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中国科学院上海微系统与信息技术研究所

上海市 高校

中国科学院上海微系统与信息技术研究所拥有扫描电化学显微镜、感应耦合等离子刻蚀设备、片上测试系统、模塑封压机、多功能倒扣焊机、电子束纳米精确成膜制备系统、光波器件分析仪、新型SOI材料高低温可靠性测试设备的组成、磁控溅射设备、纳米生物材料和器件测试系统等科研仪器。

开发声震光电复合传感器网络的协同感知系统

型号:PXIe-8135等(定制)

品牌:美国NI

传感器/敏感元件

物联网射频测试自动化设备

型号:HS-IOT-ATE1001

品牌:NI

半导体ATE设备

高温扩散/氧化系统

型号:M5111-4WP/UM型

品牌:湖南红太阳光电科技有限公司

其它通用分析

反应等离体沉积仪

型号:RPD-PCS4/CK

品牌:EA

其它通用分析

均胶显影系统

型号:SVG 8800

品牌:TE

甲烷/非甲烷烃检测仪

LTE-TDD测试系统

型号:M9391A

品牌:德科

实验室配套设备

高速粒子电磁辐射无损检测仪

型号:CMW500

品牌:R&S

室内空气质量监测/检测仪

静电纺丝设备

型号:NFL60R

品牌:FNM

其它通用分析

8英寸化学气相石墨烯沉积生长系统

型号:EasyTube 3000EXT

品牌:ISI

在线气相色谱

抛光机

型号:50GPAW

品牌:SP

抛光机、磨抛机、磨样机

电化学电容-电压测试仪

型号:CVP21

品牌:EP

电化学工作站、恒电位仪

台阶仪

型号:P-17

品牌:KL

台阶仪

光谱型激光共聚焦显微镜

型号:Fluo View FV1000

品牌:MP

激光共聚焦显微镜

全内反射荧光显微镜

型号:IX81

品牌:MP

荧光显微镜

双面光刻机

型号:MA6

品牌:SUS

光刻机

高精度TMAH腐蚀系统

型号:CSE14-WX-GJTMAH

品牌:苏州华林科纳半导体设备技术有限公司

动态热机械分析仪(DMA/TMA/DMTA)

晶圆探针台

型号:UF3000EX-e

品牌:SE

电子探针X射线微区分析仪(EPMA)

键合机

型号:EVG850

品牌:MBH

甲烷/非甲烷烃检测仪

半导体器件参数分析仪

型号:B1500A

品牌:SI

电子/半导体

分子束外延系统

型号:P600-M450 SSMBE

品牌:DCA

分子束外延(MBE)

反应离子刻蚀机

型号:Plasmalab80Plus

品牌:RD

甲烷/非甲烷烃检测仪

磁学测量系统

型号:MPMS3

品牌:SI

磁学测量系统

频谱分析仪

型号:E4445A

品牌:TE

频谱分析仪

频谱分析仪

型号:N9020B

品牌:SI

其它测量/计量仪器

SNSPD低温物性测试系统

型号:Model DRC-100

品牌:ARC

甲烷/非甲烷烃检测仪

网络分析仪

型号:N5227A

品牌:TE

沼气(煤气/天然气)分析仪

高分辨透射电子显微镜

型号:JEOL2100F

品牌:JEOL

透射电子显微镜(透射电镜、TEM)

飞秒激光器

型号:TiF-100ST-F8

品牌:EST

激光产品

时间分辨光致发光谱测试仪

型号:IHR320

品牌:IBA

其它通用分析

真空紫外EPU光束线

型号:研制

品牌:中国科学院上海微系统所

紫外、紫外分光光度计、紫外可见分光光度计、UV

原子气相沉积系统

型号:/

品牌:/

物理气相沉积(PVD)

传感器振动与冲击校准系统

型号:B&K 3629

品牌:B&K

传感器/敏感元件

深硅ICP刻蚀机

型号:PlasmaPro100 Estrelas

品牌:TE

等离子体/化学刻蚀设备

划片机

型号:DAD 3220

品牌:SC

晶圆切割设备

电镜制样多功能一体机

型号:Leica EM TXP

品牌:ICA

自动进样器(多功能)

可调协激光器及配套系统

型号:8164B

品牌:SI

激光产品

任意波形发生器

型号:AWG5204

品牌:TE

信号发生器

高频矢量信号源

型号:E8267D

品牌:TE

实验室配套设备

同步模拟信号发生器

型号:APMS12G-4-ULN

品牌:API

信号发生器

低温恒温器

型号:Fusion 2

品牌:AN

低温恒温器

量子级联激光器

型号:41043-MHF

品牌:LI

激光产品

椭偏仪

型号:SE800DUV

品牌:TE

椭偏仪

信号源分析仪

型号:FSUP8

品牌:DE

实验室配套设备

光波器件分析仪

型号:AQ6370D

品牌:OKO

沼气(煤气/天然气)分析仪

全光谱参数测试仪

型号:86038B

品牌:TE

高光谱仪/高光谱成像仪

多功能倒扣焊机

型号:Fineplacer 96lambda

品牌:TE

自动进样器(多功能)

有机清洗系统

型号:TWPsa-6000

品牌:KA

洗瓶机/清洗机

有机清洗系统

型号:TWPsa-6000

品牌:CS

洗瓶机/清洗机

X射线衍射仪

型号:D8 Discover

品牌:MBH

X射线衍射仪(XRD)

磁控在蒸发复合镀膜系统

型号:PVD75 CLUSTER

品牌:SK

镀膜机

多腔体磁控溅射系统

型号:SME-200

品牌:AC

废气/废水处理机

光学薄膜镀膜系统

型号:SME-200J

品牌:AC

镀膜机

磁控溅射系统

型号:DE500

品牌:TE

CO2分析仪、CO分析仪

感应耦合等离子体刻蚀机(2020)

型号:PlasmaPro100 Cobra300

品牌:牛津

等离子体/化学刻蚀设备

超高真空磁控溅射系统

型号:CMS-18

品牌:SK

甲烷/非甲烷烃检测仪

复合型蒸发系统

型号:ei-5

品牌:AC

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器

减薄抛光设备

型号:MPS 2-R400 GGP

品牌:MBH

抛光机、磨抛机、磨样机

高速晶粒分类机

型号:GPM KS-900

品牌:ISI

甲烷/非甲烷烃检测仪

光学材料与器件分析仪

型号:N4373C

品牌:TE

沼气(煤气/天然气)分析仪

扫描探针显微镜

型号:MultiMode 8

品牌:MBH

扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM)

相关仪器品类

透射电子显微镜(透射电镜、TEM)
聚焦离子束显微镜
扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM)
扫描电镜(SEM)
电镜制样设备
X射线能谱仪(EDS)
光源/氙灯光源/汞灯光源
激光产品
太赫兹时域光谱仪
椭偏仪
高光谱仪/高光谱成像仪
数码显微镜
工具显微镜、测量显微镜
激光共聚焦显微镜
荧光显微镜
立体显微镜、体视显微镜
洗瓶机/清洗机
酸逆流清洗机
废气/废水处理机
离子溅射仪
抛光机、磨抛机、磨样机
等离子体表面处理仪
实验室配套设备
镀膜机
样品前处理工作站
马弗炉、电阻炉、实验炉
低温恒温器
化学气相沉积(CVD)
匀胶机
原子层沉积系统(ALD)
等离子体/化学刻蚀设备
分子束外延(MBE)
物理气相沉积(PVD)
半导体ATE设备
光刻机
氧化扩散设备
薄膜应力测试仪
离子注入机
电子/半导体
电子束刻蚀系统
探针台
快速退火炉
晶圆切割设备
闪点仪/燃点仪
沼气(煤气/天然气)分析仪
抑菌圈(抗生素效价)测量仪
组织细胞定量分析系统
智能化控制
生物芯片
甲烷/非甲烷烃检测仪
室内空气质量监测/检测仪
CO2分析仪、CO分析仪
悬浮物测定仪
其它通用分析
俄歇电子能谱(AES)
电子探针X射线微区分析仪(EPMA)
X射线衍射仪(XRD)
X射线应力分析仪
紫外、紫外分光光度计、紫外可见分光光度计、UV
激光诱导击穿光谱仪(LIBS)
圆二色光谱
红外光谱(IR、傅立叶)
ICP-MS电感耦合等离子体质谱
同位素质谱仪
电化学工作站、恒电位仪
色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器
液相色谱(LC)
自动进样器(多功能)
无线通讯测量仪
信号发生器
示波器
频谱分析仪
放大器
矢量分析仪
逻辑分析仪
集成电路测试仪
数模混合信号测试系统
信号开发和截获测量系统
其它测量/计量仪器
传感器/敏感元件
台阶仪
动态热机械分析仪(DMA/TMA/DMTA)
高低温冲击试验箱/冷热冲击试验箱
步入式试验箱、步入式实验室
磁学测量系统
白光干涉测厚仪
气体标准物质/标准品
纯元素、稀土、稀贵金属及合金
在线气相色谱
CT

所使用品牌

欧洲药典

10台仪器 20家供应商

日本电子

78台仪器 18家供应商

RD

0台仪器 14家供应商

SP

65台仪器 10家供应商

EMS

53台仪器 9家供应商

MP

23台仪器 9家供应商

MBH

0台仪器 6家供应商

API

46台仪器 5家供应商

基恩士

43台仪器 5家供应商

ISS

24台仪器 5家供应商

SUS

0台仪器 5家供应商

MS

58台仪器 4家供应商

爱斯特

53台仪器 4家供应商

EKO

45台仪器 4家供应商

EST

16台仪器 4家供应商

PHI

12台仪器 4家供应商

德科

2台仪器 4家供应商

EVG

67台仪器 3家供应商

EA

6台仪器 3家供应商

ARC

5台仪器 3家供应商

AS

2台仪器 3家供应商

艾柯

68台仪器 2家供应商

CK

31台仪器 2家供应商

NK

24台仪器 2家供应商

牛津

20台仪器 2家供应商

RA

19台仪器 2家供应商

AIT

10台仪器 2家供应商

LT

9台仪器 2家供应商

昂尼

9台仪器 2家供应商

善沧

8台仪器 2家供应商

泰思

7台仪器 2家供应商

IBA

5台仪器 2家供应商

LI

5台仪器 2家供应商

FIS

4台仪器 2家供应商

ISI

4台仪器 2家供应商

C TECH

3台仪器 2家供应商

SI

2台仪器 2家供应商

AMC

2台仪器 2家供应商

GL

2台仪器 2家供应商

OKO

0台仪器 2家供应商

ACT

0台仪器 2家供应商

美国NI

221台仪器 1家供应商

洛克泰克

96台仪器 1家供应商

北方

18台仪器 1家供应商

IO

11台仪器 1家供应商

DT

11台仪器 1家供应商

TE

11台仪器 1家供应商

百润

10台仪器 1家供应商

PTS

9台仪器 1家供应商

PP

8台仪器 1家供应商

WACO

7台仪器 1家供应商

MC

6台仪器 1家供应商

KA

6台仪器 1家供应商

ICA

6台仪器 1家供应商

BI

6台仪器 1家供应商

KES

5台仪器 1家供应商

DE

3台仪器 1家供应商

AME

3台仪器 1家供应商

PRI

2台仪器 1家供应商

NTS

2台仪器 1家供应商

顺安电子

1台仪器 1家供应商

AMA

1台仪器 1家供应商

OM

1台仪器 1家供应商

SE

1台仪器 1家供应商

Toho

1台仪器 1家供应商

科隆化学

0台仪器 1家供应商

铠柏

0台仪器 1家供应商

CS

0台仪器 1家供应商

ND

0台仪器 1家供应商

容宇

0台仪器 1家供应商

奥特泵业

0台仪器 1家供应商

真空

0台仪器 1家供应商

RT

0台仪器 1家供应商

SK

0台仪器 1家供应商

荷兰AC

0台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商

PK

0台仪器 1家供应商

GE

3台仪器 0家供应商

SG

0台仪器 0家供应商