高纯氦色谱仪

【磐诺-高纯气体在线气相色谱仪】仪器采用吹扫阀技术、零死体积零泄漏技术、二维中心切割技术、高纯气体类分析专用色谱柱技术和脉冲氦离子化检测器（PDD）技术相结合进行高纯氦、高纯氢、高纯氮、高纯氩、高纯甲烷、高纯二氧化碳、高纯氧等在线检测。样品采集到定量环并置换干净后，切换进样阀，在载气的带动下样品进入色谱柱中分离并将主组分切割放空后依次进入PDD检测器检测得到。【仪器特点】（1）采用高纯气专用色谱柱技术，测量多种无机和有机杂质组分，符合国标要求；（2）仪器具有开机自检功能、断气保护功能、断电自动重启功能、自动标定功能和报警功能，保证系统安全和稳定性；（3）采用带吹扫保护的膜阀和零泄漏管道接头设计，系统漏率＜1*10-8m3.pa.s-1；（4）PDD检测器具有专利技术和宽量程数字化输出，其中CH4检测限≤5ppb；（5）核心部件均使用国际知名品牌，可靠性高，使用寿命长。【应用领域】空分装置在线监测【技术参数】检测能力H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2、Kr、Xe等量程CH4（1ppb-1000ppm）检测器脉冲氦离子化检测器（PDD)检出限5ppb（CH4）重复性RSD≤3%分析周期10min功率电源＜300W，220V AC/50Hz工作环境温度：（-10~50）℃，湿度：（10%~90%）RH气源要求载气：高纯氦（≥99.999%）?输出4-20mA、RS232/RS485、以太网尺寸19"标准机箱，5UA、测定成分测定组分检测气体H2Ar/O2N2CH4COCO2He是是是是是是H2否是是是是是O2是Ar是是是是Ar是否是是是是N2是是否是是是CO2是是是是是否Kr是是是是是是Xe是是是是是是B、测定范围测定成分测定范围H210ppb—100ppmAr/O210ppb—100ppmN215ppb—100ppmCH45ppb—100ppmCO25ppb—100ppmCO210ppb—100ppmKr10ppb—100ppmXe20ppb—100ppm

PDHID氦离子化气相色谱仪工业发展推动了气体行业的飞速发展，对高纯气、超纯气、电子气、特种气体的需求也大大提升了，提升的不仅仅是用量，质量要求也更加紧迫。气体提纯工艺和检测成为了各大气体生产单位需要紧迫解决的问题。对于气体的检测也随着工业需求在逐步的向前推进，氦离子化检测器也越来越普遍地被应用在高纯气、电子气中痕量杂质的检测。高纯氢 氦离子化气相色谱仪是一款针对高纯气、超纯气和电子气分析的仪器。 高纯氢氦离子化气相色谱仪是一款采用高灵敏度的氦离子检测器进行气体痕量杂质分析的气相色谱仪，适用于氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中的杂质分析。 采用原装的进口氦离子化检测器和自动切换阀的配合建立完整的分析流程，一次进样可完成常规杂质的分离和检测。将整个分析流程中可能出现的死体积控制到小，从而排除掉残留气体对分析的干扰，提高检测的真实度。 自主研发的阀柱一体化加热装置，能够减少阀与柱的连接管道，减少死体积，增加灵敏度与减少吹扫时间，检测限可达ppb级。压力感应自动进样系统，自动化程度更高。能够简化进样操作流程，并减少人员对进样误差。 参照标准 GB/T3634.2-2011 《纯氢、高纯氢和超纯氢》 GB/T 14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》 GB/T 8979-2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》 GB/T 4842-2006《氩》 GB/T 4844-2011《纯氦、高纯氦和超纯氦》 GB/T 17873-1999《纯氖》 GB/T 5829-2006《氪气》 GB/T 5828-2006《氙气》 HG/T 3633-1999《纯甲烷》 GB 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》 GB/T 23938-2009 《高纯二氧化碳》 GB/T 28125.1-2011《空分工艺中危险物质的测定》 GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》 GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》 GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》 GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》 GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》 GB/T 14600-2009《电子工业用气体 氧化氩氮》 GB/T 14601-2009《电子工业用气体 氨》 GB/T 24469-2009《电子工业用气体 5N氯化氢》 GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》 GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》 GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》 GB/T18867-2014《电子工业用气体 六氟化硫》 GB/T 28726-2012 《气体分析 氦离子化气相色谱法》 检测种类和检测限: PDHID对部分杂质的检测限（ppb） 杂质种类 杂质种类H2O2N2COCH4CO2C2H4C2H6C2H2N2O苯检测限51010255510101051 仪器特点高灵敏的氦离子化检测器（PDHID） 系统配备氦离子化检测器（PDHID），对H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、等常规杂质均有很高的线性响应。这款检测器是一种灵敏度高通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析，是能够检测至ng/g（ppb） 级的检测器。新制定的大多数气体产品的国家标准中都规定采用氦离子化检测器代替原有的热导等检测器，这大大提高了气体产品的分析能力。 采用中心切割技术，实现仪器的高度自动化 采用VICI公司生产的吹扫型自动十通阀完成中心切割与反吹技术，配合吹扫型自动六通阀，一次进样即可完成复杂样品的分离、选择、检测。使样品经过不同条件的色谱柱进行有效的分离，通过工作站设置的时间程序自动控制吹扫阀的进样、切割、选柱与反吹等过程。 多柱箱系统 系统配置多个独立柱箱控温单元，采用一个主柱箱，多个辅助柱箱对不同色谱柱进行独立控温。使不同的色谱柱在不同柱箱中分离样品、单独活化，避免在检测和维护工作中需要拆装色谱柱的问题。 氦气纯化器： HP-2型氦气纯化器是VICI公司生产的一款专载气纯化器，其纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散，防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸附。HP的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两个温度控制范围。 无死体积的减压阀和取样阀，防止气体残留造成的分析干扰 载气减压阀采用具有两级稳压功能的全不锈钢载气减压阀，大大提高了压力稳定性，确保基线的稳定，同时也降低了阀体内的死体积。 样品取样采用无死体积的取样阀，采用带吹扫保护的取样方式，有效的避免了空气残留的问题，将取样过程对分析的影响降至低的水平。 数字化电子调零技术，增强仪器的抗干扰能力 检测器信号调零采用电子调零技术，利用高精度数字电路进行基流补偿，实现输出信号电平的电子调节，减小了寄生参数，因而具有较强的抗干扰能力。 自动断气保护功能，保障检测器的安全运行 具有智能的断气保护功能，当载气压力小于安全阈值时，系统会自动切断检测器电压，并色谱仪自动降温，以保护检测器及色谱柱不受到损坏。 技术指标 氦离子化检测器（PDHID）： 放电模式：脉冲放电基线噪声：≤0.1mv基线漂移：≤0.5mv/30min检测限：≤1.0×10-11g/ml 氦气纯化器： 可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn大操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等残留浓度：≤10ppb 温控指标： 控温范围：室温上4℃-450℃控温精度：±0.01℃温控区域：8路程序升温阶数：8阶程序升温速率：120℃/min检测器：室温上4℃-450℃ 精度±0.01℃ 通信接口 以太网：IEEE802.3

GC-9280型硅烷分析氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。 硅烷是重要的新材料产品，广泛应用于LCD平板显示、半导体、太阳能等行业，随着中国半导体等行业的发展，国内对硅烷的需求与日俱增，但是由于国内硅烷生产的技术处于起步阶段，如何对硅烷的纯度进行分析是各个生产厂商需要面临的一个课题 众所周知，高纯气体的分析是一个复杂的过程，也是色谱分析的难点之一；硅烷由于其物理性质的特殊性，其分析的难度可谓难上加难，不仅需要高灵敏的检测器，还要解决硅烷遇氧燃烧的问题。GC-9280氦离子化气相色谱仪克服了硅烷分析过程中的众多技术难点，采用高灵敏度的氦离子化检测器，配备专用的硅烷取样系统，很好的完成了硅烷中痕量的ppb级杂质的分析。 适用的标准：GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》 GC-9280硅烷分析氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，最小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司中心切割技术，所配备的进样阀均为带有吹扫保护气路的进口阀；整机采用多柱箱设计，不同色谱柱可单独控温，优化了分离条件，并且方便对不同色谱柱分别进行老化处理，方便仪器的维护；仪器配备进样压力自动校正系统，克服了不同底气因分子量不同而造成的进样量多导致的分析误差。 GC-9280硅烷分析氦离子化气相色谱仪的性能优势： 气体工业是国民经济的基础行业，是工业生产的“血液”，随着国民经济的快速发展，对高纯气体和电子工业用气体的需求量也快速增长。痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节，而痕量杂质的分析一直是色谱分析的难点，传统的热导等色谱检测器均无法胜任高纯的气体分析。 脉冲放电氦离子化检测器（PDHID）是一种灵敏度极高的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析，能够检测至ng/g（ppb）级的检测器。 仪器的应用范围：本仪器主要应用于高纯硅烷气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表： 气体种类需分析的杂质种类HeH2O2ArN2COCH4CO2C2C3SimHn仪器的检测限（PPb）153010501010303050 系统依据的相关标准: 1、电子气标准GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》2.仪器的详细配置（供货明细）：仪器名称型号规格厂家单位数量备注氦离子化气相色谱仪GC-9280PDD北京普瑞仪器台1配备PDHID氦离子化检测器多柱箱系统北京普瑞仪器套1可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度，以满足样品分离的需要中心切割与反吹系统:吹扫十通阀2只 吹扫六通阀3只. VALCO 套 1配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀：一次进样，无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。专用毛细管色谱分离系统VALCO套1用于分离硅烷中的微量：甲硅醚；甲基硅烷；乙硅烷色谱柱:Hayesep -QHayesep -DB5A 硅烷毛细管柱VALCO根61.可分离样品中的H2、O2(Ar)、N2、CO、CO2、CH4等杂质2.CO拖尾处理技术硅烷取样系统普瑞仪器套1专为高纯硅烷色谱分析设计含吹扫气路与取样气路。载气(He)纯化器:HP-2VALCO台1He中杂质含量≤10ppb载气过滤器VALCO个12μm孔径样品过滤器VALCO个12μm孔径标准气体:(10PPM)普瑞仪器套1含: H2, O2, Ar, N2,CO, CH4, CO2高纯氦气:40L用户自备瓶1+1纯度不低于99.999%高纯氮气:40L用户自备瓶1作为VALCO吹扫阀的保护及驱动气使用无死体积专用取样阀带吹扫1/8”口普瑞仪器个4取样时防止空气渗入，带放空结构设计载气专用两级不锈钢减压阀1/16”口HORO个2配:进口载气四通切换阀1/16”口只1配:进口高纯气专用色谱工作站普瑞仪器套1自动控制切割、反吹、进样等过程；并实现对色谱主机的操作控制电脑与打印机联想/HP台1可另选配安装调试费：免费技术服务及培训费：免费(1.发货前 2.安装调试中 3.公司定期办培训班时.)随机备品、备件、工具、材料费（附件四）：随机 GC-9280氦离子化气相色谱仪仪器特点 中心切割技术，实现气体全分析： GC-9280氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹技术，该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程。 吹扫型十通阀 GC-9280-HG所配备的均为原装进口VICI生产的带保护气路的吹扫型十通阀，阀平面始终处于载气的氛围中，避免进样和切换时空气渗透到样品之中，大大提高检测灵敏度和准确性。 经特殊加工的色谱柱技术（1）色谱柱管材采用316L不锈钢材料，且管材内壁均经过钝化处理，防止吸附和一氧化碳拖尾等问题的产生（2）色谱柱担体均经过特殊处理，避免氧吸附等问题的产生（3）预切柱采用微型填充柱技术，全面改善样品的分离，兼顾分离、稳定与快速 多柱箱分离系统 气体样品的形式多种多样，同时杂质种类繁多，需要多根不同的色谱柱联用来完成气体样品中的所有杂质的分离。由于不同色谱柱的最佳工作温度不尽相同，在同一个柱箱中很难找到同时适合不同色谱柱工作的工作温度。GC-9280采用多柱箱设计，有效解决了不同色谱柱需要不同工作温度的难题。 在仪器的日常维护中，由于5A分子筛等不同担体的色谱柱的活化温度各不相同，如果在同一柱箱中进行老化需要将不耐受高温的色谱柱拆下来，然后分别进行活化。GC-9280的多柱箱设计可以有效解决上述问题，不同的色谱柱可以在不同柱箱中分别活化，避免了日常仪器维护工作中需要拆装色谱柱的问题。 HP-2氦气纯化器： GC-9280采用高纯氦气为载气，氦气的纯度直接影响到整个仪器对杂质的检测灵敏度。试验证明，高纯气体分析所用载气的纯度至少比气体样品的本底纯度高一个数量级。 HP-2型氦气纯化器是VICI公司生产的一款专载气纯化器，其纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散，防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸附。HP的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两个温度控制范围。可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn最大操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等残留浓度：≤10ppb 进样压力校正系统 传统的色谱仪采用在进样阀出口处控制流量的办法来控制定量管内的进样体积，试验证明这种方法有着很大的分析误差 以分析高纯氢气为例：标准气是配置在氦气中的六种杂质，而样品气是在氢气中的六种杂质；由于氦气和氢气的分子量不同，从而造成了在相同流量下的进样量是不的情况 GC-9280配备压力校正系统，克服因底气不同造成的进样量不的问题，确保数据的准确性。 无死体积取样阀 GC-9280配备了无死体积的专用取样阀，采用带吹扫保护的取样方式，有效的避免了空气残留的问题，将取样过程对分析的影响降至低的水平。 载气专用减压阀 普通减压阀由于大量死体积的存在，直接影响到经减压阀输出后的载气纯度，造成载气中的本底杂质浓度很高，从而影响到整个系统的检测限。 GC-9280氦离子化气相色谱仪配备具有两级稳压功能的全不锈钢载气减压阀，大大提高了压力稳定性，确保基线的稳定，同时也降低了阀体内的死体积，进一步提高检测灵敏度。