圆弧粗糙量仪

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圆弧粗糙量仪相关的厂商

  • 东莞忠仪测量仪器有限公司
    东莞忠仪测量仪器有限公司是一家集自主研发,代理销售，技术培训，信息咨询及维修服务於一体的高科技企业。公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。為国内的生產加工企业和厂家提供质量可靠的各类仪器设备和专业维修服务，自成立以来凭著良好的信誉、优良的產品品质、热情周到的售后服务赢得了广泛客户的信赖与支持。经长期努力以来，公司集累了一批具有良好素质和专业技术丰富的维修及销售工程师，能及时為您提供最优惠快捷的专业服务。公司主要经营项目如下：1.日本东京光电子（TOE）激光镭射测径仪。2.日本尼康（Nikon）工业测量仪器：投影仪、工具显微镜、工业自动影像仪、高度计，3.日本三丰(Mitutoyo)系列：三坐标、投影仪、工具显微镜、表面粗糙度仪、真圆度测定机、轮廓度测量仪,三丰镭射测定机系列,。4.日本三丰(Mitutoyo)小量具系列：表盘、数显及游标卡尺、分厘卡、厚薄计、杠桿量表、深度规、高度规、高度仪、伸缩规、形状类测针等。5.日本东京精密（ACCRETECH）表面粗糙度仪、真圆度测定机、轮廓度测量仪、形状类测针等。6.瑞士(Trimos)/(TESR)系列各类精密量具,一维/二维精密测高仪,精密长度测长仪. 三维三坐标测量仪,投影仪等等及其它种类精密量测仪器。7.日本AIKOR数显推拉力计系列、手动荷重仪系列(HF-2S)、自动曲线荷重仪系列(1305VR)、硬度计系列的销售和维修、荷重元换新及维修。8.万濠（Rational）万濠投影机、万濠影像量测仪、金像显微镜。9.专业研发量具数据采集管理软件。10.各类进口/国产仪器升级,年度保养,专业维修服务。 本公司销售仪器广泛应用於电子、航空、五金、塑胶、橡胶、模具、硅橡胶按键、油墨涂料等行业，我们不但為客户提供优质的仪器设备，还将通过做好从销售到售后服务的每一个环节来让客户感受到我们细致入微的服务。 公司宗旨:诚信 协作 务实 迅速.
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  • 昆山艾弗特计量仪器有限公司
    昆山艾弗特计量仪器有限公司经销批发的三次元、影像仪、2.5D、高度仪、卡尺、千分尺、百分表、千分表、粗糙度仪、扭力扳手畅销消费者市场，在消费者当中享有较高的地位，公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。昆山艾弗特计量仪器有限公司经销的量具量仪品种齐全、价格合理。昆山艾弗特计量仪器有限公司实力雄厚，重信用、守合同、保证产品质量，以多品种经营特色和薄利多销的原则，赢得了广大客户的信任。昆山艾弗特计量仪器有限公司被中国航天科技集团公司第一计量测试研究所授权为江浙沪地区唯一的业务合作单位。承接...
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  • 天津元禾精密仪器设备销售有限公司
    天津元禾精密仪器设备销售有限公司是一家专业的优秀精密测量及分析仪器设备集成销售商。在数十家余家国内外优秀生产厂家的鼎力支持下，我公司整合了各厂家的主营高质量产品在华北地区的销售及服务。我公司全体员工本着“优质产品、满意服务、实惠价格”的服务理念，以“诚信经营、共同发展”为原则，愿同客户一起完善产品生产、提升产品质量。我公司主要批发及零售产品如下：精密光学类测量仪器：二次元影像测量仪、三次元影像测量仪、投影测量仪、万能工具显微镜、端子剖面检测仪、金相显微镜、三维扫描仪、膜厚测量仪、在线测量仪器接触类测量仪器：三坐标测量机、二维高度计、粗糙度测量仪光谱类分析仪器：ROHS光谱仪、直读光谱仪、液相/气相光谱仪模拟环境试验仪器：高低温试验箱、盐雾试验箱、防尘/防水试验箱、综合试验箱 其他实验仪器：硬度计、万能拉力试验机、同心度检测仪、轴承测量仪生产类设备：注塑机、端子机、全自动裁线机
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圆弧粗糙量仪相关的仪器

  • 粗糙度轮廓测量仪 400-860-5168转6117
    中图仪器SJ5800系列粗糙度轮廓测量仪的产品功能及高精度测量能力可以满足发动机关键零部件的轮廓尺寸测量需求。它采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，能实现对轴承及工件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析。SJ5800系列粗糙度轮廓测量仪可广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业, 该仪器可以对零件表面，尤其是大范围曲面，如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测，是大曲面测量（轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、轴承滚子）领域精细粗糙度测量的利器。产品优势1、轴承测量、高稳定、高精密(1)SJ5800系列粗糙度轮廓测量仪具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，测试轴承内外侧。可选轴承夹具和滚子分析，方便测试。(2)分辨率高达0.1nm，系统残差小于3nm。(3)超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。 (4)高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度。(5)精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。2、操作灵活、智能、简单(1)轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块。(2)测针一键拔插，设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠。(3)各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。(4)带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。(5)智能恒测力系统，0.5-3mN 测力档位可调，降低了测力变化引起的测量误差，适合测量各类软、硬性工件。(6)组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。(7)根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。(8)软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。3、自动、批量、快速测量(1)对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量；对于复杂的工件，可以定工件的任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。(2)CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。(3)自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。产品特点1.纳米级光学传感器，可大量程(24mm)测量轴承圆弧沟槽表面粗糙度；2.拔插式测杆、0.5mN超低测力保护工件测量面；3.多方向运动轴保护措施，确保测针、保护仪器关键部位；4.具备轴承沟道测量功能：桃形沟尺寸、圆弧沟道、油沟形状、角度及对称度、套圈越程槽、成品轴承外圈凹槽距离、轴承滚道与挡边角度测量、倒角Ｒ及倒角尺寸，对称、非对称、对数曲线滚子凸度及滚子球基面测量功能；5.具备轴承沟道，内孔及端面表面粗糙度测量功能；6.分离式操作控制台，控制X、Z轴移动，使得测针顺利进入工件测量位置7.可将数据扫描点输出到CAD、ASCII格式文件，方便细节观察工件表面缺陷。分别对发动机关键零部件节温器内筒、气门摇臂及凸轮轴进行高精度轮廓参数检测：1)节温器内筒轮廓粗糙度检测 2)气门摇臂内孔粗糙度检测 3)发动机凸轮轴轮廓尺寸及粗糙度检测部分技术参数型号SJ5800-100轮廓参数测量范围X轴0~100mm立柱轴0~300mmZ轴±6mm（标准测杆）（±12mm：两倍标准测杆）粗糙度参数粗糙度测量参数R粗糙度：Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ；Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr；核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo；P轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax；W波纹度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc；Motif参数：仪器尺寸（长×宽×高）600×350×850mm仪器总重量约95Kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
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    厂商： 深圳市中图仪器股份有限公司
    品牌： 中图仪器/Chotest
    型号： SJ5800-100
    价格： 53.6万元
  • 国产表面粗糙度轮廓测量仪品牌 400-860-5168转6117
    中图仪器SJ5800国产表面粗糙度轮廓测量仪品牌采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，实现对轴承及工件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析。测量功能1.创建坐标：点线、两点 X、两线等工件坐标系。2.量测工具：矩形框选提取最高点、矩形框选提取矩形框选提取中心点、自动矩形取多点提取线、自动点捕捉取多点提取线、自动矩形提取螺纹中径线、扇形框选提取弧/圆等。3.构建特征：交点、中心点、角平分线、切线、两线内切圆、二次取样、垂线、平行线、特征偏移、两圆弧内切圆、直线旋转等。4.可测几何量：点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、垂线、线到线的距离、线到圆的距离、X/Z坐标夹角、坐标差、两点之间总过程距离、面积等。5.形位公差：直线度、圆度、平行度、垂直度、同轴度、位置度、轮廓度等形位公差评定。6.快速工具：坐标标注、两线交点、两线夹角、螺牙框选取交点标注、台阶高、滚珠丝杆、框选Pt、沟槽宽度、偏移点与轮廓相交直线、偏移直线与轮廓相交点、基边/基点标准等特殊工具快速测量。7.具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点。8.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。9.支持公差设置、合格判定。 10.支持点cnc .xml .dxf 共3种格式的轮廓对比，如标准轮廓中有标注，可自动计算出对应标注结果。11.支持轮廓扫描数据的修改，包括删除异常点来进行分析。12.支持多条记录按照统一基准进行拼接分析功能。13.支持轮廓特征、标注特征、形位公差的颜色自定义管理。典型应用SJ5800国产表面粗糙度轮廓测量仪品牌产品功能及高精度测量能力可以满足发动机关键零部件的轮廓尺寸测量需求。可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量，尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度及轮廓尺寸一次性检测，如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数（如Ra、Rz等）、微观轮廓度Pt、波纹度参数的测量。如分别对发动机关键零部件节温器内筒、气门摇臂及凸轮轴进行高精度轮廓参数检测。1)节温器内筒轮廓粗糙度检测2)气门摇臂内孔粗糙度检测3)发动机凸轮轴轮廓尺寸及粗糙度检测产品优势专业轴承测量、高稳定、高精密1.具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。可选专业轴承夹具和滚子分析，方便测试。2.分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm。3.超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。4.高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度。5.精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。 操作灵活、智能、简单1.轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块。2.测针一键拔插，特殊设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠。3.各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。4.带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。5.智能恒测力系统，0.5-3mN 测力档位可调，降低了测力变化引起的测量误差，适合测量各类软、硬性工件。6.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。7.根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。8.软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。自动、批量、快速测量1.对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量；对于复杂的工件，对工件任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。2、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。3、SJ5800国产表面粗糙度轮廓测量仪品牌自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。 部分技术参数型号SJ5800-100轮廓参数测量范围X轴0~100mm立柱轴0~300mmZ轴±6mm（标准测杆）（±12mm：两倍标准测杆）粗糙度参数粗糙度测量参数R粗糙度：Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ；Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr；核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo；P轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax；W波纹度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc；Motif参数：R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte；符合标准：GB/T3505-2009,ISO4287:1997,ISO 13565-2:1996,ASME B46.1-2002,DIN/EN/ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994JIS B 0601-1982,ISO 1302:2002；仪器尺寸（长×宽×高）600×350×850mm仪器总重量约95Kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
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    厂商： 深圳市中图仪器股份有限公司
    品牌： 中图仪器/Chotest
    型号： 315
    价格： 53.6万元
  • 表面粗糙度轮廓检测形状测量仪 400-860-5168转6117
    中图仪器SJ5800表面粗糙度轮廓检测形状测量仪采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量，尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度及轮廓尺寸一次性检测，如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数（如Ra、Rz等）、微观轮廓度Pt、波纹度参数的测量。工作原理通过超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能伺服驱动电机保证测量的超高稳定性及直线度，采用超高精度纳米衍射光学转轴测量系统及高精度直线光栅X轴建立工件表面轮廓的二维坐标，计算机采用高精度标定系统对采样数据进行修正标定，最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓及微观轮廓进行各种粗糙度参数、轮廓参数分析。产品应用SJ5800表面粗糙度轮廓检测形状测量仪可广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业, 该仪器可以对零件表面，尤其是大范围曲面，如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测，是大曲面测量（轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、轴承滚子）领域精细粗糙度测量的利器。产品优势 专业轴承测量、高稳定、高精密1.表面粗糙度轮廓检测形状测量仪具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。可选专业轴承夹具和滚子分析，方便测试。2.分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm。3.超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。4.高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度。5.精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。操作灵活、智能、简单1.轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块。2.测针一键拔插，特殊设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠。3.各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。4.带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。5.智能恒测力系统，0.5-3mN 测力档位可调，降低了测力变化引起的测量误差，适合测量各类软、硬性工件。6.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。7.根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。8.软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。自动、批量、快速测量1.对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量；对于复杂的工件，对工件任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。2、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。3.自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。软件测量功能1.创建坐标：点线、两点 X、两线等工件坐标系。2.量测工具：矩形框选提取最高点、矩形框选提取矩形框选提取中心点、自动矩形取多点提取线、自动点捕捉取多点提取线、自动矩形提取螺纹中径线、扇形框选提取弧/圆等。3.构建特征：交点、中心点、角平分线、切线、两线内切圆、二次取样、垂线、平行线、特征偏移、两圆弧内切圆、直线旋转等。4.可测几何量：点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、垂线、线到线的距离、线到圆的距离、X/Z坐标夹角、坐标差、两点之间总过程距离、面积等。5.形位公差：直线度、圆度、平行度、垂直度、同轴度、位置度、轮廓度等形位公差评定。6.快速工具：坐标标注、两线交点、两线夹角、螺牙框选取交点标注、台阶高、滚珠丝杆、框选Pt、沟槽宽度、偏移点与轮廓相交直线、偏移直线与轮廓相交点、基边/基点标准等特殊工具快速测量。 7.具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点。8.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。9.支持公差设置、合格判定。10.支持点cnc .xml .dxf 共3种格式的轮廓对比，如标准轮廓中有标注，可自动计算出对应标注结果。11.支持轮廓扫描数据的修改，包括删除异常点来进行分析。12.支持多条记录按照统一基准进行拼接分析功能。13.支持轮廓特征、标注特征、形位公差的颜色自定义管理。部分技术参数型号SJ5800-100轮廓参数测量范围X轴0~100mm立柱轴0~300mmZ轴±6mm（标准测杆）（±12mm：两倍标准测杆）粗糙度参数粗糙度测量参数R粗糙度：Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ；Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr；核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo；P轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax； W波纹度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc；Motif参数：R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte；符合标准：GB/T3505-2009,ISO4287:1997,ISO 13565-2:1996,ASME B46.1-2002,DIN/EN/ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994JIS B 0601-1982,ISO 1302:2002；仪器尺寸（长×宽×高）600×350×850mm仪器总重量约95Kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。
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    品牌： 中图仪器/Chotest
    型号： 70
    价格： 53.6万元
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  • 坐标测量机上的全自动表面粗糙度测量
    雷尼绍的创新REVO五轴测量系统又添新品 &mdash SFP1，它首次将表面粗糙度检测完全整合到坐标测量机的测量程序中。SFP1表面粗糙度检测测头的测量能力从6.3至0.05 Ra，其采用独特的&ldquo 单一平台&rdquo 设计，无需安装手持式传感器，也不需要将工件搬到价格昂贵的表面粗糙度专用测量仪上进行测量，既降低了人工成本又缩短了检测辅助时间。坐标测量机用户现在能够在工件扫描与表面粗糙度测量之间自动切换，一份测量报告即可呈现全部分析数据。高质量表面粗糙度数据SFP1表面粗糙度检测测头作为REVO五轴测量系统的一个完全集成选件，提供一系列强大功能，可显著提升检测速度和灵活性，令用户受益。测头包括一个C轴，结合REVO测座的无级定位能力和特定测针，该轴允许自动调整测头端部的任意角度来适应工件，确保获得最高质量的表面粗糙度数据。SFP1配有两种专用测针：SFS-1直测针和SFS-2曲柄式测针，它们在测量程序的完全控制下由REVO系统的模块交换架系统 (MRS) 选择。这不仅有助于灵活测触工件特征，还兼具全自动数控方法的一致性。SFP1表面粗糙度检测测头为平滑式测尖，含钻石成份的测尖半径为2 &mu m，它按照I++ DME协议，通过雷尼绍的UCCServer软件将Ra、RMS和原始数据输出到测量应用客户端软件上。原始数据随后可提供给专业的表面分析软件包，用于创建更详细的报告。 表面粗糙度检测测头自动标定传感器校准也通过坐标测量机软件程序自动执行。新的表面粗糙度校准块 (SFA) 安装在MRS交换架上，通过SFP1检测测头进行测量。软件然后根据校准块的校准值调整测头内的参数。更多信息详细了解雷尼绍的坐标测量机测头系统与软件，包括全新的坐标测量机改造服务。
    时间： 2012-05-22
    作者： 雷尼绍(Renishaw)
  • 线边缘粗糙度(LER)如何影响先进节点上半导体的性能
    作者：Coventor（泛林集团旗下公司）半导体工艺与整合团队成员Yu De Chen 介绍 由后段制程(BEOL)金属线寄生电阻电容(RC)造成的延迟已成为限制先进节点芯片性能的主要因素[1]。减小金属线间距需要更窄的线关键尺寸(CD)和线间隔，这会导致更高的金属线电阻和线间电容。图1对此进行了示意，模拟了不同后段制程金属的线电阻和线关键尺寸之间的关系。即使没有线边缘粗糙度(LER)，该图也显示电阻会随着线宽缩小呈指数级增长[2]。为缓解此问题，需要在更小的节点上对金属线关键尺寸进行优化并选择合适的金属材料。 除此之外，线边缘粗糙度也是影响电子表面散射和金属线电阻率的重要因素。图1(b)是典逻辑5nm后段制程M2线的扫描电镜照片，可以看到明显的边缘粗糙度。最近，我们使用虚拟工艺建模，通过改变粗糙度振幅(RMS)、相关长度、所用材料和金属线关键尺寸，研究了线边缘粗糙度对线电阻的影响。 图1：(a) 线电阻与线关键尺寸的关系；(b) 5nm M2的扫描电镜俯视图（图片来源：TechInsights） 实验设计与执行 在晶圆厂里，通过改变线关键尺寸和金属来进行线边缘粗糙度变化实验很困难，也需要花费很多时间和金钱。由于光刻和刻蚀工艺的变化和限制，在硅晶圆上控制线边缘粗糙度也很困难。因此，虚拟制造也许是一个更直接和有效的方法，因为它可以“虚拟地”生成具有特定线边缘粗糙度的金属线结构，进而计算出相应显粗糙度条件下金属的电阻率。图2(a)显示了使用虚拟半导体建模平台 (SEMulator3D®) 模拟金属线边缘粗糙度的版图设计。图2(b)和2(c)显示了最终的虚拟制造结构及其模拟线边缘粗糙度的俯视图和横截面图。通过设置具体的粗糙度振幅(RMS)和相关长度（噪声频率）值，可以在虚拟制造的光刻步骤中直接修改线边缘粗糙度。图2(d)显示了不同线边缘粗糙度条件的简单实验。图中不同RMS振幅和相关长度设置条件下，金属的线边缘展示出了不同的粗糙度。这些数据由SEMulator3D的虚拟实验仿真生成。为了系统地研究不同的关键尺寸和材料及线边缘粗糙度对金属线电阻的影响，使用了表1所示的实验条件进行结构建模，然后从相应结构中提取相应条件下的金属线电阻。需要说明的是，为了使实验更为简单，模拟这些结构时没有将内衬材料纳入考虑。图2：(a) 版图设计；(b) 生成的典型金属线俯视图；(c) 金属线的横截面图；(d) 不同RMS和相关长度下的线边缘粗糙度状态 表1: 实验设计分割条件 实验设计结果与分析 为了探究线边缘粗糙度对金属线电阻的影响，用表1所示条件完成了约1000次虚拟实验设计。从这些实验中，我们了解到： 1. 当相关长度较小且存在高频噪声时，电阻受到线边缘粗糙度的影响较大。2. 线关键尺寸较小时，电阻受线边缘粗糙度RMS振幅和相关长度的影响。3. 在所有线关键尺寸和线边缘粗糙度条件下，应选择特定的金属来获得最低的绝对电阻值。结论由于线边缘粗糙度对较小金属线关键尺寸下的电阻有较大影响，线边缘粗糙度控制在先进节点将变得越来越重要。在工艺建模分割实验中，我们通过改变金属线关键尺寸和金属线材料研究了线边缘粗糙度对金属线电阻的影响。在EUV（极紫外）光刻中，由于大多数EUV设备测试成本高且能量密度低，关键尺寸均匀性和线边缘粗糙度可能会比较麻烦。在这种情况下，可能需要对光刻显影进行改进，以尽量降低线边缘粗糙度。这些修改可以进行虚拟测试，以降低显影成本。新的EUV光刻胶方法（例如泛林集团的干膜光刻胶技术）也可能有助于在较低的EUV曝光量下降低线边缘粗糙度。在先进节点上，需要合适的金属线材料选择、关键尺寸优化和光刻胶显影改进来减小线边缘粗糙度，进而减少由于电子表面散射引起的线电阻升高。未来的节点上可能还需要额外的线边缘粗糙度改进工艺（光刻后）来减少线边缘粗糙度引起的电阻。
    时间： 2023-08-15
    作者： KPC
  • InfiniteFocus功能之一:可追踪的形态和粗糙度测量
    新的粗糙度标准提供了可追踪的光学粗糙度测量 迄今为止，新的粗糙度标准为光学粗糙度测量提供了验证。通常，表面的传统标准只适用于接触式扫描技术，而光学测量很难被追踪。 Alicona的新粗糙度标准既适用于接触式也适合于光学测量系统。该标准显示了光学无限变焦技术和接触式测量在相同的公差范围内可以取得等价的测量结果。 对于粗糙度标准对光学粗糙度测量的验证，Alicona也提供了一个可校准和验证的micro contour artefact，来追踪形态测量。 无限变焦的光学技术适用于实验室和生产中高分辨率的测量。即使在陡峭的斜面和强反射性能的情况下，垂直分辨率也可以高达10nm。在质量保证方面，该技术被成功地用于形态和粗糙度测量。无限变焦技术被包括在新的ISO标准25178中，新的ISO标准25178第一次包括光学处理技术。
    时间： 2009-02-09
    作者： 东方德菲仪器
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  • 粗糙度轮廓测量仪能够评定哪些参数？

    粗糙度轮廓测量仪能够评定哪些参数？

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701111723_620778_3712_3.jpg1. 粗糙度轮廓测量仪表面轮廓评定：评定半径,角度, 距离, 坐标,圆,圆截面,确定各个点,相交各点,坐标轴,直线,垂直线,圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度分析等；同时实现下列功能：(1)建立回归直线和圆形(2)建立点、交点、自由点、中心点、最高点和最低点(3)建立坐标系统(4)计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差(5)实际值与标称值比较(6)测量程序自动运行2. 粗糙度轮廓测量仪测量表面粗糙度参数：R粗糙度：Ra,Rq,Rz,Rmax,Rpc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,R3z,RSm,Rs，Rsk,Rku, Rdq,Rlq,Rdc,RHSC,Rmr,Rz-L,Rp-L,R3z-L,Rdc-L,RMr-L,Pdc-L,PMr-L核心粗糙度:Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,VoP轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Plq,Pdc,PHSC,PPc,PMr,W波度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdg,Wdc,WMrMotif参数：R,Ar,W,Aw,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CLISO5436参数：Pt,D轮廓类型:支持D,P,W,R

  • 触针式表面粗糙度测量仪的原理

    目前，检测表面粗糙度比较常用的方法是比较法、光切法、干涉法、触针法和印模法等，而其中触针法因其测量迅速方便、测量精度高、使用成本较低等良好特性而得到广泛使用。当采用触针法对加工工件表面进行表面粗糙度测量时，探测头上的触针在被测表面轻轻划过。由于存在轮廓峰谷的起伏，所以触针将在垂直与被测轮廓表面方向上产生上下起伏的移动。这种移动量虽然非常微细，但足以被敏感的电子装置捕捉并加以放大。放大之后的信息则通过指示表或其他输出装置以数据或图形的方式输出。这就是触针式表面粗糙度测量仪的工作方式。其中，按其传感器类型可以分：电感式、压电式、光电式等；按其指示方式又可分为：积分式、连续移动式。触针式表面粗糙度测量仪由传感器、驱动箱、指示表、记录器和工作台等主要部件组织。其中电感传感器的工作原理为：传感器测杆一端装有触针（由于金刚石耐磨、硬度高的特点，触针多选用金刚石材质），触针的尖端要求曲率半径很小，以便于全面的反映表面情况。测量时将触针尖端搭在加工工件的被测表面上，并使针尖与被测面保持垂直接触，利用驱动装置以缓慢、均匀的速度拖动，当触针在被测表面拖动滑行时，将随着被测面的轮廓峰谷表面作反向上下运动，并将运动幅度放大，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化，并将触针微笑的垂直位移转化为同步成比例的电信号。

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  • 东京精密 粗糙度、圆度、轮廓度 探针
    东京精密表面粗糙度仪测针：1、标准型测针 DM438012、小孔用测针 DM438093、极小孔用测针DM438114、小孔测量用测针DM438125、齿轮面测量用测针DM438146、深沟，R沟测量用测针DM438157、细长小孔测针DM438218、低倍率长孔测量用测针DM438229、深沟倒角测量用测针DM4382710、超深沟测量用测针DM4382611、红宝石测针 010250512、细长可测量用红宝石测针 0102520东京精密表面轮廓测量仪测针：1、标准型测针DM45501，DM45502，DM455032、锥形测针 DM45504，DM45505，DM455063、棱线测量用测针DM45507，DM45508，DM455094、小孔测量用测针DM45801，DM45802，DM45803，DM45510，DM45511，DM455125、小孔锥形测针DM45084，DM45085，DM45086，DM45513，DM45514，DM455156、直齿测量用测针DM45088，DM45089，DM45516，DM45517，DM455187、斜齿测量用测针DM45090，DM45091，DM45092，DM45519，DM45520，DM455218、高精度红宝石测针DM45522，DM45523，DM45524，DM45525，DM45526，DM455279、深沟测量用测针DM45531，0102804东京精密粗糙度仪、轮廓测量仪、圆度测量仪 测针型号：DM42001、S2800、S1400、S1800、DM42011、S480A、DM42012、S590A、DM42020、DM4380、DM43801、DM43802、DM43809、DM43811、DM43812、DM43813、DM43814、DM43815、DM43821、DM43822、DM43824、DM43825、DM43826、DM43827、DM43900、DM44026、DM45081、DM45082、DM45083、DM45084、DM45085、DM45086、DM45087、DM45088、DM45089、DM45090、DM45091、DM45092、DM45500、DM45501、DM45502、DM45503、DM45504、DM45505、DM45506、DM45507、DM45508、DM45509、DM45510、DM45511、DM45512、DM45513、DM45514、DM45515DM48505 DM48507 DM40508 DM40511 DM40513 DM48515 DM47501 DM47513 DM81900010-2501 010-2502 010-2521日本东京精密ACCRETECH测针 探针，测定子有大量现货，保证日本原装正品！东京精密轮廓仪测针、检出器 调整装置、台架、记录纸、 订货 货期快。东京精密ACCRETECH型号：测定子 检出器 调整装置0194000 E-DH-R639A/E-DH-R617A E-WJ-R01C0194001 E-DH-R617A E-WJ-R104A0194002 E-DH-R149A E-WJ-R411A0194003 E-DH-R80A E-WJ-R19A0194004 E-DH-R327A E-WJ-R20A0194005 E-DH-R354A E-WJ-R10A0194006 E-DH-R348A E-WJ-R378A0194007 E-DH-R329A E-WJ-R34A0194008 E-DH-R317A E-WJ-R77A0194009 E-DH-R636A/E-DH-R603A 0194010 E-DH-R618A 台架EM49030-S361 E-DH-R613A E-DK-R56AEM49030-S381 E-DH-R678A E-VS-S13AE-DH-R665A/E-DH-R669A E-VS-S57B0194200 E-DH-R677A E-VS-S16B0194201 E-DH-R720A E-VS-S21B0194202 E-DH-R690A E-VS-R20B0194203 E-DH-R749A E-VS-R24A0194204 E-DH-R774A E-DK-R16A0194205 E-DH-R770B E-DK-R19A0194206 E-DH-R779A E-DK-R34A0194207 E-DH-R391A E-DK-S24A0194208 E-DH-R614A E-DK-S25A0194209 E-DH-R708A 0194210 E-DH-R653A 0194400 E-DH-R725A E-TF-R25AEM49201-S375 E-DH-R707A L-WF-R08AEM49201-S374 E-DH-R608A L-WF-R07AEM49201-S315 E-DH-R724A L-WF-R11AEM49201-S361 E-DH-R714A L-WF-R03BEM49201-S376 E-DT-R32A/E-DT-R272A L-WF-R27AE-DT-R74A L-WF-R24AEM46000-S300 E-DT-R37A EM46000-S301 E-DT-R76A 记录纸EM46000-S302 E-DT-R10A E-CH-R04AEM46000-S303 E-DT-R87A E-CH-R05AEM46000-S304 E-DT-R173A I-250-125EM46000-S305 E-DT-R168B E-CH-R06AEM46000-S306 0102505 E-CH-S05AEM46000-S307 0102516 E-CH-S03AEM46000-S308 E-DT-R83A KT202-AEM46000-S309 E-DT-R95A CP-192EM46000-S310 E-DT-R120A CP-092E-DT-R106A AFD20P-060ASEM46100-S300 E-DT-R141A AFM20P-060ASEM46100-S301 E-DT-R107A EM46100-S302 E-DT-R44AEM46100-S303 E-DT-R105AEM46100-S304 E-DT-R163AEM46100-S305 E-DT-R140AEM46100-S306 E-DT-R130AEM46100-S307 EM46100-S308 EM46100-S309 EM46100-S310 EM-59103-S001 合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等
    供应商： 上海澳信检测技术有限公司
    品牌： 东京精密
    价格： 面议
  • S-22表面粗糙度比较仪
    S-22表面粗糙度比较仪S-22 Microfinish Comparator S-22表面粗糙度比较仪　本产品可用于五金机械，家电设备，产线建设等相关行业　　品 牌：GAR　　型 号：S-22(多款型号供选)　　比较仪质量 比较仪尺寸 比较仪价格 基本描述　　GAR S-22 22型表面粗糙度比较仪（符合AS9000标准） 　　GAR22样品2至500微英寸范围表面粗糙度计 　　本项目规范 　　零件号S-22 　　品牌名称GAR 　　不锈钢材质 　　项目数量1 　　UNSPSC代码41110000。　　S-22传统加工MICROFINISH比较器的形状为矩形（2“x53/8”），是实际加工表面的耐腐蚀电铸镍复合物。 　　共有二十二个复制的机加工表面光洁度样品，其中包括六种不同的加工工艺：研磨，研磨，布兰德尔地面，形状翻转，铣削和成型-范围从2到500微英寸。 　　S-22MICROFINISHCOMPARATOR采用人造革外壳，提供工程数据和说明。 　　S-22也有公制，带有千分尺。　　比较仪质量 比较仪尺寸 比较仪价格 术语　　类型： 　　标本是原始edm' ed表面的电铸复制品。 　　材料： 　　这种微细比较器表面粗糙度标尺由镍制成。它不会腐蚀。 　　外观： 　　每个样品都具有转向金属材料的表面粗糙度特征。 　　表面粗糙度：表示 　　由工具边缘的切割作用，机床的进给和磨粒产生的细微间隔的表面不规则性。 　　统一性和准确性： 　　原始母版和电铸复制品制作母版均匀分布检查。进行足够的测量以确定代表性的平均值。列出的评级是这些读数的平均值。 　　LAY： 　　这是指定主要表面不规则方向的术语。 　　FLAWS： 　　这些是不规则的，可能会频繁出现。它们不是典型的转弯表面。 22个复制的机加工表面光洁度试样，包括六种不同的机加工工艺示例：搭接、研磨、硬研磨、成形车削、铣削和成型-范围为2至500微英寸。S-22微精比较仪表面粗糙度标尺由双电铸工艺制成，其中镍电沉积以提供复杂细节的**再现。GAR电铸公司可提供用于产生表面粗糙度标尺的相同电铸工艺，以满足您的产品需求。 该比例中使用的表面是**加工表面的复制品，测量单位为微英寸（百万英寸-0.000001”）。刻在每个表面旁边的数字是与平均表面的平均偏差，以微英寸表示。 将MICROFINISH比较仪表面粗糙度标尺放在工件旁边。滑动标尺，使具有所需表面粗糙度的矩形与正在检查的工件相邻。通过在每个表面上以与工具标记成直角绘制指甲尖进行比较。如果饰面相同，则指甲接触的感觉必须相同。 S-22微精比较仪表面粗糙度量表为工业界提供了已建立的平面粗糙度样本，用于视觉和触觉比较。当需要具有典型机加工表面外观的产品时，它用于指定和控制表面粗糙度。 S-22微精比较仪表面粗糙度标尺提供了一种经济的工具，允许在与线性测量相同的基础上指定粗糙度。呈现的表面是多年研究和工程的结果。有关该主题的详细信息现已发布在美国国家标准协会（ANSI）规范中，标题为：“表面纹理、表面粗糙度、波纹度和铺层”。ANSI/ASME B46.1 S-22常规加工微精比较仪为矩形（2“x 5 3/8”），是实际加工表面的耐腐蚀电铸镍复制品。 共有22个复制的加工表面光洁度试样，包括六种不同的加工工艺：研磨、研磨、硬研磨、成形车削、铣削和成型，范围为2至500微英寸。 S-22微精比较仪装在人造革箱中，附有工程数据和说明。 S-22也有公制和千分尺名称。 类型： 试样是原始电火花加工表面的电铸复制品。 材料： 该微精比较仪表面粗糙度标尺由镍制成。它不会腐蚀。 外观： 每个试样具有车削金属材料的表面粗糙度特征。 表面粗糙度： 指由刀具边缘的切削作用、机床进给和磨粒产生的精细间隔表面不规则。 一致性和准确性： 已按均匀分布的间隔检查原始母版和电铸副本生产母版。进行了充分的测量以确定代表性平均值。列出的额定值是这些读数的平均值。 铺设： 这是指主要表面不规则的方向。 缺陷： 这些是可能频繁出现的不规则情况。它们不是典型的回转面。 SCRATA粗糙度样块,SCRATA Comparators对比板铸钢表面SCRATA图谱SCRATA粗糙度对比试块ASTM A802粗糙度对比试块SCRATA比较器目视比较仪检测表面粗糙度SCRATA比较仪铸体表面粗糙度对比试块CTI粗糙度对比板钢和铁铸件表面质量检测仪铸造表面粗糙度对比板砂型铸件铸造表面对比板 Comparators for the definition of surface quality of steel castings 英国铸钢研究及贸易协会(STEEL CASTINGS RESEARCH AND TRADE ASSOCIATION 缩写为：SCRATA)更名为英国CTI铸造协会(CTI，Castings Technology Intemational) 一个铸件的粗糙度程度取决于制造工序（铸造、打磨、精加工等）。所用的铸造材料（型砂、涂料等）、铸造设备和浇铸合金。铸件表面如无加工表面均匀的环状，就很难用机械仪器、光学仪器或传统的气动仪器来评估它的粗糙度，因而在这种情况下，采用显示比较器是合适的选择。 但考虑到铸造或其它精加工方法做出的毛坯表面的不均匀性，比较器的规格应相对增大（等于或大于15000mm2），以便检验更可靠，给出重复而适当的结果。 Steel Castings Research and Trade Association(48片）：SCRATA比较器（1988年出版），用于确定铸钢件的表面质量，SCRATA显示比较器的规格为100mm×150mm （其比较面积大致为15000mm2~15500mm2）。 SCRATA样板 ASTM A802 粗糙度对比试块 SCRATA图谱 适用于ASTM A802/A802M – 95 (2006)钢铸件表面目测验收标准规程的31个样块如下： Surface Roughness (A) 表面粗糙度(A) Surface Inclusions (B) 表面夹杂(B) Gas Porosity (C) 气孔(C) Laps and Cold Shuts (D) 皱褶和冷隔(D) Scabs (E) 铸疤(E) Chaplets (F) 型芯撑(F) Surface Finish – Thermal Dressing (G) 表面处理 - 热抛光(G) Surface Finish – Mechanical Dressing (H) 表面处理 - 机械抛光(H) Welds (J) 焊缝(J) Hot Tears 热裂纹 Mechanical Dressing - Chipping 机械抛光 - 切削样块数量样板分类 ABCDEFGHJ热裂纹切削ASTM A802311-41,2,4,51-41,2,53,51,31,2,3,51,3,4,51,2,3,5--48个的样板集适用于 ISO 11971:2008 钢和铁铸件 – 表面质量的外观检验；BS EN 1370:1997 铸造 – 目视比较仪检查表面粗糙度； BS EN 12454:1998 砂型铸件铸造表面缺陷的目视检查。（如果已有ASTM A802样块集，可以购买17块的升级样块集）样块数量样块分类ABCDEFGHJ热裂纹切削全套481-51-51-51-51-51-51-51-51-51-21升级样块集175353,41,2,42,4,54241-21第3组有14个样块，基于BS 7900:1998 精密钢铸件表面特征的检验规范，适用于采用精密铸造工艺制造的铸钢件采购 Resin Shell Process (V) 树脂壳法(V) Lost Polystyrene Process (W) 聚苯乙烯消失模铸造(W) Shaw Process (X) 萧氏精密造模法(X) Lost Wax Process (Y) 失蜡法(Y) Fettled Surfaces (Z) 修整铸件(Z) 样块数量样板分类VWXYZ精密铸造样块集141-31-31-31-21-3 1. Full Set (48 comparators + A4 book) (咨询价格021-51082920) 全套 (48个样块)2. ASTM A802 set (31 comparators + A5book) ASTM A802样块集 (31个样块)3. Upgrade set (17 comparators + A4book) 升级样块集’ (17个样块)4. Precision castings (14 comparators and a copy of BS 7900:1998) 精密铸造’ (14个样块和BS 7900:标准文本一份)
    供应商： 上海瑞贝贸易有限公司
    品牌： 华虹科技
    价格： 面议
  • 多功能翘曲度测量仪配件
    多功能翘曲度测量仪配件是孚光精仪公司进口的全球领先的翘曲度检测仪器，一套翘曲度测试仪器可以测量：热沉,晶圆(wafer),太阳能电池和硅片翘曲度,应力以及表面形貌。多功能翘曲度测量仪配件是特别为半导体晶圆（wafer)和太阳能电池（solar cell)的翘曲度（warp) 和弯曲度(bow)以及表面形貌(topography)的测量而设计，可以测量晶圆翘曲度（wafer warpage) 和晶圆表面形貌, 晶圆应力,硅片张力,太阳能电池量子效率，既适合科研单位使用，也适合工业客户大产品、高效率的晶圆翘曲度和表面形貌的检测的需要。 我们还根据不同晶圆类型提供如下两种硅片翘曲度测量仪： 1. 非反射型：适合晶圆表面覆盖晶圆保护膜/胶带（wafer tape)，图案化晶圆 /图样化晶圆（patterned wafer)，粗糙的晶圆的应用； 2. 高反射型： 适合晶圆表面光滑 / 镜反射的应用。 多功能翘曲度测量仪配件特点： × 适合不同尺寸的晶圆检测，从0.5’‘到12' ' 的直径； * 标准检测能力为： 每小时可检测2000个晶圆或更多太阳能电池； × 同时测量多个晶圆或太阳能电池； × 测量镀膜后的晶圆或solar cell * 分析太阳能电池或晶圆应力和张力； * 对晶圆表面进行图像分析； * 测量图案化晶圆或非图案化的晶圆； * 具有太阳能电池的量子效率测量选项供选择 多功能翘曲度测量仪配件参数： × 翘曲度测量范围：1-20微米； * 重复精度： 百分之0.5 （1 sigma) * 给出结果：曲率半径,晶圆弯曲高度，翘曲度，测量日期和时间； * RMS粗糙度mapping: 0.5-20A （可选项）； * 光源：根据用户的应用而配备不同光源； * 探测器：高分辨率探测器阵列并配备亚像素软件；
    供应商： 孚光精仪（中国）有限公司
    品牌： 孚光精仪
    价格： 面议
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