东京精密轮廓仪

近期，深圳市中图仪器股份有限公司（以下简称“中图仪器”）在尺寸精密测量领域再次展现其创新实力，连续发布了一系列新产品，包括Nano Step系列台阶仪、VT-X100共聚焦测量头、SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪以及CEM3000系列台式扫描电镜。这一系列新品的推出，不仅丰富了中图仪器的产品线，更为广大用户提供了更加精准、高效的测量解决方案。台阶仪Nano Step系列台阶仪 是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。该新品采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率；同时，集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。Nano Step系列台阶仪具备极强的应用场景适应性，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。共聚焦测量头VT-X100共聚焦测量头是一款非接触式精密光学测头，基于光学共轭共焦和精密扫描研制而成，主要由光学共聚焦系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。复合型光学3D表面轮廓仪SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身，能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时，可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析；当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时，可使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测。该新品可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。无论是超光滑还是粗糙、低反射率还是高反射率的物体表面，该新品都能轻松应对，能够精确测量从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等关键参数，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。台式扫描电镜 CEM3000系列台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备，可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。该系列电镜搭载卓越的电子光学系统，拥有优于4nm的空间分辨率，保证了高放大倍数下的清晰成像，能够满足纳米尺度的形貌观测需求。其用户友好性同样出色，无论是通过直观的操作界面还是智能化的自动程序，都能让用户轻松上手，一键获取理想图像，极大简化了操作流程。CEM3000系列涵盖CEM3000A（大样品仓型）和CEM3000B（抗振型）两款强化机型。CEM3000A在不牺牲整机外观尺寸的情况下，极大拓展了样品仓尺寸，支持大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。CEM3000B则配备有高性能复合减振系统，不仅显著缩短了抽放气时间，还有效隔离了外界振动干扰，保证了高倍数成像时的图像质量。此外，该系列电镜允许用户根据需求加装各类探头和附件，极大地扩展了其应用领域，使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域具备广泛应用潜力。2024年以来，中图仪器在几何量精密测量领域取得了显著进展，先后发布了多款新品，其中包括WD4000系列无图晶圆几何量测系统、Mizar Silver三坐标测量机，致力于为高端制造业提供全尺寸链精密测量仪器及设备。

公司与上海理工大学分析实验室最近联合开发出在国内同行业中具有领先水平的白光轮廓仪。该轮廓仪属高精度产品，能对各种金属或非金属等物质（物体）的表面进行精确的轮廓测量，尤其可对集成电路及硅片进行精确测量，其分辨率可以达到纳米级程度。 白光轮廓仪的开发成功，对金属加工及开发金属新材料，以及对检测集成电路和硅片的质量等，均具有重要的意义。精科公司在与上海理工大学共同开发的同时，还自主创新开发出白光轮廓仪配套专用软件，更好地保护了企业的自主知识产权。 白光轮廓仪可广泛应用于工业、高等院校、科研等领域。

详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态：公告 更新时间： 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期：2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件，并于2023年10月18日14点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号：HZ-CJC2023-072 2.项目名称：智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式：竞争性磋商 4.预算金额：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元） 5.最高限价：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元）；供应商报价时总价不得高于最高限价，否则作为无效响应处理。 6.采购需求：本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套，包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等，直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限：签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体：□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应：◆是 □否。 二、申请人的资格要求（须同时满足） 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形： 1.1未被“信用中国”网站（WWW.creditchina.gov.cn）或“中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单； 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司），不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额，提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行： / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）： / 。 3.本项目的特定资格要求： 3.1本项目是否接受分支机构参与投标：□是 ◆否； 3.2本项目是否属于政府购买服务： ◆否； □是，公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体； 3.3其他特定资格要求： 本项目接受进口产品投标，供应商所投设备为进口产品的，应提供以下之一的证明材料： 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销（代理）商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或上级经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或授权经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间：2023年09月25日至2023年10月08日，每天上午8:30至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）。 2.地点：常州市政府采购业务管理平台 3.方式：供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台（http://58.216.242.31:8084/cgzx/login）获取电子版磋商文件。 4.售价：/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间：2023年10月18日14点00分（北京时间）。 地点：本项目采用不见面交易方式，无需到现场提交，供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端，通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策：无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式，请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册，办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定，并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理（可邮寄）联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台（供应商）国信CA证书办理指南”，按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等，查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应，供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章，如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密，请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件，上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常，并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机，必须使用验证成功的计算机进行操作，否则造成相应后果由供应商自行承担。 3.关于常州市中小企业政府采购信用融资： 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》（常财购〔2021〕13号）等有关文件精神，我市实行政府采购信用融资，将信用作为政策工具引入政府采购领域，金融机构根据政府采购项目中标（成交）通知书或中标（成交）合同，为中标（成交）中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问，请将疑问于2023年10月08日20：30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司（注：① 答疑文件须加盖投标单位公章；② 答疑文件以代理机构收到时间为准；否则代理机构有权拒收其答疑文件）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：智能制造龙城实验室 地 址：常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式：倪老师；0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地 址：常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋（一号大门往北一百米） 联系方式：周工；0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人：周工 电 话：0519-83999268 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：轮廓仪 开标时间：2023-10-18 14:00 预算金额：155.00万元 采购单位：智能制造龙城实验室 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态：公告 更新时间： 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期：2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件，并于2023年10月18日14点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号：HZ-CJC2023-072 2.项目名称：智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式：竞争性磋商 4.预算金额：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元） 5.最高限价：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元）；供应商报价时总价不得高于最高限价，否则作为无效响应处理。 6.采购需求：本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套，包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等，直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限：签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体：□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应：◆是 □否。 二、申请人的资格要求（须同时满足） 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形： 1.1未被“信用中国”网站（WWW.creditchina.gov.cn）或“中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单； 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司），不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额，提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行： / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）： / 。 3.本项目的特定资格要求： 3.1本项目是否接受分支机构参与投标：□是 ◆否； 3.2本项目是否属于政府购买服务： ◆否； □是，公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体； 3.3其他特定资格要求： 本项目接受进口产品投标，供应商所投设备为进口产品的，应提供以下之一的证明材料： 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销（代理）商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或上级经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或授权经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间：2023年09月25日至2023年10月08日，每天上午8:30至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）。 2.地点：常州市政府采购业务管理平台 3.方式：供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台（http://58.216.242.31:8084/cgzx/login）获取电子版磋商文件。 4.售价：/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间：2023年10月18日14点00分（北京时间）。 地点：本项目采用不见面交易方式，无需到现场提交，供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端，通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策：无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式，请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册，办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定，并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理（可邮寄）联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台（供应商）国信CA证书办理指南”，按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等，查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应，供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章，如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密，请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件，上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常，并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机，必须使用验证成功的计算机进行操作，否则造成相应后果由供应商自行承担。 3.关于常州市中小企业政府采购信用融资： 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》（常财购〔2021〕13号）等有关文件精神，我市实行政府采购信用融资，将信用作为政策工具引入政府采购领域，金融机构根据政府采购项目中标（成交）通知书或中标（成交）合同，为中标（成交）中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问，请将疑问于2023年10月08日20：30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司（注：① 答疑文件须加盖投标单位公章；② 答疑文件以代理机构收到时间为准；否则代理机构有权拒收其答疑文件）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：智能制造龙城实验室 地 址：常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式：倪老师；0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地 址：常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋（一号大门往北一百米） 联系方式：周工；0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人：周工 电 话：0519-83999268

KLA Instruments拥有如今的光学轮廓仪组合，是早先各品牌合力创新的结果：1.ADE 发布了 MicroXAM 白光干涉仪。2.Zeta&trade Instruments 开发了 ZDot&trade 和多模式光学轮廓仪。3.KLA旗下Filmetrics推出了新型、通用的白光干涉仪。KLA Instruments 品牌下多样化的光学轮廓仪产品都拥有各自悠久的创新历史。1999ADE Phase Shift 推出了 MicroXAM 光学轮廓仪，具有埃米级灵敏度，可用于超光滑表面的相移干涉测量，以及更大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。2006KLA 收购了 ADE 公司，为 KLA 的桌面式量测组合增加了 MicroXAM-100 光学轮廓仪，并推出了面向半导体市场的衬底几何形貌和缺陷检测解决方案。2010Zeta-20 是 Zeta Instruments 推出的第一款产品。Zeta-20 是使用 ZDot&trade 专利技术的光学轮廓仪，它结合了结构照明、共聚焦光学以生成高分辨率的3D表面形貌数据和表面真彩图像。该技术使用户能够轻松地聚焦在任何透明或不透明的表面上，从而实现对台阶高度和粗糙度的快速测量。多模组光学系统将 ZDot 技术与白光干涉仪、剪切干涉仪、透明薄膜反射光谱仪和自动缺陷检测功能相结合，扩展了非接触式3D 光学轮廓仪的应用场景。同年，Zeta-200 发布，带有自动化载台，并推出了发光二极管 (LED) 应用的解决方案。Zeta-200 光学轮廓仪利用高透射光学设计、背光源照明技术和专有算法来测量图形化的蓝宝石衬底 (PSS)。 该系统可以适应各种形状的 PSS 凸起，测量视场中所有 PSS 凸起的高度和间距，从而避免仅测量一小部分区域而产生错误的凸起信号或导致的结果偏差。通过多模式光学系统，还可以测量在 PSS 制造过程中薄膜厚度的变化以及样品的翘曲度。最后，通过自动缺陷检测功能，Zeta-200 可以识别不同缺陷的种类，如剥落的凸块、划痕和颗粒。2011Zeta-280 在 Zeta-200 平台的基础上增加了一个适配单个晶圆盒的桌面式机械手臂。Zeta-300 光学轮廓仪支持测量最大8寸的器件。该系统采用一体化主动或被动隔振平台，并搭配隔声罩隔离环境中的噪声。2012Zeta-20 采用 ZDot技术，为封装微流体器件等透明多表面应用场景提供了一种创新的测量解决方案。微流体器件的封装工艺通常会改变通道的尺寸和外形，从而影响器件的性能。因此，封装后的测量对客户的产品控制至关重要。Zeta-20高透射率的光学设计使得ZDot 信号在经过多膜层透射后仍能保持足够强度，从而可以实现对微流体器件玻璃盖板封装前后关键尺寸参数的测量，例如盖板的厚度、微流体通道的深度和尺寸。同年，将 Zeta-280的桌面式机械手臂与 Zeta-300 平台相结合，推出了Zeta-380自动化测量设备。2014MicroXAM-800 集成了Ambios 和 ADE 相移干涉测量技术的最佳硬件和算法，并搭配创新且易用的软件，用于台阶高度和粗糙度的自动测量。2015基于Zeta-20推出太阳能行业创新解决方案，用于绒面和丝网印刷的工艺控制。太阳能光伏的成本控制和提升转化率，推动着晶硅光伏的技术迭代。金字塔绒面的规格和表面栅线印刷的质量，对晶硅光伏的转化效率产生重要影响，因此成为产品控制的关键环节。绒面工艺控制对于控制绒面金字塔结构的高度、外形和尺寸分布至关重要，因为这会影响太阳能电池的光捕获效率。Zeta-20提供了专为绒面金字塔测量的解决方案，可实现金字塔结构的自动探测和统计。金属栅线采用丝网印刷工艺，该工艺会带来金属栅线的宽度、高度、体积、电学特性等方面的变化，从而增加器件的制造成本。Zeta-20的高动态范围测量模式（HDR）为金属栅线工艺提供了测量解决方案，可实现对反射率差异较大的材料测量。在太阳能电池制造工艺过程中，HDR模式被用于测量镀有减反膜涂层绒面表面的金属栅线3D形貌。同年，推出了Zeta-360 和第一代 Zeta-388 产品，提供了基于Zeta平台的晶圆自动化处理解决方案。 2016Profilm3D 是一款基于白光干涉原理的光学轮廓仪，可以适用于多种应用场景，包括薄膜厚度、表面粗糙度、台阶高度等表面形貌测量，是一种高性价比的三维表面形貌测量解决方案。2017Zeta Instruments 加入KLA Instruments 集团，为KLA光学轮廓仪引入 ZDot 技术和多模式测量技术，扩充KLA光学轮廓仪的产品线。Zeta系列用于3D表面形貌测量，支持研发、生产和全自动化环境。2018KLA旗下Filmetrics 推出了世界上首个专门用于3D形貌数据处理的网络应用程序ProfilmOnline ，利用网络浏览器和强大的智能手机功能，使用户无需电脑即可分析、存储和共享3D数据，包括光学轮廓仪、扫描探针显微镜（如原子力显微镜）和其他三维成像显微镜等获取的三维形貌数据。用户可以便捷地从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据，对其进行分析，并与同事共享测量结果。ProfilmOnline允许用户通过跨平台的任意设备，随时随地访问数据。Profilm3D 增加了 TotalFocus&trade 功能，提供其样品表面的3D自然彩色图像。新一代Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300的基础上，更新了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388支持OCR和SECS/GEM，从而可用于全自动产线的生产制造。该系统提供了具有生产价值的工艺控制测量，如PSS上的凸块高度、粗糙度和台阶高度。Zeta-388凭借在图形化蓝宝石衬底 (PSS)工艺中的应用荣获2018年化合物半导体行业量测奖。2019Filmetrics 正式加入 KLA Instruments 集团。在薄膜厚度、材料光学特性（n、k 值）的测量方面，Filmetrics 系列薄膜测量仪扩充 KLA 桌面式量测产品线。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩充 KLA光学轮廓仪产品线，为客户提供高性价比的表面形貌测量解决方案。2020Profilm3D-200 具有一个行程为 200mm的自动样品台，可放置200mm直径的晶圆样品。2023KLA Instruments 推出Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电池结构的表征能力拓展至1µ m以下。这款新型的Zeta光学轮廓仪，基于具有ZDot技术的Zeta-20设计，可配置230mm x 230mm尺寸的样品载台，并具备所有标准化且易用的多模组测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺研发和制程控制的理想量测工具。如需申请测样或产品咨询,可通过仪器信息网和我们取得联系！

详细信息 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2022-05-30 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 项目概况 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件，并于2022年06月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0729-224OIT360952 项目名称：中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 预算金额：350.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 （台/套） 是否允许采购进口产品 采购预算（人民币） 1 非球面轮廓仪 1套 是 350万元 合同履行期限：详见招标文件 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：2022年05月30日 至 2022年06月07日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：www.o-science.com 方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 开标时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院空天信息创新研究院 地址：北京市海淀区邓庄南路9号 联系方式：010-68290515/0513 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式：耿佳 王淑文 010-68290515/0513 jgeng@oitc.com.cn/swwang@oitc.com.cn 3.项目联系方式 项目联系人：耿佳 王淑文 电 话： 010-68290515/0513 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：轮廓仪 开标时间：2022-06-21 09:30 预算金额：350.00万元 采购单位：中国科学院空天信息创新研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2022-05-30 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 项目概况 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件，并于2022年06月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0729-224OIT360952 项目名称：中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 预算金额：350.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 （台/套） 是否允许采购进口产品 采购预算（人民币） 1 非球面轮廓仪 1套 是 350万元 合同履行期限：详见招标文件 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：2022年05月30日 至 2022年06月07日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：www.o-science.com 方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 开标时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院空天信息创新研究院 地址：北京市海淀区邓庄南路9号 联系方式：010-68290515/0513 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式：耿佳 王淑文 010-68290515/0513 jgeng@oitc.com.cn/swwang@oitc.com.cn 3.项目联系方式 项目联系人：耿佳 王淑文 电 话： 010-68290515/0513

一、项目基本情况项目编号：GZGK22P197A0608Z项目名称：广东省科学院半导体研究所非接触式光学轮廓仪采购项目采购方式：公开招标预算金额：1,100,000.00元采购需求：合同包1(非接触式光学轮廓仪):合同包预算金额：1,100,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1光学测试仪器非接触式光学轮廓仪设备采购1(台)详见采购文件1,100,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：见“标的提供时间”要求。二、申请人的资格要求：1.投标供应商应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件，提供下列材料：1）具有独立承担民事责任的能力：在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人， 投标（响应）时提交有效的营业执照（或事业法人登记证或身份证等相关证明） 副本复印件。分支机构投标的，须提供总公司和分公司营业执照副本复印件，总公司出具给分支机构的授权书。2）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录：提供投标截止日前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料。 如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的， 提供相应证明材料。3）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度：供应商必须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2021年度财务状况报告或基本开户行出具的资信证明） 。4）履行合同所必需的设备和专业技术能力：按投标（响应）文件格式填报设备及专业技术能力情况。5）参加采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录：参照投标（报价）函相关承诺格式内容。 重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（根据财库〔2022〕3号文，“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定）2.落实政府采购政策需满足的资格要求：合同包1(非接触式光学轮廓仪)落实政府采购政策需满足的资格要求如下:本采购包不属于专门面向中小企业采购的项目。3.本项目的特定资格要求：合同包1(非接触式光学轮廓仪)特定资格要求如下:(1)供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以资格审查人员于投标（响应）截止时间当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，供应商需提供相关证明资料）。(2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、 管理关系的不同供应商，不得同时参加本采购项目（或采购包） 投标（响应）。 为本项目提供整体设计、 规范编制或者项目管理、 监理、 检测等服务的供应商， 不得再参与本项目投标（响应）。 投标（报价） 函相关承诺要求内容。(3)已获取本项目采购文件。三、获取招标文件时间： 2022年09月05日 至 2022年09月13日 ，每天上午 00:00:00 至 12:00:00 ，下午 12:00:00 至 23:59:59 （北京时间,法定节假日除外）地点：广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/方式：在线获取售价： 免费获取四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年09月26日 14时30分00秒 （北京时间）递交文件地点：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）开标地点：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目采用电子系统进行招投标，请在投标前详细阅读供应商操作手册，手册获取网址：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/transaction/download.html。投标供应商在使用过程中遇到涉及系统使用的问题，可通过400-1832-999进行咨询或通过广东政府采购智慧云平台运维服务说明中提供的其他服务方式获取帮助。2.供应商参加本项目投标，需要提前办理CA和电子签章，办理方式和注意事项详见供应商操作手册与CA办理指南，指南获取地址：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/problem/。3.如需缴纳保证金，供应商可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(http://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/)，申请办理投标（响应）担保函、保险（保证）保函。本项目支持电子保函，可通过登录项目采购电子交易系统跳转至电子保函系统进行在线办理。电子保函办理办法详见供应商操作手册。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：广东省科学院半导体研究所地 址：广州市天河区长兴路363号联系方式：020-610864202.采购代理机构信息名 称：广州市国科招标代理有限公司地 址：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）联系方式：020-38364802、020-876876513.项目联系方式项目联系人：钟先生、苏先生电 话：020-38364802、020-87687651

自2014年起，国产12寸晶圆的量产问题得到解决，国产晶圆进入到一个飞速发展的时期中。晶圆作为芯片的载体，在当今科技时代起着至关重要的作用，小到遥控器、手机，大到航天领域，例如卫星等都离不开晶圆。那么晶圆的加工工艺是否达到标准决定了成品的优劣。今天笔者就为大家介绍Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪在晶圆方面的测试应用。Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪（台阶仪）作为Dektak系列第十代产品，经过50多年的更新升级及技术创新，目前已成为使用广泛的接触式表面检测设备，有着众多的用户群体并得到好评。①台阶高度重现性低于4Å②主流的LVDT传感器技术晶圆在制作电路的流程中，主要以光刻、蚀刻、沉积、研磨、抛光等工艺排列组合，在硅片上将电路层层叠加。Dektak-XT接触式表面轮廓仪能够用于每个工艺过程。光刻/沉积：光刻/沉积工艺中台阶高度的测试蚀刻：蚀刻工艺中台阶高度或凹槽深度的测试抛光/研磨：抛光/研磨工艺中粗糙度的测试在以上测试中，台阶仪都能够快速的得到相应数据。

KLA探针式轮廓仪的过去，现在，与未来。KLA Instruments&trade 探针式轮廓仪（也称台阶仪）提供高精度2D和3D表面量测，测量台阶高度、表面粗糙度、翘曲度和应力以及优秀的稳定性和可靠性，满足客户的研发和生产要求。目前，KLA Instruments&trade 台阶仪包括专为研发助力的Alpha-Step系列D-500/D600桌面式台阶仪，工厂生产用Tencor P-系列P-7，P-17，P-17 OF量产型台阶仪，还有自动化产线上的 HRP系列P-170和HRP-260全自动台阶仪。自1977年KLA首款商用探针式轮廓仪问世，经过四十多年的不断探索和技术创新，KLA取得了一个又一个突破，不断稳固自身在行业中的领导地位。1977Alpha-Step100 是Tencor 推出的首款台阶仪产品。其在台阶高度测量的准确性和重复性方面表现优异。凭借价格实惠、外形小巧和功能强大，很快就成为大多数半导体制造厂或晶圆厂重要的工具。1983Alpha-Step 200 发布，扫描速度比竞品快 2 倍，配备 CRT 显示器，能够自动测量、调平和计算。1987Alpha-Step 250 问世，灵敏度增强至 1 &angst ，增加了隔声外壳。1988Tencor P系列的P-1探针式轮廓仪实现了单次长度 200mm 扫描，且无需任何拼接。P-1 轮廓仪采用革 命性的全新设计，在扫描平台、光学和传感器技术方面进行了行业创新，提供无可匹敌的稳定性、灵敏度和重复性。该系统具有超平面扫描平台，能够单次扫描实现高达 200mm 的高分辨率，确定表面粗糙度、波纹度和薄膜应力特征。新平台也是 3D 扫描平台，增加了第三维度来表现表面形貌。该系统的特色是采用顶视光学系统来提供清晰的样品视图，不受传统倾斜侧视的扭曲影响。此外，该系统的传感器技术采用业界先进的线性可变差分电容器 (LVDC)，从而使电子分辨率达到亚埃级，并且转动惯量小，可实现低作用力控制并降低对噪声的敏感性。1991Tencor P2H 支持自动晶圆和磁盘机械手臂， 减少接触样品带来的污染。同年的Tencor P2 采用开放式框架，支持尺寸达 430mm x 430mm 的样品，同时Tencor FP2可扫描尺寸达 630mm x 630mm 的样品，用于平板行业。1994Tencor P-20 全自动探针式轮廓仪发布，增加了图案识别和 SECS/GEM，并且与现有的机械手臂相结合，实现了全自动化。Alpha-Step 500增加垂直量程至 1mm，并配备了全新高倍率光学器件和彩色摄像头。1996Tencor P-10、 P-11、 P-12 和 P-22 相继发布，产品采用最新的低作用力控制技术，延长垂直量程至1000µ m并增强环境隔离功能。Microhead II 增强线性可变差分电容器 (LVDC)，并增加低至 0.05mg的程式控制低作用力。它增加了通过动态调整枢轴上的作用力，确保在任何台阶高度下，样品表面都能够施加相同的力。此外，新传感器可支持高达 1000µ m 台阶高度。P-12 新增隔声罩和主动隔离台，不仅增强对环境噪声的隔离，还能够测量超光滑硬盘的粗糙度。P-22 在现有 P-20 机械手臂的基础上新增一个隔离台，实现自动晶圆传送、图案识别和 SECS/GEM 等全自动测量，从而为半导体行业提供整体解决方案， 提高其生产效率。1997Tencor P-30 将开放式晶圆盒机械臂替换为 SMIF 机械臂和系统的内置微环境， 以支持半导体行业新的洁净度要求。HRP-220 是在线表面量测的一大突破，配备了 P-22 的长扫描平台以及高分辨率压电平台，DuraSharp 探针可实现精细的特征测量和分析。同年，Tencor Instruments 和 KLA Instruments 两家公司合并成立了 KLA-Tencor, Inc.，成为世界领先的半导体制造和相关行业的良率管理及工艺控制解决方案供应商之一。1998HRP-320 在HRP-220 的测量能力基础上扩展到 300mm 晶圆，是能够单次扫描测量 300mm 晶圆全直径的系统。1999HRP-240 和 HRP-340 在使用的便利性、产出和精度上有了重大改进。新增压电挠性平台设计，以尽量减少平面外的运动，扫描平面度 2x 在保持 90µ m x 90µ m 扫描区域和 1nm 分辨率的同时，比以前的设计有了很大的进步。该系统增加在线高倍和低倍光学器件，并利用距离传感器实现无接触自动聚焦，从而可允许快速、精确对焦，并通过减少探针的表面接触次数来延长其使用寿命。长扫描平台通过增加线性编码器来提高样品定位的准确性，而更细螺距的丝杠可实现更高的分辨率。通过增加数字信号处理器来管理所有平台控制，将计算机处理能力留给用户接口，从而改善系统的整体性能。新增浸渍模式（Dipping Mode&trade ）能够测量高深宽比的蚀刻深度特征。2001Tencor P-15 结合了 P-10 和 P-11 系统的功能，技术更加成熟，为单一平台上的研发和生产提供支持。2003Alpha-Step IQ 在 Alpha-Step 500 基础上新增 USB 电子器件和全新设计的软件，可以显著提供增强的扫描排序和数据分析能力。2007Tencor P-16+ 在-15 的基础上进行了改进：新的 USB 电子器件、更强大的软件以及 Apex 高级数据分析和报告撰写软件功能。2008Tencor P-6 是一台高性能探针式轮廓仪，在较小的平台上沿用了 P-16+ LVDC 传感器技术和扫描平台技术。HRP-250 和 HRP-350 仪器采用噪音更低的 LVDC 传感器技术、新的隔离系统（仅 HRP-350）和第二代 DuraSharp II 探针。可实现更小特征的测量和接近 2 倍的吞吐量。2009Ambios Technology 加入KLA-Tencor并发布 XP100 和 XP200，采用光学杠杆传感器技术，垂直量程1200µ m 并支持200mm晶圆样品。2010KLA-Tencor 发布了基于 Ambios Technology 平台的 Alpha-Step D-100 和 D-120，采用增强光学杠杆传感器技术， 显著改善了测量的稳定性。2013Tencor P-7 和 P-17 配备了新高分辨率彩色相机，并增强了对翘曲度和应力的测量。2014Alpha-Step D-500 和 D-600 仪器采用了与 P系列相同的高分辨率相机。增加了侧视图的梯形校正功能，并且进一步改善了测量的重复性。2016Tencor P-170结合了 P-17 与 HRP 机械手臂，是一款新的全自动探针式轮廓仪。同年，HRP系列的新机型HRP-260 也随后发布。新仪器在自动化晶圆处理方面有了重大的改进。增加了几何图案识别，提高了倾斜校正算法的准确性，并采用新方法进行自动灯光控制。机械手臂包含新电子器件，可支持碳化硅 (SiC) 和蓝宝石等透明样品以及硅、砷化镓 (GaAs) 和 AlTiC 等不透明样品的预对准。也支持卡盒内wafer探测和读取wafer ID.2019KLA Instruments&trade 全系列探针式轮廓仪Alpha-Step、Tencor P- 和 HRP，移植软件平台至最新的Windows 10 OS。同时，新的测量和数据分析功能发布在新的软件平台中。2023KLA将继续探索的脚步，而探针式轮廓仪全线产品也将持续发展，为满足客户的需求不断努力创新。Keep Looking Ahead！

2023年2月1日，在2023年美国西部光电展览会上，布鲁克公司宣布发布两款新的白光干涉测量(WLI)系统：ContourX-1000和NPFLEX-1000光学轮廓仪。这些落地平台能够更快、自动化地测量表面结构和粗糙度。新产品特有的新的一键式高级查找表面功能，具有自动对焦和自动照明功能，改善了用户体验并缩短获得结果的时间，消除了每次测量前手动注册表面的复杂性。结合自适应测量模式USI和引导式简化的VisionXpress界面，这种独特的功能可以在任何表面上以更高的吞吐量进行无损测量。ContourX-1000具有操作人员友好的自动化测量和分析配方，为半导体和光电加工、先进封装开发和医疗设备制造的大批量生产设施提供最准确和精确的计量。NPFLEX-1000具有大型龙门和旋转头设计，为汽车、医疗和大规模增材制造行业的精密加工QA/QC中大型零件的难定位提供了独特的测量解决方案。“自20世纪80年代以来，我一直在使用布鲁克光学轮廓技术，这些新系统是30多年发展的巅峰。”密歇根计量学创始人兼总裁Don Cohen说到，“通过我们新的WLI解决方案，这些功能得到了进一步提升，特别是考虑到非专业用户在几秒钟内获得高质量结果的可能性，而在普通系统上则需要几分钟。”关于ContourX-1000 3D光学轮廓仪ContourX-1000 3D光学轮廓仪 图片来源：布鲁克纳米表面ContourX-1000具有行业聚焦的布鲁克专利的尖端/倾斜头、自校准激光基准、集成模式识别和配方便携性。其通用扫描干涉测量法(USI)自适应测量模式自动确定最佳测量参数，并且引导式简化的VisionXpress界面使分析质量不受用户经验影响。这种独特的硬件和软件组合可以在最短的时间内获得最佳的测量结果，并为研发和制造带来最大的稳定性和工具对工具的匹配能力。关于NPFLEX-1000 3D光学轮廓仪 NPFLEX-1000 3D光学轮廓仪 图片来源：布鲁克纳米表面NPFLEX-1000集成了ContourX-1000的所有易用性优势，具有大尺寸龙门和坚固的桥架结构。NPFLEX-1000系统在物镜、旋转头和超长工作距离物镜下方具有300 mm的空间，可提供样品尺寸的极大灵活性。此外，通过折叠镜选件，可显著扩展高坡度表面通道。这种极端的可用性可在无与伦比的速度下实现，可在10秒内进行快速、自动化的测量和全面的分析，显著提高生产环境的吞吐量。

p　　英国莱斯特，Taylor Hobson于8月16日推出了由Metrology 4.0软件驱动的新款表面粗糙度轮廓仪Form Talysurfsup® /sup PGI NOVUS。 它十分先进的系统，适用于表面，轮廓，三维和直径测量。/pp style="text-align:center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/insimg/69bd7829-e2d4-4ea4-8f4d-ec8ee0f643c2.jpg" title="Form Talysurf® PGI NOVUS With Metrology 4.0 Software.jpg"//ppstrongPGI NOVUS系统背后的设计—将卓越与创新相结合/strong/pp　　创新技术是新型PGI NOVUS系统的核心。它配备了全新的双偏置规，使系统能够测量直径和角度，并以相同的速度分析正常和反向的表面光洁度，以获得最佳性能。PGI NOVUS是市场上十分精确，稳定和可重复的高精度测量系统。/ppstrongMetrology 4.0—支持制造业的现代软件/strong/pp　　Metrology 4.0软件是一个新的软件包，提供具有虚拟显示和实时控制的直观界面。它提供了对测量过程的一目了然的监控。实时模拟和真实的零件坐标使监控和控制达到了业界十分先进的水平。/pp　　“新型Form Talysurfsup® /sup PGI NOVUS在测量直径和轮廓方面带来了显着的改进，特别是采用新设计的计量器，可以在上下方向进行形状和表面测量，”Taylor Hobson的表面产品经理Greg Roper谈到。“PGI NOVUS计量器旨在为用户提供更大的测量灵活性。可以在单个系统上测量小型，中型和大型复杂零件。”/pp　　“新软件的功能可确保通过屏幕上形象跟踪实时测量。有一系列不同模式可供使用，提供基本元素，如可记录零件编程，以及包括变量在内的可编程功能的高级工具箱。该功能允许为一组不同尺寸的零件创建一个程序，最大限度地降低操作员所需的工作量和培训水平，同时保持最高的测量精度，”Greg解释道。/pp　　此外，Taylor Hobson提供独特的选项，支持从实验室到车间的所有环境中的高精度测量。 有三种仪器加附件地选择可满足所有的应用要求。/ppstrong主要应用：/strong/pp· 滚珠丝杠轴向测量—节圆直径两侧均可(PCD)。/pp· 轴承—球形，滚轴和四点接触。/pp· 燃料喷嘴—平直度和阀座倾角。/pp· 多部分测量—使用单个程序。/pp　　Taylor Hobson在超精密测量仪器领域居于前列，产品广泛应用于光学，半导体，制造业和纳米技术等市场。它是阿美特克超精密技术部的一个分支，阿美特克是世界领先的电子仪器和机电设备制造商，年销售额达43亿美元。/p

中国仪器仪表的品牌展会－第18届多国仪器仪表学术会议暨展览会，于9月18至21日在上海光大会展中心开幕。我公司和国内外众多知名公司强势亮相于以“公共安全与科学仪器”为主题的比届展会，并分别参加了相关学术会议。　　　　展会期间，我公司产品UV765型紫外可见分光光度计和WGL型光电轮廓仪在2007年度“中国仪器仪表学会科学技术奖”颁奖仪式上荣获“最佳产品奖”。我公司总经理陈国余在仪式上代表获奖企业发言，表示要致力于发展科学仪器，为提高人们生活质量再作贡献。期间，成立了“中国仪器仪表学会科学仪器学术工作委员会”，旨在推动新时期大力发展先进制造业之一－－科学仪器产业。陈国余总经理被聘为该委员会副主任委员。　　作为国内唯一的能展示系列分析、天平、电化学、物理光学等仪器的参展商，我公司还重点参加了“2007年电化学分析仪器学术报告会”、“食品药品安全技术论坛”，并展出了最新的产品，包括UV765型紫外可见分光光度计的专题演示。展会中，中国仪器仪表学会领导专门到我公司展台参观、指导，并鼓励“上海精科”勇于竞争，勇于创新，更上一层楼。

一、项目基本情况项目编号：JH22-210000-18483项目名称：购置激光全息表面粗糙度轮廓仪包组编号：001预算金额（元）：1,500,000.00最高限价（元）：1,500,000采购需求：查看合同履行期限：合同生效后4个月内到货并安装调试完毕且验收合格（具体以甲乙双方签订的合同为准）需落实的政府采购政策内容：促进中小企业、促进残疾人就业、支持监狱企业、支持脱贫攻坚等相关政策等本项目（是/否）接受联合体投标：否二、供应商的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无,本项目允许进口产品投标且采购的设备满足《政府采购促进中小企业发展管理办法》第六条第二款内容，故不具备专门面向中小企业采购的条件。3.本项目的特定资格要求：如果投标人所投产品为进口产品，须投标人提供制造商或国内总代理出具的销售授权书或产品销售代理证书。三、政府采购供应商入库须知参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。四、获取招标文件时间：2022年07月11日 08时00分至2022年07月18日 17时00分（北京时间，法定节假日除外）地点：线上获取方式：线上售价：免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年08月02日 13时30分（北京时间）地点：辽宁轩宇工程管理有限公司（沈阳市皇姑区黄河南大街56号中建峰汇广场A座801室）六、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。七、质疑与投诉供应商认为自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。1、接收质疑函方式：线上或书面纸质质疑函2、质疑函内容、格式：应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式，详见辽宁政府采购网。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。八、其他补充事宜1.投标文件递交方式采用线上递交及现场备份文件递交同时执行并保持一致，参与本项目的供应商须自行办理好CA锁，如因供应商自身原因导致未线上递交投标文件的按照无效投标文件处理。具体操作流程详见辽宁政府采购相关通知。2.关于电子标评审的相关要求详见辽财采函〔2021〕363号“关于完善政府采购电子评审业务流程等有关事宜的通知”。电子文件报送截止时间同递交投标文件截止时间（即开标时间）,解密为30分钟。如供应商未按照规定的时限响应按照无效投标文件处理。3.请供应商自行准备笔记本电脑并下载好对应的CA认证证书带至开标现场进行电子解密（开标现场不提供wifi）。同时供应商须自行准备好备份投标文件于递交投标文件截止时间前递交至代理机构处，如未递交备份文件的按照投标无效处理，供应商仅提交备份文件的而没有进行网上递交的投标文件的，投标无效。关于具体的备份文件的格式、存储、密封要求详见招标文件。九、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：辽宁省检验检测认证中心地 址：沈阳市皇姑区崇山西路7号联系方式：024-312662632.采购代理机构信息：名 称：辽宁轩宇工程管理有限公司地 址：沈阳市皇姑区黄河南大街56号中建峰汇广场A座8楼联系方式：024-31918388-357邮箱地址：312353927@qq.com开户行：中国光大银行沈阳黄河大街支行账户名称：辽宁轩宇工程管理有限公司账号：364901880000244643.项目联系方式项目联系人：闫冠吉、刘甲峰电 话：024-31918388-357

一、项目基本情况项目编号：SDGP370300000202202000688项目名称：淄博市计量技术研究院2022年专用设备采购项目预算金额：本项目总预算为1448500.00元,共分1个包,其中包1包含光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪升级改造等设备等设备:1448500.00元。采购需求：①采购名称：淄博市计量技术研究院2022年专用设备采购项目；②采购内容：包含光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪升级改造等设备等设备；③质量要求：所有产品的生产、制造等各项技术标准，应当符合国家标准、各项规范要求和使用许可；④质保期：产品质保期自安装调试完毕并经验收合格之日起不少于24个月。合同履行期限：进口设备在合同签订后60日历天内交货并安装调试完毕；国产设备在合同签订后30日历天内交货并安装调试完毕。本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无单独资格要求。采购文件落实政府采购政策，包括节能环保产品、小型和微型企业、监狱企业和残疾人福利性单位等政府采购政策。3.本项目的特定资格要求：1、具有加载统一社会信用代码的《营业执照》有效证件；2、未被列入信用中国网(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn) 等渠道信用记录失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单；3、投标人提供“政府采购供应商信用承诺书”的承诺函。三、获取招标文件时间：截止到2022年11月08日14时00分（北京时间）。地点：淄博市公共资源交易网（http://ggzyjy.zibo.gov.cn/）招标文件获取方式： ①已在淄博市公共资源交易平台（http://ggzyjy.zibo.gov.cn/）注册的供应商，需要登录淄博市公共资源交易网网站首页点击“新系统登录入口”（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/TPBidder）根据页面提示重新完善信息。完善后在登录新系统免费下载采购文件。②未注册的供应商请到淄博市公共资源交易网（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:8082/）在网站首页点击“新系统登录入口”（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/TPBidder）根据页面提示进行注册（注册类型：交易乙方）。咨询电话：0533-2270020、2270010、2270050，咨询时间：北京时间8：30-12：00，13：30-17：00（法定公休日、法定节假日除外）。技术咨询电话：400-998-0000。③为满足信息公开和供应商诚信体系建设需要，供应商还需同时在中国山东政府采购网（http://www.ccgp-shandong.gov.cn/）进行注册。未注册的供应商须登录中国山东政府采购网点击首页右侧“系统入口”模块的“供应商注册”进行注册。请各供应商自行查验，务必保证淄博市公共资源交易网与中国山东政府采购网的注册单位名称及统一社会信用代码信息一致。四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点截止时间： 2022年11月09日14时00分（北京时间）投标文件递交方式： 将加密的电子投标文件在截止时间前通过淄博市公共资源交易网 “上传投标文件”栏目上传完成。①拟参加本项目的投标人须办理并取得数字证书（电子签章）后，方可加密生成及上传电子投标文件。请各投标人仔细阅读《数字证书办理注意事项及相关资料下载》（淄博公共资源交易网→办事指南→服务指南）并按照须知要求办理。②投标人可到淄博市公共资源交易中心一楼大厅办理数字证书，也可网上办理。山东CA（山东省数字证书认证管理有限公司）证书办理电话为400-607-8966，CFCA（中金金融认证中心有限公司）证书办理电话为0533-3590310。其他具体操作请参考“新点投标文件制作软件（淄博版）操作视频-采购类”（淄博市公共资源交易中心网站→办事指南→服务指南），技术咨询电话：400-998-0000。开标时间： 2022年11月09日14时00分（北京时间）地点：?网上开标大厅。请各供应商在开标前登录网上开标大厅（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/BidOpeningHall/bidopeninghallaction/hall/login）,在线准时参加开标活动并进行投标文件解密、答疑、澄清等。五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜本项目采用网上开标模式。各投标人无需到达开标现场，请在开标时间截止前登录网上开标大厅，在线准时参加开标活动并进行报价文件解密等。网上开标等详细事宜见招标文件 “网上开标提示”模块。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：淄博市计量技术研究院地 址：淄博市张店区共青团西路98号联系人：陈杰联系方式：0533-23159562.采购代理机构信息名 称：山东和鑫盛工程咨询管理有限公司地 址：山东省淄博市张店区新村西路42号铂金商务大厦4层联系方式：0533-23088813.项目联系方式项目联系人：薛皎、吕丽媛电 话：0533-2308881

近日，中国船舶集团七〇四所自主研制的超精密行星滚柱丝杠导程误差动态测量仪取得成功。经计量技术机构验证，其技术指标达到国际先进水平，七〇四所在科技自立自强的道路上，又迈出了坚实一步！超精密行星滚柱丝杠导程误差动态测量仪面临技术难题 行星滚柱丝杠是船舶、大型电站、冶金行业等领域高端装备的核心功能部件，随着所内行星滚柱丝杠产品不断推广应用，对其产品性能提出了更高的要求。 导程误差动态测量仪用于检测行星滚柱丝杠的导程误差，而行星滚柱丝杠的导程精度又直接影响丝杠螺母的直线移动位置的重复精度。 然而，国内鲜有导程误差动态测量仪，大多使用静态轮廓仪测量数据替代，难以准确描述螺纹全螺线的导程误差，且高精度轮廓仪长期依赖进口。自主研制成功 因此，为了满足行星滚柱丝杠的生产需要，针对国内导程误差动态测量仪定位精度低、自动化程度不足等难题，七〇四所自主设计并成功研制了超精密导程误差动态测量仪。 该导程误差动态仪采用空气静压导轨，是一台超精密多参数的复合动态测试仪器。技术团队在研发过程中攻克了精密气浮移动平台设计技术、精密主轴驱动技术、高同步性数据采集、浮动自适应测头设计等多项关键技术，并不断的优化设计与精密制造装配，最终获得了仪器的研发成功。 该导程误差动态测量仪导程为3000mm，测量精度优于±2μm，达到了国际先进水平。 超精密导程误差测量仪的成功研制不仅为七〇四所行星滚柱丝杠产品提供了可靠、有效的检测手段，提升了行星滚柱丝杠产品的市场竞争力，进一步推动了该产品的产业化发展，还可以作为新一代电驱化、智能化装备的核心传动部件的高精度测量设备，为其他相关企事业单位提供测量服务，进一步助力海洋强国建设。

“专精特新”小巨人企业中图仪器对资本市场发起冲刺。　　公开信息显示，10月21日，深圳市中图仪器股份有限公司（简称“中图仪器”）与中信建投（601066）签署上市辅导协议。成立于2005年的中图仪器致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。去年国家工业和信息化部公示了第三批专精特新“小巨人”企业名单，中图仪器顺利入选。　　自2005年成立以来，中图仪器逐步聚集了来自清华、西安交大、哈工大等高校毕业生带头的工程师队伍，从小仪器到大品种，持续推动国内精密测量技术创新与进步。　　中图仪器重点发展高端精密、超精密几何量检测仪器，提供一维、二维、三维的尺寸测量产品。中图仪器在精密轮廓扫描技术、精密测量传感器、激光干涉测量、微纳米运动设计、显微三维形貌重建、大尺寸三维空间测量、智能机器视觉测量、精密光栅导轨测控等众多技术领域形成了独特的研发设计、制造优势，已具备从纳米到百米为用户提供专业的精密测量仪器和测量解决方案的能力，大部分产品达到国际先进水平。　　目前，中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业，部分产品达到国际先进水平，参与制定了多项国家标准。　　中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地，在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地。发展至今，中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区，海外市场快速成长，营销网络日逐完善。　　公开报道显示，多年来中图仪器的研发投入占销售额的25%以上，高于行业10%的平均水平。截至2021年10月31日，公司已拥有99项专利及软件著作权，参与制定3项ISO标准，主导或参与制定10余项国内或行业标准。　　辅导文件显示，马俊杰为中图仪器控股股东，直接及间接持有公司股权比例为36.28%。企查查显示，中图仪器自2016年起经历多轮融资，参投机构包括壹海汇资本、方广资本、架桥资本、海量资本和深创投等。　　据了解，在我国高端几何量仪器领域被蔡司、海克斯康、三丰、ZYGO等国际著名品牌全面占据的情况下，中图仪器研制的闪测仪、激光跟踪仪、激光干涉仪、光学3D表面轮廓仪、测长机等多款精密测量仪器逐步达到进口仪器性能水平，以较低成本较高性能服务于我国计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业领域，推动行业国产替代，同时市场占有率攀升。

台阶仪（Profiler），又名探针式表面轮廓仪，用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学等领域不可缺少的关键测量设备。长期以来，此类仪器被美国Bruke、美国KLA、日本Kosaka三家厂商垄断，国内尚无厂商可提供同类产品。直到2022年6月，松山湖材料实验室精密仪器研发团队自研的台阶仪出货交付，实现了国产化台阶仪零的突破！自研的台阶仪2020年冬，实验室组织走访调研半导体行业相关企业，了解到企业进口台阶仪受到一定限制，不少企业明确提出对国产化台阶仪的需求。为了满足在当前国际竞争形势下的行业共性需求，避免关键设备被“卡脖子”的风险，精密仪器研发团队当即研讨立项，将国产化台阶仪开发提上日程。团队负责人许智指出，台阶仪的研发，需要“四个超”：超精细的运动控制，超精密位移传感，超低噪声信号采集，超高平整度零部件等关键技术。精密仪器研发团队在这些方面均有丰富的经验积累和扎实的技术储备，基于此前自主研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备技术，项目组快速完成方案设计，并开始功能样机、工程样机的迭代开发。回望研发过程，可谓“一波三折”，研发团队感慨道。由于疫情，人员封控，物流暂停，供应商供货延期，芯片价格又逐日飙升，研发进度受阻。面对接踵而至的难题，团队加班加点攻关抢进度，终于在今年6月研发成功。订单交付当天，团队所有人都有一种难以言表的满足感。研发人员调试样机到深夜精密仪器研发团队台阶仪项目组至此，国产化台阶仪迈出了里程碑式的一步。科技创新的重要性不言而喻，用于科技创新的仪器设备同样重要，团队负责人许智谈到，关键测量仪器设备实现国产化，最关键之处就在于实现了自主可控。据了解，现已交付的台阶仪可满足企业实际使用的指标要求，且对比同类进口设备，成本降低了约30%。项目组研制了三种不同测试需求的型号，可供客户根据需要选择相应配置，并配套自研软件实时显示测量图表数据。目前，团队正在与十余家有相关需求的企业、科研院所洽谈合作中。精密仪器研发团队松山湖材料实验室精密仪器研发团队以自主知识产权的技术为核心，开展精密科研仪器和工业自动化设备的产业转化。桌面式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内唯一量产。等离子体化学气相沉积系统、扫描隧道显微镜系统等产品达到国际一流、国内领先水平。团队产业化公司东莞市卓聚科技2020年落户松山湖国际创新创业社区，销售额当年破百万元，2021年销售额超千万元。在松山湖材料实验室的支持下，精密仪器研发团队以国家战略为导向，以市场需求为目标，力争成为有担当、有作为的尖端仪器产业化队伍。

现代精密测量技术是一门涉及光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术等多学科的综合性交叉学科，在科学研究、精密制造等领域发挥重要作用。高水平的精密测量技术和精密仪器制造能力，是衡量国家科学研究和整体工业领先程度的重要指标，更是发展高端制造业的必备条件。没有超精密测量，就没有高端装备制造。为了解我国大尺寸精密测量技术及几何量微纳米级精密测量技术发展及应用现状，仪器信息网特别发起“几何量精密测量技术发展及应用”主题约稿活动，广泛征集来自科研单位、仪器企业及应用单位等观点分享，诚邀您参与投稿。1、约稿对象要求1）开展几何量精密测量研究及应用的专家学者，副教授、副研究员、高工及以上；2) 相关仪器企业研发人员/产品经理/应用工程师，具有5年以上从业经验。2、约稿主题（包含但不局限于以下）1) 综述：三坐标测量机、影像测量仪、激光干涉仪、激光跟踪仪、表面粗糙度仪、轮廓仪、三维扫描仪、在线测量等某个或多个几何量精密测量仪器技术发展现状及趋势；2) 上述测量技术在科研或精密制造等领域的应用；3) 几何量精密测量仪器产业观察/市场研究分析；4) 相关新成果、新技术、新方法及其应用；……3、稿件要求1) 文章（图文或视频类）为原创作品，尚未公开发表；2) 观点明确，数据可靠，文字准确简练，中心思想积极向上；3) 正文不少于1500字符，图片和照片务必清晰。 备注：仪器企业专家的约稿，厂商自身的内容不能超过30%4）投稿须为Word文档，本网编辑有权对文稿进行修改，如不同意请注明。4、投稿时间及方式回稿截止时间：2022年6月26日投稿邮箱：niuyw@instrument.com.cn联系人：牛编辑（13520558237） 仪器信息网2022年6月

centerimg style="width: 368px height: 400px " title="" alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441271.jpg" height="400" hspace="0" border="0" vspace="0" width="368"//centerp style="text-align: center "　　精密坐标测量/pp　　strong精密测量技术/strong/pp　　现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持。/pp　　在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智慧化的发展趋势。三坐标测量机(CMM)是适应上述发展趋势的典型代表，它几乎可以对生产中的所有三维复杂零件尺寸、形状和相互位置进行高准确度测量。发展高速坐标测量机是现代工业生产的要求。同时，作为下世纪的重点发展目标，各国在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究。/pp　　strong三坐标测量机/strong/pp　　三坐标测量机作为几何尺寸数字化检测设备在机械制造领域得到推广使用。/pp　　1、误差自补偿技术/pp　　德国CarlZeiss公司最近开发的CNC小型坐标测量机采用热不灵敏陶瓷技术，使坐标测量机的测量精度在17.8～25.6℃范围不受温度变化的影响。国内自行开发的数控测量机软件系统PMIS包括多项系统误差补偿、系统参数识别和优化技。/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441250.jpg" height="286" width="278"//centerp style="text-align: center "　　CNC小型坐标测量机/pp　　2、丰富的软件技术/pp　　CarlZeiss 公司开发的坐标测量机软件STRATA-UX，其测量数据可以从CMM直接传送到随机配备的统计软件中去，对测量系统给出的检验数据进行实时分析与管理，根据要求对其进行评估。依据此数据库，可自动生成各种统计报表，包括X-BAR& R及X_BAR& S图表、频率直方图、运行图、目标图等。/pp　　美国公司的Cameleon测量系统所配支持软件可提供包括齿轮、板材、凸轮及凸轮轴共计50多个测量模块。/pp　　日本Mistutor公司研制开发了一种图形显示及绘图程序，用于辅助操作者进行实际值与要求测量值之间的比较，具有多种输出方式。/pp　　/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441295.jpg" height="333" width="484"//centerp style="text-align: center "　　STRATA-UX系统处理简图/pp　　3、非接触测量/pp　　基于三角测量原理的非接触激光光学探头应用于CMM上代替接触式探头。通过探头的扫描可以准确获得表面粗糙度信息，进行表面轮廓的三维立体测量及用于模具特征线的识别。/pp　　该方法克服了接触测量的局限性。将激光双三角测量法应用于大范围内测量，对复杂曲面轮廓进行测量，其精度可高于1μm。英国IMS公司生产的IMP型坐标测量机可以配用其它厂商提供的接触式或非接触式探头。/pp　　/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441352.jpg" height="357" width="241"//centerp style="text-align: center "　　IMP型坐标测量机/pp　　strong微/纳米级精密测量技术/strong/pp　　科学技术向微小领域发展，由毫米级、微米级继而涉足到纳米级，即微/纳米技术。/pp　　纳米级加工技术可分为加工精度和加工尺度两方面。加工精度由本世纪初的最高精度微米级发展到现有的几个纳米数量级。金刚石车床加工的超精密衍射光栅精度已达1nm，已经可以制作10nm以下的线、柱、槽。/pp　　微/纳米技术的发展，离不开微米级和纳米级的测量技术与设备。具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术已经比较成熟，如HP5528双频激光干涉测量系统(精度10nm)、具有1nm精度的光学触针式轮廓扫描系统等。/pp　　因为扫描隧道显微镜、扫描探针显微镜和原子力显微镜用来直接观测原子尺度结构的实现，使得进行原子级的操作、装配和改形等加工处理成为近几年来的前沿技术。/pp　　1、扫描探针显微镜/pp　　1981 年美国IBM公司研制成功的扫描隧道显微镜，把人们带到了微观世界。它具有极高的空间分辨率，广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域，在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。与此同时，基于STM相似的原理与结构，相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或接口纳米尺度上表现出来的性质的扫描探针显微镜(SPM)，用来获取通过STM无法获取的有关表面结构和性质的各种信息，成为人类认识微观世界的有力工具。下面为几种具有代表性的扫描探针显微镜。/pp　　(1)原子力显微镜(AFM)/pp　　为了弥补STM只限于观测导体和半导体表面结构的缺陷，Binning等人发明了AFM，AFM利用微探针在样品表面划过时带动高敏感性的微悬臂梁随表面的起伏而上下运动，通过光学方法或隧道电流检测出微悬臂梁的位移，实现探针尖端原子与表面原子间排斥力检测，从而得到表面形貌信息。/pp　　就应用而言，STM主要用于自然科学研究，而相当数量的AFM已经用于工业技术领域。1988年中国科学院化学所研制成功国内首台具有原子分辨率的AFM。安装有微型光纤传导激光干涉三维测量系统，可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜可使目前纳米测量技术定量化。/pp　　利用类似AFM的工作原理，检测被测表面特性对受迫振动力敏组件产生的影响，在探针与表面10～100nm距离范围，可以探测到样品表面存在的静电力、磁力、范德华力等作用力，相继开发磁力显微镜、静电力显微镜、摩擦力显微镜等，统称为扫描力显微镜。/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441475.jpg" height="229" width="600"//centerp style="text-align: center "　　原子力显微镜及工作原理/pp　　(2)光子扫描隧道显微镜(PSTM)/pp　　PSTM的原理和工作方式与STM相似，后者利用电子隧道效应，而前者利用光子隧道效应探测样品表面附近被全内反射所激起的瞬衰场，其强度随距接口的距离成函数关系，获得表面结构信息。/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442144.jpg" height="198" width="270"//centerp style="text-align: center "　　光子扫描隧道显微镜/pp　　(3)其它显微镜/pp　　如扫描隧道电位仪(STP)可用来探测纳米尺度的电位变化 扫描离子电导显微镜(SICM)适用于进行生物学和电生理学研究 扫描热显微镜已经获得了血红细胞的表面结构 弹道电子发射显微镜(BEEM)则是目前唯一能够在纳米尺度上无损检测表面和接口结构的先进分析仪器，国内也已研制成功。/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442219.jpg" height="194" width="362"//centerp style="text-align: center "　　扫描隧道电位仪/pp　　2、纳米测量的扫描X射线干涉技术/pp　　以SPM为基础的观测技术只能给出纳米级分辨率，却不能给出表面结构准确的纳米尺寸，这是因为到目前为止缺少一种简便的纳米精度(0.10～0.01nm)尺寸测量的定标手段。/pp　　美国NIST和德国PTB分别测得硅(220)晶体的晶面间距为192015.560± 0.012fm和192015.902± 0.019fm。日本 NRLM在恒温下对220晶间距进行稳定性测试，发现其18天的变化不超过0.1fm。实验充分说明单晶硅的晶面间距具有较好的稳定性。/pp　　扫描X射线干涉测量技术是微/纳米测量中的一项新技术，它正是利用单晶硅的晶面间距作为亚纳米精度的基本测量单位，加上X射线波长比可见光波波长小两个数量级，有可能实现0.01nm的分辨率。该方法较其它方法对环境要求低，测量稳定性好，结构简单，是一种很有潜力的方便的纳米测量技术。/pp　　自从1983年D.G.Chetwynd将其应用于微位移测量以来，英、日、意大利相继将其应用于纳米级位移传感器的校正。国内清华大学测试技术与仪器国家重点实验室在1997年5月利用自己研制的X射线干涉器件在国内首次清楚地观察到X射线干涉条纹。软X射线显微镜、扫描光声显微镜等用以检测微结构表面形貌及内部结构的微缺陷。迈克尔逊型差拍干涉仪，适于超精细加工表面轮廓的测量，如抛光表面、精研表面等，测量表面轮廓高度变化最小可达0.5nm，横向(X，Y向)测量精度可达0.3～1.0μm。渥拉斯顿型差拍双频激光干涉仪在微观表面形貌测量中，其分辨率可达0.1nm数量级。/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442402.jpg" height="354" width="351"//centerp style="text-align: center "　　迈克尔逊型差拍干涉仪/pp　　3、光学干涉显微镜测量技术/pp　　光学干涉显微镜测量技术，包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于F-P(Ferry-Perot)标准的测量技术等，随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。外差干涉测量技术具有高的位相分辨率和空间分辨率，如光外差干涉轮廓仪具有0.1nm的分辨率 基于频率跟踪的F-P标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度，其精度可达0.001nm，但其测量范围受激光器的调频范围的限制，仅有0.1μm。而扫描电子显微镜(SEM)可使几十个原子大小的物体成像。/pp　　美国ZYGO公司开发的位移测量干涉仪系统，位移分辨率高于0.6nm，可在1.1m/s的高速下测量，适于纳米技术在半导体生产、数据存储硬盘和精密机械中的应用。/pp　　目前，在微/纳米机械中，精密测量技术一个重要研究对象是微结构的机械性能与力学性能、谐振频率、弹性模量、残余应力及疲劳强度等。微细结构的缺陷研究，如金属聚集物、微沉淀物、微裂纹等测试技术的纳米分析技术目前尚不成熟。国外在此领域主要开展用于晶体缺陷的激光扫描层析技术，用于研究样品顶部几个微米之内缺陷情况的纳米激光雷达技术，其探测尺度分辨率均可达到1nm。/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442693.jpg" height="269" width="400"//centerp style="text-align: center "　　以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移/pp　strong　图像识别测量技术/strong/pp　　随着近代科学技术的发展，几何尺寸与形位测量已从简单的一维、二维坐标或形体发展到复杂的三维物体测量，从宏观物体发展到微观领域。 正确地进行图像识别测量已经成为测量技术中的重要课题。/pp　　图像识别测量过程包括：(1)图像信息的获取 (2)图像信息的加工处理，特征提取 (3)判断分类。计算机及相关计算技术完成信息的加工处理及判断分类，这些涉及到各种不同的识别模型及数理统计知识。/pp　　图像/pp　　测量系统一般由以下结构组成。以机械系统为基础，线阵、面阵电荷耦合器件CCD或全息照相系统构成摄像系统 信息的转换由视频处理器件完成电荷信号到数字信号的转换 计算机及计算技术实现信息的处理和显示 回馈系统包括温度误差补偿，摄像系统的自动调焦等功能 载物工作台具有三坐标或多坐标自由度，可以精确控制微位移。/pcenterimg alt="" src="http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442902.png" height="243" width="547"//centerp style="text-align: center "　　图像测量系统结构/pp　　1、CCD传感器技术/pp　　物体三维轮廓测量方法中，有三坐标法、干涉法、穆尔等高线法及相位法等。而非接触电荷耦合器件CCD是近年来发展很快的一种图像信息传感器。它具有自扫描、光电灵敏度高、几何尺寸精确及敏感单元尺寸小等优点。随着集成度的不断提高、结构改善及材料质量的提高，它已日益广泛地应用于工业非接触图像识别测量系统中。/pp　　在对物体三维轮廓尺寸进行检测时，采用软件或硬件的方法，如解调法、多项式插值函数法及概率统计法等，测量系统分辨率可达微米级。也有将CCD应用于测量半导体材料表面应力的研究。/pp　　2、照相技术/pp　　全息照相测量技术是60年代发展起来的一种新技术，用此技术可以观察到被测物体的空间像。激光具有极好的空间相干性和时间相干性，通过光波的干涉把经物体反射或透射后，光束中的振幅与相位信息。/pp　　超精密测量技术所代表的测量技术在国防、航天、航空、航海、铁道、机械、轻工、化工、电子、电力、电信、钢铁、石油、矿山、煤炭、地质、勘侧等领域有极其广泛的应用，在国民经济建设中占有重要的地位。在发展高端装备制造业的背景下，提高我国在超精密测量方面的科研实力和技术水平，成为不得不解决的迫切问题。/p

近年来，我国高端制造业蓬勃发展，对高精度测量设备的需求持续攀升，极大地推动了以三坐标测量机为代表的精密测量仪器市场的迅猛增长。众多国内外知名品牌竞相涌入这一赛道，同时，也催生了一批崭露头角的国产新兴力量。在国产替代需求日益增长的趋势下，中国三坐标测量机企业迎来了前所未有的发展机遇。为深入了解中国三坐标测量机产业的发展态势，仪器信息网成立25周年之际，特别策划了“万里行”系列走访活动。该活动深入中国三坐标测量机代表性企业，与行业专家共同开展实地走访，探寻产业发展的最新进展和亮点，为发展新阶段赋能。走访第2站，由上海大学李明教授，仪器信息网产业研究部主任武自伟、营销服务中心经理韩永风、测量仪器编辑牛亚伟等组成的走访项目组走进派姆特科技(苏州)有限公司 （以下简称“派姆特”），派姆特华东区区域经理胡书飞、总裁助理Susan接待了走访一行人员。——企业发展进展派姆特成立于2019年，在中国、德国、日本均设有研发中心，并在苏州、西安建立了制造基地。得益于公司成立前的技术积累，派姆特在成立第一年即实现了盈利，且此后每年的收入都实现了翻倍增长。短短五年间，派姆特的团队规模已从最初的约30人发展壮大至现在的150余人。派姆特办公楼派姆特的创始人邰大勇，曾在德国马尔精密量仪和美国法如科技公司任职。他亲眼目睹了我国尺寸精密测量仪器市场几乎一度被国外品牌垄断的状况，这促使他萌生了创立一个拥有自主知识产权、受人尊重的国产高端品牌的念头。随着当前国内对供应链安全要求的日益提升，国产化替代需求旺盛，派姆特迎来了快速发展并受到了资本的青睐。2023年6月，公司获得了由中科创星独家投资的千万元级天使轮融资；同年11月，又获得了深圳高新投的第二轮融资；时隔不到一年，2024年5月，派姆特再次获得了卓远资本的第三轮融资。——产品技术与布局派姆特深耕便携式关节臂，拥有多项专利技术。其关节臂测量机涵盖6轴测量臂、7轴测量臂以及激光扫描臂，完美适应接触式与非接触式测量的多样化需求。设备内置平衡机构，采用等臂长设计，操作灵活自如，测量无死角。测量范围覆盖1.5-4.5米，可在5-45℃的全温度范围之内进行测量，内置温度传感器有效补偿温度变化带来的误差，确保测量精度位居国内顶尖水平，广泛应用于汽车、航空航天、国防军工、轨道交通、工程机械、教育等行业。胡书飞介绍道，为了向客户提供更多的测量方案，派姆特不断拓宽测量技术边界，致力于三坐标测量机的核心系统研发，包括测头、控制器和软件。去年，公司推出了FUTURE系列和PRIME系列桥式机型，以及SPACE车间型三坐标测量机。FUTURE系列采用矩形梁结构、气路分离独立控制等目前三坐标测量机的高端技术，可与进口品牌中高端计量设备相媲美。SPACE系列则专为加工现场设计，能够与机器人、自动上下料系统、机床系统等实现联机，为工业客户带来效率与质量的提升。CAM3软件作为派姆特产品矩阵的核心，是公司战略布局的重要一环。大部分三维测量硬件均需与CAM3软件配合使用，以发挥最大效能。胡书飞呼吁政府加大对软件国产化的支持力度，以便派姆特能够借此东风，打造出更加综合性的CAM3软件，以此为核心和平台，推动公司向更广阔的市场进军。目前，派姆特软件团队已超过20人，CAM3软件在上汽集团等企业中得到成功应用。派姆特的便携式测量臂由两个碳素纤维钢固定臂长和六到七个角度编码器组成。该编码器由派姆特自主研发和生产，可作为独立产品供应市场。派姆特产品矩阵市场调研数据显示，2022年全球三维尺寸测量仪器市场规模已突破100亿美元大关，预计未来将持续保持直线上升的增长态势。为了把握这一市场机遇，派姆特致力于打造一个集多场景应用、多测量精度需求的一体化三维测量平台。公司新推出的圆度仪、圆柱圆度仪和轮廓仪产品刚刚亮相市场，未来还将进一步拓展产品线，布局光笔测量仪和激光跟踪仪产品，以满足更广泛的市场需求。合影留念

近日，中科院自动化所研究员曾毅团队研究发现，从经典的到最先进的深度神经网络都难以像人一样具有较好的幻觉轮廓识别能力。相关研究成果发表于细胞出版社旗下期刊《模式》。神经网络和深度学习模型在过去十年中看似取得巨大成功，在许多给定的视觉任务中在指定方面超过了人类表现。然而，神经网络的性能仍然会随着各种图像扭曲和损坏而降低。一个非常极端的例子是对抗攻击，通过在图片上施加人眼难以察觉的微扰，能够使神经网络模型彻底失效。而人类的视觉系统在这些问题上具有高度鲁棒性，说明深度学习与生物视觉系统相比仍然存在根本性缺陷。为此，曾毅团队提出了一种名为交错光栅扭曲的图像干扰方法，作为量化神经网络模型幻觉轮廓感知能力的工具。结果表明，大多数预训练模型的表现接近随机。另外可以观测到当交错光栅之间的距离较小时，存在一些模型的结果与其他模型的分布有较显著的差别。他们最终发现，使用深度增强技术训练的模型相比其他模型能够显著增强模型对交错光栅扭曲数据集的识别。该研究还招募了24名人类受试者，以评估不同的参数设置下，人类的幻觉轮廓感知能力以及其对数字和图像识别的影响。研究发现，即使是当前最先进的深度学习算法在交错光栅效应的识别上也与人类水平相距甚远。论文第一作者、中科院自动化所工程师范津宇认为，该研究结合了认知科学和人工智能，提出了将传统机器视觉数据集转换成认知科学中的交错光栅幻觉图像，并首次对大量的公开预训练神经网络模型的幻觉轮廓感知能力的量化测量，从神经元动力学角度和行为学角度两个检验深度学习和神经网络模型对幻觉轮廓的感知。“这项研究从认知科学的角度检验和部分重新审视了当前看似成功的人工神经网络模型，并且证明人工神经网络模型与生物视觉处理过程仍然存在着很大差距，大脑运作的机理和智能的本质将继续启发人工智能，特别是神经网络的研究。”曾毅说。在他看来，要想从本质上取得突破，人工智能需要借鉴和受自然演化、脑与心智的启发，建立智能的理论体系，这样的人工智能才会有长远的未来。

据南通日报8月11日报道，落户于该区的江苏晶工半导体设备有限公司（以下简称：晶工半导体）正式向园区提交了建设30亩生产基地的申请，标志着这家专注于半导体高端设备研发与生产的高新技术企业将迎来新一轮的快速发展期。该公司计划通过扩大生产规模，进一步提升晶圆倒角机等核心产品的产能与品质，满足国内外市场对高端半导体设备日益增长的需求。晶工半导体官方消息显示，公司致力于半导体设备的研发和制造，现已自主研制出现已自主研制出4-12英寸的全自动磨边机、4-8英寸的全自动单片清洗机、全自动上蜡机、槽式清洗机、轮廓仪和全自动晶圆刷片机等，是国内唯一一家取代进口倒角机的设备厂家。 南通日报报道指出，晶工半导体于2022年入驻南通启东经济开发区。晶工半导体已成功推出12英寸晶圆倒角设备和技术方案，有效解决了大尺寸硅片加工难题，为我国半导体产业链关键环节的自主可控贡献了重要力量。同时，在第三代半导体材料碳化硅领域，该公司更是走在前列，专注于为6英寸、8英寸及非标准直径尺寸的碳化硅衬底提供先进的倒角、清洗设备及配套工艺，助力我国第三代半导体产业加速崛起。据悉，晶工半导体晶圆倒角机MET-5600，是晶圆倒角的专用设备。晶工半导体是国内唯一一家取代进口倒角机的设备厂家，使用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。将硅、磷化铟、砷化镓、碳化硅、蓝宝石等化合物半导体晶圆边缘倒角及抛光。具有丰富的可选功能。具有高精度，高质量磨削面，极小料损，晶向定位准确，运行状态稳定等特点。晶工半导体全自动晶圆刷洗一体机QX-4600A，主要用于清洗衬底/外延表面及背面的尘粒，金属污染物以及其他有机物，设备仓位可根据客户要求配置。先用PVA刷子刷洗，配合化学药液清洗，经甩干后可有效去除晶圆表面的有机物、颗粒、金属离子等残留物。

p　　8月27日，基恩士推出新款3D轮廓测量仪VR-5000。2016年，在“3D轮廓测量仪VR-3000系列”的基础上，基恩士推出功能增强的新品。同为VR系列，不同于2016年的产品，本次推出的新品被赋予全新的型号名称VR-5000。/pp style="text-align: center "　　img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/8ae61b3e-1640-4f4a-a601-ead5dfbad6e4.jpg" title="1.jpg" alt="1.jpg"//pp　　从基恩士公开的信息看，大范围进行3D测量的最快时间从4秒提高到了1秒。VR-5000搭载了“全自动设定功能”，完成自动对焦、自动设定测量区域、自动进行测量设定等工作，以消除直接导致测量失败的人为设定失误。基恩士在产品介绍中特别提到：“从产品整体的形状测量乃至粗糙度测量，无论是大范围还是细微部位，均可由1台设备完成测量，仪器的测量范围是以往的5倍。”/pp style="text-align: center "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/9728e0c6-7a0d-4d0e-b0f4-4b85be5c2bd0.jpg" title="2.jpg" alt="2.jpg"/br/仪器的测量范围是以往的5倍br//p

p　　strong仪器信息网讯/strong 测量投影仪又称为光学投影检量仪或光学投影比较仪，为利用光学投射的原理，将被测工件之轮廓或表机投影至观察幕上，作测量或比对的一种测量仪器，可以高效地检测各种形状复杂工件的轮廓和表面形状。仪器信息网通过汇总2019年商品编码90314910的海关进出口数据，对2019年1月至11月轮廓投影仪的进出口贸易情况进行了简要盘点。/pp　　统计周期内，轮廓投影仪进口数量1591台，进口总额约1.77亿元(币种单位：人民币元RMB，以下同) 出口数量约11.79万台，出口总额约3400万元。从数量上看，我国轮廓投影仪出口数量要远远高于进口 从金额上看，呈现出反差，说明出口主要集中在轮廓投影仪中低端仪器市场；从均价上看，单台进口均价约是出口的400倍。/pp　　从数量上看，月度进口数量基本保持在100-200台 从金额上看，月进口总额基本保持在1000万-2000万区间。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 300px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/26742f9c-4405-49ae-821d-f60643533be5.jpg" title="2019年月度进口数量.png" alt="2019年月度进口数量.png" width="500" height="300" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "2019年月度进口数量 单位：台/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 316px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/a61bcc6c-f823-47cd-a065-2c0f63c894d3.jpg" title="2019年月度进口总额.png" alt="2019年月度进口总额.png" width="500" height="316" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "2019年月度进口总额 单位：元/pp　　日本进口数量遥遥领先，进口数量占总进口数量59.2%，进口金额占总进口金额的69.43% 德国排第二，进口数量占总进口数量的24.7%，进口金额占总进口金额的15.27%。日本和德国占据了80%以上的轮廓投影仪进口市场份额。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 316px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/cc3d4406-b80c-4860-bd7e-b87583e0e279.jpg" title="2019年各国进口数量.png" alt="2019年各国进口数量.png" width="500" height="316" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "2019年各国进口数量 单位：台/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 315px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/5ac76254-fd90-45e4-b113-6e3a785789aa.jpg" title="2019年各国进口总额.png" alt="2019年各国进口总额.png" width="500" height="315" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "2019年各国进口总额 单位：元/ppspan　　/span2019年8月单月出口量8万余台，数量高居月第一，然而当月出口总额倒数第二，说明出口仪器主要是集中于中低端仪器。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 318px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/711aed5f-bb3d-4f05-ba85-2a1702898b73.jpg" title="2019年月度出口数量.png" alt="2019年月度出口数量.png" width="500" height="318" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "2019年月度出口数量 单位：台/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 300px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/f97c73f6-1e03-4fa8-afea-a1210266cbce.jpg" title="2019年月度出口总额.png" alt="2019年月度出口总额.png" width="500" height="300" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "2019年月度出口数量 单位：元/pp　　从数量上看，最大的贸易出口国是日本，其次为马来西亚，分别占比34.7%、32.18% 从出口金额上看，美国排第一位，其次为台澎金马关税区、香港等。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 309px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/24e00b9c-3472-468b-b0d3-d0d4d03864f6.jpg" title="2019年各国出口数量.png" alt="2019年各国出口数量.png" width="500" height="309" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "2019年各国出口数量（前20） 单位：台/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 303px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/d9a2c205-1896-49e8-b639-e1671c27e664.jpg" title="2019年各国出口总额.png" alt="2019年各国出口总额.png" width="500" height="303" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "2019年各国出口总额（前30） 单位：元/pp style="text-align: center "主要进出口企业/ptable border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" style="border-collapse:collapse " data-sort="sortDisabled" align="center"colgroupcol width="72" style="width:72px"/col width="273" style=" width:273px"/col width="166" style=" width:167px"//colgrouptbodytr height="18" style="height:18px" class="firstRow"td height="18" colspan="3" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " rowspan="1" align="center" valign="middle" width="14"主要出口企业/td/trtr height="18" style="height:18px"td height="18" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"企业名称/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="14"年出口规模/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"欧姆龙(上海)有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"重庆火星人科技有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"深圳市中康信实业有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"拜里斯科技(深圳)有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"高屋希克斯电子(上海)有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"精量电子（成都）有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"冲电气实业(深圳)有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"500万~ 1000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"上海田岛工具有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"500万~ 1000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"科世达(上海)管理有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"500万~ 1000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"出口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"美艾利尔(上海)诊断产品有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"500万~ 1000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px"td height="18" colspan="3" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " rowspan="1" align="center" valign="middle" width="14"主要进口企业/td/trtr height="18" style="height:18px"td height="18" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"企业名称/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="14"年进口规模/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"苏州紫翔电子科技有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"5000万~ 1亿美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"中芯北方集成电路制造(北京)有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"5000万~ 1亿美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"北京亦庄嘉里大通物流有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="161"5000万~ 1亿美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"乐金显示（中国）有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"5000万 ~ 1亿美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"基恩士(中国)有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"5000万~ 1亿美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"冲电气实业(深圳)有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"福州京东方光电科技有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"深圳市华星光电技术有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/trtr height="18" style="height:18px transition: all 0.3s ease 0s"td height="18" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"进口/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"南京中电熊猫平板显示科技有限公司/tdtd style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align="center" valign="middle" width="14"1000万~ 5000万美元/td/tr/tbody/tablep　　从以上分析，可以看出，目前我国轮廓投影仪的进口市场相对稳定，进口仪器主要为中高端仪器 我国轮廓投影仪出口数量远远高于进口，但总体出口总额仅为进口的六分之一，说明出口中低端产品数量较多。/ppbr//p

没有精密测量，就没有高端装备制造。高精密测量仪器对于复杂形状的几何量、自由曲面等参数的测量对于企业降本增效和保障生产质量都发挥着重要作用，为先进制造的精密化、智能化与集成化提供了信息基础，是衡量精密制造和测量水平的重要标尺。在当代科技和工业领域，高水平的精密测量技术和精密仪器制造能力，是一个国家科学研究和整体工业领先程度的重要指标，更是发展高端制造业的必备条件。随着现代科学技术与工业制造技术的快速发展，精密测量仪器的需求正在逐渐增长。基于此，仪器信息网将于2022年10月20-21日举办首届“精密测量与先进制造”主题网络研讨会，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享精彩报告，为相关从业人员搭建沟通和交流的平台，促进我国精密测量技术及先进制造业的高质量发展。指导单位：中国计量测试学会主办单位：仪器信息网协办单位：上海大学会议页面：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/precisionmes20221020/会议日程报告时间报告主题报告人单位职务10月20日上午09:00-09:30待定张书练清华大学精密仪器系教授09:30-10:00待定邾继贵天津大学精密仪器及光电子工程学院院长10:00-10:30赞助席位10:30-11:00激光跟踪仪精密测量技术与应用周维虎中国科学院微电子研究所主任/研究员11:00-11:30待定胡鹏程哈尔滨工业大学长聘教授10月20日下午14:00-14:3020年来齿轮测量技术的发展石照耀北京工业大学长江学者特聘教授14:30-15:00基于波长移相技术的光学平行平板轮廓和厚度信息测量技术于瀛洁上海大学机电工程与自动化学院院长15:00-15:30赞助席位15:30-16:00待定卢荣胜合肥工业大学教授16:00-16:30面向智能制造的全过程、全样本、全场景测量李明上海大学教授10月21日上午09:00-09:30工业摄影测量技术研究及应用郑顺义武汉大学教授09:30-10:00装备空间运动误差被动跟踪测量方法与仪器娄志峰大连理工大学副教授10:00-10:30赞助席位10:30-11:00差分珐珀激光干涉微位移计量及应用研究崔建军中国计量科学研究院课题组长/副研究员11:00-11:30面向先进制造过程的在线计量技术研究赵子越中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所高级工程师注：会议日程后续变动与调整以会议报名页面显示为准。扫码免费报名会议联系1.会议内容牛编辑：13520558237，niuyw@instrument.com.cn2.会议赞助刘经理：15718850776，liuyw@instrument.com.cn

超高精密3D打印全球领军企业，重庆摩方精密科技有限公司（摩方）于今年1月低调完成由深圳启暄领投，老股东深创投、海通证券旗下广东南方媒体融合发展投资基金、以及日本大河通商等多家知名投资机构跟投的B轮融资。同时，在重庆两江新区的大力支持下，采用摩方技术，重庆两江协同创新区建设重庆两江超精密增材制造技术研究院，为我国工业企业及院校提供共享平台，推动原始创新制造技术在我国工业领域的应用。 重庆摩方成立于2016年，是目前全球唯一可以生产最高精度达到2μm并实现工业化的3D打印系统提供商，提供了一种超高精密加工的颠覆性手段。截止2021年5月，全球25个国家、近700家科研机构以及工业企业与重庆摩方建立了合作。作为一种平台型加工能力，摩方技术在众多领域得到应用。 高精密、复杂小型器件在工业领域中有着巨大的需求。然而，这类器件以目前的工业手段，无论是模具、CNC加工、还是传统3D打印，均面临成本极高，加工复杂等一系列难点。例如，在微波器件领域（例如毫米波，太赫兹波段），随着频率的不断提高，器件尺寸越来越小，传统加工难度极大。英国Flann Microwave，德国Dresden等公司利用重庆摩方高精密打印技术，结合金属化等后处理工艺，生产制造包括高精密陶瓷器件在内的众多精密微波器件。5μm镀铜涡轮机叶轮 摩方技术也被广泛应用于生产精密医疗器械、精密药物投送系统、精密电子器件、精密陶瓷器件等众多产品。精密陶瓷器件全球知名的美国休斯研究实验室（HRL）利用摩方技术，开发基于陶瓷的三维布线能力 在工业应用方面，众多全球行业巨头，均在使用重庆摩方的技术提供实现全新的产业能力，例如Alcon（全球最大的眼科医疗器械企业）、TE（全球最大的精密连机器企业）、Intuitive Surgical（全球最大的手术机器人企业，生产达芬奇外科手术系统）、Johnson & Johnson（全球最大医疗卫生产品公司）、美国Apple、日本Hirose、SDK集团等均已采购了摩方的精密打印系统。摩方系统及服务的其他客户包括Amphenol、Medtronic、HRL等众多国际前沿企业。我国企业凭借技术高度出口高精密制造设备至包括日本在内的传统精密制造强国的案例尚十分少见。美国3M公司称重庆摩方为“目前全球在亚毫米尺寸3D打印最好的技术企业”。 在科研领域，我国包括清华大学、北京大学、中科院、南京大学、北京航空航天大学等众多知名院校均已采购摩方系统。美国卡内基梅隆大学（Carnegie Mellon University）、纽约大学（NYU）、宾夕法尼亚大学（University of Pennsylvania）、日本东京大学、早稻田大学、新加坡南洋理工、英国诺丁汉大学（University of Nottingham）等国际知名学府和研究机构也均采购了摩方系统，助力前沿研发。 本次融资进一步加强了重庆摩方的现金储备，同时，将进一步扩大公司在材料、工艺及最终产品领域的研究开发及市场推动。

一块看似光洁的玻璃片在光学3D表面轮廓仪的镜头下，竟神似凹凸不平的丘陵。在白光干涉技术的扫描下，软件对玻璃表面3D图像进行数据处理与分析，显示从最凹处低点到最凸处高点的距离居然有60纳米。　　“我们还测量过高低点仅相距0.1纳米的表面材料，不同光洁度的材料可以在一些特殊领域大展拳脚。”深圳市中图仪器股份有限公司副总经理张和君说。　　纤毫之间见真功，作为深圳“20+8”产业集群中的一员，深圳市精密仪器设备产业已初具规模，一批代表企业成长为所在领域的佼佼者。伴随《深圳市培育发展精密仪器设备产业集群行动计划(2022—2025年)》(以下简称《行动计划》)的发布，补短板、强攻关、塑品牌、搭平台、活生态的脚步更趋稳健。　　为高端仪器国产化贡献“深圳智慧”　　无论是材料器件的外观标准测量、大型数控机床的校准，还是肉眼看不见的声音、气体、温度、压强，抑或细胞的细微变化、电流的强弱、电子信号的瞬息波动，都在各类精密仪器设备的“火眼金睛”下无所遁形。当前制造业转型升级也对设备和生产过程的高精尖程度提出了新要求，进一步刺激精密仪器设备产业链上下游快速成长。　　据统计，2021年，深圳市精密仪器设备产业增加值达到128亿元，产品竞争力不断增强。其中，数字多用表、电子测量仪器、电能表等细分领域集聚了一批重点企业，高速高精点位操作技术、厘米级型谱化移动测量装备等关键技术研究成果获得国家科技奖，建成深圳市大型科学仪器共享平台等一批公共服务平台和创新载体，涌现出华盛昌、中图仪器、万测试验、浩宁达仪表、达实智能、科陆电子、拓邦股份、迈瑞、华大基因、鼎阳科技、中科飞测、宇星科技等一批代表性企业，为高端仪器国产化贡献了“深圳智慧”。　　剖析精密仪器设备产业链，可以发现深圳企业在产业链中下游的表现尤为突出。　　华盛昌所处的电子电力检测、红外检测、环境检测等智能检测技术是精密测量仪器领域的重要环节。在南山区西丽百旺信科技园内的华盛昌展厅陈列着各类与国际领先品牌站在同一起跑线的高精度测量仪器，包括专业电气安全检测仪表、可远程监控并进行智能物联网大数据分析的电能质量和能源管理仪器、专业红外热成像仪、检验空气质量的颗粒物计数仪等。当记者朝一块外观时尚的智能手表呵口气时，它甚至能准确测量出酒精含量是否超标。　　在精密仪器设备的下游应用端，2003年成立的华测检测认证集团股份有限公司是中国第三方检测认证行业首家上市公司，已在全球90多座城市设立150多间实验室，其检测和认证服务覆盖衣食住行的供应链上下游。　　标准的背后是惊心动魄的技术攻关　　作为一个“标准”密集型产业，精密仪器设备比拼的是精益求精的劲头。在“失之毫厘谬以千里”的微观世界里，谁掌握标准的制定权，就拥有创新发展的主动权。　　担任深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会会长单位的华盛昌是《穿戴式快速筛选酒精检测仪》《婴幼儿室内空气质量分级》和《过滤式空气净化器颗粒物净化性能分级》标准参编单位，也是《红外人体表面温度快速筛检仪》国标起草单位。　　标准的背后是惊心动魄的技术攻关。　　以迈瑞所在的医疗器械领域为例，这是各类精密仪器的兵家必争之地，其中对血液细胞的分析尤为激烈。　　人体内分布着数十万亿个细胞，观测分析其变化规律，可作为许多疾病的诊断依据。1998年以前，中国血液细胞分析产品市场上是清一色的外国品牌。1998年，迈瑞推出了中国第一台准全自动三分群血液细胞分析仪，这一格局才被打破。如今，在高端血液细胞分析系统方面，迈瑞生产的五分类血液分析仪已占据重要位置。　　工作人员解释，它采用半导体激光散射技术和细胞化学染色技术，当激光照射到细胞时，不同角度的散射光可反映细胞的体积大小、颗粒等不同信息，再结合其他特殊技术完成白细胞的五分类测定。研发团队在试剂、光学、算法、液路、系统设计、机械、软硬件、可靠性等方面攻克了多项技术难关，突破了多项国际技术封锁。　　硬核科技凸显“专精特新”特质　　“精”是精密仪器设备产业当之无愧的内核。无论是纳米级别的测量精度，还是长期专注于某一领域的企业发展战略，无不凸显“专精特新”特质。　　去年12月1日登陆科创板的深圳市鼎阳科技股份有限公司是数字示波器、信号发生器、频谱分析仪和矢量网络分析仪四大通用电子测试测量仪器主力产品领域中的国家级专精特新“小巨人”企业。其开发的数字示波器产品被称作电子工程师的“眼睛”，能把肉眼看不见的电信号转化为波形图像，方便工程师研究各种电现象的变化过程，采集电路中的电信号并进行测量、分析和处理。　　“专精特新”的灵魂是持续创新。目前鼎阳科技累计专利数量达233项，其中发明专利153项，多项核心技术在行业内处于领先地位。今年一季度，鼎阳科技境内外营业收入均保持增长，其中，中高端产品以及境内市场增长势头尤为明显。　　专注精密测量领域的中图仪器是另一家跻身工信部第三批专精特新“小巨人”企业榜单的企业。2019年，该公司通过了广东省科学技术厅“广东省高精度3D测量工程技术研究中心”认定，次年又荣获中国机械工业联合会机械工业创新大赛银奖，获得中国仪器仪表学会科技进步二等奖。　　公共平台既是黏合剂更是催化器　　一个产业集群的做强，势必要求一个融合了科研机构、共性技术研发平台、中试验证平台、孵化平台在内的产业支撑。　　光明区高科创新中心四楼是深圳中国计量科学研究院技术创新研究院的过渡院区所在地。在启动运营不足两年的时间里，已建成多间实验室。微纳仪器与精密测量实验室内，研究人员正在开展微纳尺度测量技术与仪器技术攻关。一台即将交付用户的衍射法栅格间距测量装置可以在狭小的内部空间内实现激光光束的层叠式传播，量值直接溯源至米定义波长基准，并有效缩短溯源链，实现扁平化量值传递。　　按照规划，总建筑面积6.84万平方米的中国计量院深圳创新院永久院区将在不远处的光明科学城大科学装置集群区建设。　　“研究院将边建设、边运行、边转化，未来将打造成为计量基础技术和共性技术扩散中心。”研究院副院长宋振飞说。　　作为科技创新的公共服务平台代表，深圳市大型科学仪器共享平台已经运营近3年，在整合深圳高校、科研院所、企业等单位的科技资源方面开展了有效探索。2021年度，进入共享平台的单台原值超过50万元(含)且利用财政资金出资购置的科研仪器总数量为4434台套，涉及电子信息、海洋、化工、生物等行业的十多个仪器类别，平均开放率为86.3%，使用率为104.3%。缺少大型科研设备的中小企业可以在平台上便捷预约价值不菲的高端精密仪器，有效盘活了深圳精密仪器设备资源。　　另一方面，行业协会也在推动产业集群做大做强方面，发挥了不可或缺的黏合剂作用。　　成立于1989年的深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会是行业内的代表性协会，已聚集480多家企业、高校及科研机构，在服务精密仪器设备产业集群发展方面开展了大量工作。　　如何建设高效能的公共服务平台?深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会执行会长钱宗春建议，首先要发挥协会在政府和企业之间的桥梁和纽带作用。其次要强化企业服务能力建设，引导中小企业注重开发新兴和细分市场，与企业联合制定高端精密仪器整机和核心零部件行业标准、地方标准和团体标准。　　不止于黏合剂，更要做产业催化剂。钱宗春建议，要持续推动企业、高校、科研院所等创新主体联合开展高端仪器整机和核心零部件攻关。他透露，协会已启动国家重大科学仪器设备开发专项“工业物料成分实时在线检测仪器的开发和应用”产业化工作，推动科尔达电气设备总公司与南京航空航天大学等开展产学研用合作，目前正在进行用户工业性试验。　　政策“活水”润泽实体经济　　今年6月发布的《行动计划》中提出，到2025年，深圳市精密仪器设备产业增加值将达到200亿元，其中工业自动化测控仪器增加值达到百亿级规模，信息计测与电测仪器、科学测试分析仪器及各类专用检测与测量仪器实现快速增长。　　为实现上述目标，深圳将实施核心关键环节创新突破工程、产业支撑服务能力强化工程、标准和知识产权体系建设工程、质量提升与品牌培育工程、自主产品规模化应用工程、企业竞争力成长工程。　　从政策、资金到人才，深圳正在为推动精密仪器设备产业集群发展构筑坚实基础。

近日，来自安徽大学的周胜副教授团队发表了《基于深度神经网络的无需压力校准和轮廓拟合的气体传感光谱技术》论文。Recently, the research team from Associate Professor Zhou Sheng's from Anhui University published an academic papers Pressure calibration- and profile fitting-free spectroscopy technology based on deep neural network for gas sensing.甲烷（CH4）是天然气的主要成分，在工业生产和日常生活中广泛用作燃料。此外，甲烷是一种重要的温室气体，其浓度对全球气候产生重要影响。因此，甲烷的测量对环境监测、生物医药和研究具有重要意义。气体浓度通常通过各种微量气体传感器进行测量，例如气相色谱仪、半导体气体传感器和电化学设备。半导体气体传感器在适当的操作环境下具有ppm级别的灵敏度。激光吸收光谱技术具有高选择性、高灵敏度、快速和多成分监测等优势，目前广泛用于各种气体的检测。激光吸收光谱技术可以准确测量气体分子的特征吸收线，并基于可调谐激光有效降低其他气体光谱线的干扰。此外，它提供了实时原位气体检测的可能性，这对于从工业过程到环境变化的各种现象的理解和监测至关重要。气体分子可以通过其指纹吸收光谱进行有效识别，包括典型的所谓“展宽”参数和“空气展宽”参数。光谱线参数是压力和温度的函数。浓度测量的准确性取决于压力稳定性和光谱拟合精度。对于定量光谱分析，传统上通过准确的模型对光谱进行拟合，同时压力和温度必须定期校准，尤其是在相对大的环境波动情况下。因此，为实现所需的准确性，系统的复杂性增加了。Methane (CH4), which is the main component of natural gas, is widely used as fuel in industrial production and daily life. In addition, CH4 is an important greenhouse gas whose concentration has a substantial influence on global climate. Therefore, the measurement of CH4 has significant importance for environmental monitoring, biomedicine, and energy research. The gas concentrations are commonly measured by various trace gas sensors, such as gas chromatographs, semiconductor gas sensors, and electrochemical devices. The semiconductor gas sensors have a sensitivity of ppm level under a suitable operating environment. The laser absorption spectroscopy, which has the advantages of high selectivity, high sensitivity, and fast and multi-component monitoring, is currently widely used in the detection of a variety of gases. Laser absorption spectroscopy technology can accurately measure the characteristic absorption lines of gas molecules and effectively reduce the interference of other gas spectral lines based on the tunable lasers. Moreover, it provides the possibility of real-time in-situ gas detection, which is crucial for understanding and monitoring a variety of phenomena from industrial processes to environmental change. A gas molecule can be effectively identified by its fingerprint absorption spectrum, including typical so-called “self-broadening” parameters and “air-broadening” parameters. The spectral line parameters are functions of pressure and temperature. The accuracy of concentration measurement depends on pressure stability and spectral fitting accuracy. For quantitative spectral analysis, the spectra are traditionally fitted by an accurate model, while the pressure and temperature must be calibrated on time, especially in the case of relatively large environmental fluctuations. Consequently, the complexity of system is increased to achieve the required accuracy. 目前，人工智能的快速发展为解决这个问题提供了一种新途径。人工神经网络已被用于气体识别，并在足够训练数据的条件下表现出良好性能。基于Hopfield自联想记忆算法的神经网络已用于识别五种类似的醇的红外光谱。反向传播神经网络用于从混合气体中识别目标气体，证明了卷积神经网络（CNN）模型可以有效提高识别准确性。此外，最近的研究表明深度神经网络也可以应用于振动光谱分析。卷积神经网络和自编码器网络被用于处理一维振动光谱数据。与传统气体检测技术相比，辅以深度学习的气体传感器可以实现准确的灵敏度测量，并降低异常检测的鲁棒性。深度神经网络（DNN）可以在经过足够样本训练后直接从吸收光谱中学习特征，实现不需要压力校准和轮廓拟合的气体浓度直接识别。这种网络为检索气体浓度提供了一种新途径，无需昂贵且复杂的压力控制器。为了展示提出的DNN辅助算法的性能，构建了一个基于DFB激光二极管的甲烷检测气体传感器系统。预测的浓度与校准值相当吻合。这项研究表明，基于DNN的激光吸收光谱在大气环境监测、呼气检测等方面具有显着潜力。Currently, the rapid development of artificial intelligence provides a new way to solve this problem. The artificial neural network has been used for gas identification and shows a good performance under the condition of sufficient data for training. The infrared spectra of five similar alcohols has been identified by a neural network based on the Hopfield self-associative memory algorithm . A back propagation neural network is used to recognize target gas from the mixtures of gases, which proved that the convolutional neural networks (CNN) model can improve identification accuracy effectively. In addition, recent studies indicate that deep neural networks can also be applied to vibrational spectral analysis. The convolutional neural and auto encoder networks are used to process onedimensional vibrational spectroscopic data. Compared with traditional gas detection technology, the gas sensors assisted with deep learning can achieve accurate sensitivity measurement and reduce the robustness of anomaly detection. A deep neural network (DNN), which can learn features directly from the absorption spectra after training with sufficient samples, achieves the direct identification of gas concentration free of pressure calibration and profile fitting. This network provides a new way to retrieve gas concentrations without expensive and complicated pressure controllers. To demonstrate the performance of proposed DNN assisted algorithm, a DFB diode laser-based gas sensor system for CH4 detection is constructed. The predicted concentrations are in good agreement with the calibrated values. This study indicates that DNN-based laser absorption spectroscopy has remarkable potential in atmospheric environmental monitoring, exhaled breath detection and etc..实验装置用于获取甲烷（CH4）气体吸收光谱的实验装置如图1所示。一台近红外DFB激光二极管，最大峰值输出功率为20毫瓦，被用作光源。通过控制激光温度和电流，激光可以在6045 cm-1到6047 cm-1范围内进行调谐，宁波海尔欣光电科技有限公司为此项目提供激光驱动器，型号为QC-1000。所选CH4在6046.95 cm-1附近的吸收线在图2中基于从HITRAN数据库获取的光谱线参数进行了模拟。DFB激光二极管经过纤维准直器进行准直，然后由一块CaF2分束器进行对准，分束后的可见红光（632.8纳米）光束用作跟踪激光。随后，光束被送入一个7米有效光程的多程传输池，并且池内的压力由压力控制器、流量控制器和隔膜泵协同控制。一个典型频率为100赫兹的三角波被用作扫描信号，以驱动激光二极管。最后，激光通过一个InGaAs光电探测器进行检测，并被数据采集单元卡获取。信号随后传输到计算机，并由自制的LabVIEW程序进行分析。Experimental setupThe experimental setup used to obtain CH4 gas absorption spectra is depicted in Fig. 1. A near-infrared DFB diode laser with a maximum peak output power of 20 mW is used as the optical source. The laser can be tuned from 6045 cm&minus 1 to 6047 cm&minus 1 by controlling the laser temperature and current via the controller (QC-1000, Healthy photon Co., Ltd.). The absorption line of selected CH4 near 6046.95 cm&minus 1 is simulated based on spectral line parameters obtained from the HITRAN database in Fig. 2. The DFB diode laser is collimated by a fiber collimator and aligned by a CaF2 beam splitter with a beam of visible red light (632.8 nm) as the tracking laser. Subsequently, the beam is sent to a multi-pass cell with a 7 m effective optical length, and the pressure inside the cell is collaborative controlled by a pressure controller, a flow controller, and a diaphragm pump. A triangular wave with a typical frequency of 100 Hz is used as a scanning signal to drive the diode laser. Finally, the laser is detected through an InGaAs photodetector and acquired by a data acquisition unit card. The signal is subsequently transmitted to the computer and analyzed by the homemade LabVIEW program. QC-1000, Healthy photon Co., Ltd.Fig. 1. Experimental device diagram.Fig. 2. The spectral line intensities of CH4 in the tuning range of 6046.93–6046.96 cm&minus 1 and the cross-section of the selected line obtained from the HITRAN database.结论总体而言，本项目开发了基于DNN算法和激光吸收光谱的概念验证气体传感器，并设计了基于DFB激光二极管的甲烷检测传感器系统。此外，通过计算RMSE和训练时间评估了DNN算法的性能，并优化了DNN层、神经元数量和epochs等参数，以获取最佳参数。提出了改进的系统来分析和预测气体吸收光谱数据，在甲烷浓度预测方面表现出良好的准确性和稳定性。不同浓度的甲烷预测值与相应的理论值线性拟合，证明其在实际领域应用中具有巨大潜力，尤其适用于恶劣环境。Conclusions Overall, a proof-of-concept gas sensor based on the DNN algorithm and laser absorption spectroscopy is developed, and a CH4 detection sensor system based on the DFB diode laser is designed in this paper. In addition, the performance of the DNN algorithm is evaluated by calculating RMSE and training times, and the parameters, which include DNN layers, neuron number, and epochs, are optimized to obtain optimal parameters. The modified system is proposed to analyze and predict the gas absorption spectrum data, demonstrating good accuracy and stability in the prediction of CH4 concentrations. The predicted values of methane with different concentrations are linearly fitted with the corresponding theoretical value, which proves it has great potential in practical field applications, especially for harsh environments.参考ReferencesPressure calibration- and profile fitting-free spectroscopy technology based on deep neural network for gas sensing, Measurement 204 (2022) 112077https://doi.org/10.1016/j.measurement.2022.112077

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3月17-19日，SEMICON China 2015在上海新国际博览中心隆重开幕。布鲁克纳米表面仪器部作为表面观测和测量技术的全球领导者携NPFLEX三维表面测量系统、ContourGT 系列光学形貌仪和Dimension Edge原子力显微镜亮相展会，倍受参展观众的青睐，取得了圆满成功。 布鲁克展台参观人员络绎不绝，现场技术专家忙于为参观客户介绍公司产品。并有来自台湾客户对布鲁克公司非常满意，热情的要求跟工作人员合照。现场气氛火爆，在此次展会上收获颇丰。 布鲁克展台参观人员应用工程师为参观客户进行产品讲解 布鲁克应用专家黄鹤博士现场为客户进行样品测量 台湾客户主动要求跟布鲁克工作人员合照 客户服务热线：400 890 5666 邮箱：sales.asia@bruker-nano.com网址：www.bruker.com/cn 作为表面观测和测量技术的全球领导者，布鲁克公司纳米表面仪器部提供世界上最完整的原子力显微镜、三维非接触式光学形貌仪和探针式表面轮廓仪系列产品。布鲁克公司纳米表面仪器部一直着眼于研发新的计量检测方法和工具，不断迎接挑战，致力于为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。此外，还可根据工业生产中的操作模式和操作习惯，精简仪器功能，针对生产中的特定应用需求，为客户量身打造相匹配的仪器设备，简化生产过程的操作流程，提高工作效率。布鲁克的表面测量仪器广泛用于大学、研究所，工业领域的LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，进行科学研究、产品开发、质量控制及失效分析，提供符合需求和预算的最佳解决方案。ContourGT 光学形貌仪广泛应用于触摸屏、高亮度LED、太阳能电池、模具、零部件测量等各种领域该系列包括基本型ContourGT-K，中端型号ContourGT-I，以及高端型号ContourGT-X和ContourGT-X8 PSS（该型号专为高亮度LED的质量保证/质量监控而设计）等。每一种型号为用户的不同需求提供解决方案，以满足在精密制造和特定行业的要求，如高亮度LED、触摸屏、太阳能电池、隐形眼镜、半导体、硬盘、汽车和骨科等。NPFLEX 三维表面测量系统为大尺寸工件精密加工提供准确测量布鲁克的NPFLEX 三维表面测量系统为大样品表面提供了灵活的非接触式测量方案，可广泛用于医疗植入、航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。基于白光干涉原理，NPFLEX 为用户提供超过接触式方法所能达到的更大数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为独立或者互补的测量方案。开放式的拱门设计克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难，可实现超过300度的测量空间。NPFLEX的超级灵活性、数据准确性和测试效率为精密加工行业提供了一种简单的方法，来实现其更苛刻的加工要求、更高效的加工工艺和更好的终端产品。 感谢您对布鲁克公司纳米表面仪器的继续关注！

高精度三维扫描技术已经在工业制造领域发挥着重要作用，特别是在质量检测环节，高效、高精度，可以轻松实现全尺寸的三维检测。本期，我们要分享的应用是在高端精密金属零件生产领域。高端精密金属零件在产品开发阶段到量产前，都需求检测相关尺寸，包括整个型面偏差分析，位置度、面轮廓度等GD&T公差。但是目前缺少一种可以通用的高精度检测工具，导致检测工作繁琐、复杂。- 高端精密金属零件 -高端精密金属零件研发中的传统检测方式在检测过程中，每一个零件需要一项一项测量，进行检测，过程繁琐。同时，由于精度要求高，每一项检测都需要不同的专业工具，例如，轮廓测量需要轮廓度仪。而每种检测工具的功能单一，检测过程中要不断更换工具。解决途径！“检测过程繁琐，需要的工具种类太多（很多的时间精力可能是花费在寻找工具上）”，这是目前研发人员最头疼的问题。为了改变这种现状，研发人员需要寻找一种高精度且通用性强的检测工具。OKIO 5M Plus 工业级三维扫描仪满足研发过程的多项三维检测需求Part 1高精度天远 OKIO 5M Plus 具有计量级高精度（最高精度可达0.005mm），基于天远的独特算法，OKIO 5M Plus拥有稳定的重复精度，多次测量结果一致。在新品研发过程中，需要多次反复测量一个产品，稳定的重复精度至关重要。在实际应用过程中，还使用了MSA测试，测试方法：某一个工件测量两个尺寸，同一件重复测试三遍（重复性），每个测试10件，然后还需要更换三个不同的操作人员（消除认为误差）。经过MSA测试，证明了OKIO 5M Plus 具有良好的稳定重复精度。Part 2通用性强天远 OKIO 5M Plus采用非接触式测量，对于零件的形状没有限制，同时配置多组镜头，可灵活切换扫描范围。进行一次三维扫描，需要检测的项目直接在检测软件中生成结果，不用人工一项项测量，也不需要根据不同的检测项目寻找不同的检测工具。- 三维扫描以及数据 -多个不同检测项目，一次三维扫描，即可在软件中得到相应测量结果。天远 OKIO 5M Plus 工业级三维扫描仪凭借其高精度（计量级精度以及稳定的重复精度）、通用性，解决了高端精密金属零件研发过程中的检测难题，加快研发进程。同时，其也可以在产品完工后进行全尺寸三维检测，并为客户提供完整的检测报告，顺利交付。天远 OKIO 5M Plus 工业级三维扫描仪OKIO 5M Plus采用窄带蓝光光源，高分辨率工业镜头确保了精细的扫描效果，以及光顺的数据质量；设备提供三组高分辨率工业镜头，可根据型号不同而更换，精度稳定且操作简单；OKIO 5M Plus适用于精细零件的三维扫描，进行全尺寸检测以及逆向设计等。