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各位,請教高純氯化鈉的純度如何測定?公司使用的氯化鈉已經有10年了,現在要測定其純度是否還符合要求?不知有什麼方法可以測定?急!!各位,請幫幫忙,謝謝了!!
超净高纯电子化学试剂———异丙醇制备方法 梁 凯 (黑龙江省化工研究院,黑龙江 哈尔滨 150078) 摘 要:本文介绍了用含量98%的工业级异丙醇经过金属离子络合剂处理、脱水处理、微滤膜过滤、多级精馏、钠滤膜过滤制备超净高纯电子化学试剂———异丙醇的制备方法。该方法制备的超净高纯异丙醇符合半导体技术的芯片及硅园片的清洗和刻蚀的要求。 关键词:超净高纯异丙醇;金属离子络合剂;多级精馏;纳滤膜过滤 中图分类号:TQ224.23 文献标识码:A 文章编号:1002-1124(2011)07-0063-02 随着半导体技术的迅速发展,对超净高纯试剂的要求越来越高。在集成电路(IC)的加工过程中,超净高纯试剂主要用于芯片及硅园片表面的清洗和刻蚀,其纯度和清洁度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。超净高纯异丙醇作为一种重要的微电子化学品已经广泛用于半导体、大规模集成电路加工过程中的清洗、干燥等方面。随着 IC的加工尺寸已经进入亚微米、深亚微米时代,对与之配套的超净高纯异丙醇提出了更高的要求,要求颗粒和杂质含量降低 1~3 个数量级,达到国际半导体设备和材料组织制定的SEMI- C12标准,其中金属阳离子含量小于 0.1×10- 9,颗粒大小控制在 0.5μm以下。 目前,超净高纯异丙醇通常是以工业级异丙醇为原料纯化精致而成。精馏是工业化提纯异丙醇的主要方法,包括共沸精馏、萃取精馏等。但是用于微电子化学品工业的超净高纯异丙醇对其中金属杂质,颗粒大小含量和阴离子的要求十分苛刻,精馏工艺已经无法满足要求。 现有文献公布的超净高纯异丙醇的制备方法,以工业异丙醇为原料,以碳酸盐调节 pH 值,加入脱水剂,进行回流反应,经精馏、蒸馏、膜过滤,得到符合国际半导体设备和材料组织制定的SEMI- C12标准的超纯异丙醇。这一公开报道的制备方法无法稳定控制产品质量,特别是产品中金属离子含量以及颗粒杂质大小。
通俗的说,去离子水和蒸馏水是两类水,而不是两种水。普遍来说蒸馏水的离子比去离子水高,去离子去过不经过紫外消毒或者滤膜的话,可能会带点微生物,看具体工艺。去离子水是用离子交换树脂来去除水中的大量的阴阳离子,但是不能去除所有的离子。而蒸馏水,是蒸汽遇冷凝结的,所以基本不含离子(氢离子和氢氧根离子除外),所以蒸馏水的纯度要比去离子水的高,你测电导率就可以知道蒸馏水的电导率要低。一般分析的时候使用蒸馏水,而工厂生产是使用去离子水。这两种水的其他不同都是由制备方法不同所导致所以归根结底就是制备方法不同。各方法做出来的水的纯度都会随着重复次数的增加而提高。纯化任务要考虑的是原混合物的具体情况,选择有针对性的纯化方法。 所以,要比较的话,必须指明从什么水开始,经过几次蒸馏或几级渗透膜。而且膜也有很多种类。膜分离技术本身也在不断发展中。用不同的膜除的是不同的东西,会为了除很冷门的物质而开发很冷门的膜。细菌就可以通过过膜而除去,并不一定非要紫外。纯化不是向水中添加指定的物质,而是从水中除去指定的物质,所以成份有什么不一样,也跟你拿什么水去纯化有关。拿池塘水和自来水的结果当然就不一样。简单地说,去离子水是把水中的钠、镁、钙、锌、铁等离子去掉。看看矿泉水的包装,肯定能看到这些离子的含量。把这些离子除去,对做研究来说,实验结果就精确科学得多。对日常生活来说,水由“硬水”变成“软水”,洗衣服的时候不起泡沫的问题得到解决,而且烧水的水壶也不会结垢,据说患结石的概率也会减少。在家庭里,往往是通过直饮水的离子柱产生离子水。一般都有一根柱子来出去细菌。蒸馏水是要把水煮沸,水蒸气在锅盖受冷变回水滴,把这些水滴收集起来就是蒸馏水了。简单总结就是,去离子水可以用蒸馏水代替,蒸馏水的等级高于去离子水,但要用蒸馏水的不能用去离子水!