后发布了多款新品,其中包括WD4000系列无图晶圆几何量测系统、Mizar Silver三坐标测量机,致力于为高端制造业提供全尺寸链精密测量仪器及设备。
  • 上海精科公司与上海理工大学联合研制成功白光轮廓仪
    公司与上海理工大学分析实验室最近联合开发出在国内同行业中具有领先水平的白光轮廓仪。该轮廓仪属高精度产品,能对各种金属或非金属等物质(物体)的表面进行精确的轮廓测量,尤其可对集成电路及硅片进行精确测量,其分辨率可以达到纳米级程度。 白光轮廓仪的开发成功,对金属加工及开发金属新材料,以及对检测集成电路和硅片的质量等,均具有重要的意义。精科公司在与上海理工大学共同开发的同时,还自主创新开发出白光轮廓仪配套专用软件,更好地保护了企业的自主知识产权。 白光轮廓仪可广泛应用于工业、高等院校、科研等领域。

东京精密轮廓仪相关的方案

  • 如何测曲面粗糙度:一体型轮廓仪提供精确的测量解决方案
    一体型轮廓仪可以对零件表面,尤其是大范围曲面,如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测,是大曲面测量(轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、轴承滚子)领域精细粗糙度测量的利器。
  • 三维光学轮廓仪在光学领域的解决方案
    光学元件在各个领域都有广泛应用,对光学元件的表面加工精度提出越来越高的要求。如何检测光学元件的加工精度,从而用于优化加工方法,保证最终元器件的性能指标,是光学元件加工领域的关键问题之一。光学元件的加工精度包括表面质量和面型精度,这些参数会影响其对光信号的传播,进而影响最终器件的性能。此外,各种新型光学元件也需要检测其表面轮廓,比如非球面,衍射光学元件,微透镜阵列等。除了最终光学元件的加工精度以外,各种光学元件加工工艺也需要检测中间过程的三维形貌以保证最终产品的精度,包括注塑、模压的模具,光学图案转印时的掩膜版,刻蚀过程的图案深度、宽度等。
  • MAHLE 公司珩磨结构测量解决方案(白光干涉气缸表面轮廓仪)
    WLICyl是用于气缸和缸套的非接触3D表面轮廓和结构测量仪,既可用于实验室研发也可用于生产检测环节。 WLICyl最大特点是设计紧凑,坚固耐用,有着很高的横向和垂直分辨率。设备简单易用,无需维护,配置由专业工程师开发的人性化软件。使用合适的安装板放置在缸体上,便于定中心和重复定位。 测量头由精密电机驱动,可实现轴向旋转和横向移动,能够精确测量气缸内的任意位置。可使用操纵杆手动定位传感器,也可使用软件进行自动控制。此外,测量头末端还附带一个小型照相机,可观测约5 mm2的区域。可使用它寻找表面的特殊结构和缺陷,随后进行测量。使用WLICyl可在短时间内对发动机气缸表面粗糙度参数、涂层缺陷和特定参数进行高精度定量测量。使用选配的分析软件可测量珩磨沟槽和气孔的体积、金属撕裂和折叠、扩张脊、大理石花纹、粗糙度以及更多的细节。分析软件还可将数据文件分解成气孔图像、珩磨沟槽图像、金属撕裂和折叠图像等等。

东京精密轮廓仪相关的资料

东京精密轮廓仪相关的试剂

东京精密轮廓仪相关的论坛

  • 【原创】MMD-220A轮廓仪

    MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数,角度处理(坐标角度,与Z坐标的夹角,两直线夹角)、圆处理(圆弧半径,圆心到圆心距离,圆心到直线距离,交点到圆心的距离,直线到切点的距离)、点线处理(两直线交点,交点到直线距离,交点与交点距离,交点到圆心的距离)、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm,Z 量 程:10mm,可测零件直径:内圈≤300mm,外圈可较大,国产贵阳光栅尺:精度±3μm/220mm ,X向分辨率1μm,Z向分辨率/量程:1/65536,工作压力:0.35~0.43Mpa,气源压力:0.45~0.80Mpa。

  • 光学3D表面轮廓仪让你的慧眼飞升“三重境”

    禅宗有看山看水的参禅三重境,讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现,带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。  一重境:看山是山,看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片,初看下面的这张塑料片,想必读者一看再看,也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同,“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识,此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]  二重境:看山不是山,看水不是水。既然肉眼不可辩,那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒,另一面则被条状沟槽所填满,构成了塑料片表面的微观世界,但只知其平面外形却不知其三维形态,知其一不知其二,可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]  三重境:看山仍是山,看水仍是水。为一窥真容,使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描,点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]  点颗粒是凸点,而沟槽则是弧形波,进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量,得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]  单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°,分布周期97μm;单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm,周期35μm。掌握了全部的轮廓数据,对这有着微结构的塑料片,我们有了全面而精确的认识,称得上“看山还是山,看水还是水”。  超精密加工,是在传统精密加工上的升级,代表着先进制造业的发展方向,也代表着一个国家制造业的最高水准,超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器,而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪,就像一双能够明察秋毫的眼镜,帮助我们在超精密加工的微观世界里,具备“看山还是山,看水还是水”的本领。

东京精密轮廓仪相关的耗材

  • 东京精密 粗糙度、圆度、轮廓度 探针
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    三维表面轮廓仪配件是德国进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器,也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析。 三维表面轮廓仪配件根据国际标准计算2D和3D参数,使用最新的ISO 25178 标准表面纹理分析,依靠最新的 ISO 16610 滤除技术进行计算,从而保证了国际公信力,以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理,微米和纳米形状,圆盘,圆度,球度,台阶高度,距离,面积,角度和体积进行多范围测量,创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术,一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。 三维轮廓仪配件参数: 定位台行程范围:X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动) 接触式测量范围: 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s 范围:2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s 非接触式测量范围: 范围:300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围:480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围:1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s 范围:3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s 表面轮廓仪配件应用:测量轮廓,台阶高度,表面形貌,距离,面积,体积分析形态,粗糙度,波纹度,平整度,颗粒度 摩擦学研究,光谱分析磨料磨具,航天,汽车,化妆品,能源,医疗,微机电系统,冶金,造纸和塑料等领域。
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