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中国科学院上海微系统与信息技术研究所

上海市 高校

中国科学院上海微系统与信息技术研究所拥有扫描电化学显微镜、感应耦合等离子刻蚀设备、片上测试系统、模塑封压机、多功能倒扣焊机、电子束纳米精确成膜制备系统、光波器件分析仪、新型SOI材料高低温可靠性测试设备的组成、磁控溅射设备、纳米生物材料和器件测试系统等科研仪器。

显微激光多普勒测试系统

型号:MSA-500-PM/OFV-5000

品牌:TE

其它通用分析

激光直写光刻机

型号:DWL66+

品牌:TE

光刻机

等离子体增强化学气相沉积仪

型号:CME-400

品牌:AC

等离子体/化学刻蚀设备

声光与振动分析仪

型号:B&K 3629

品牌:B&K

沼气(煤气/天然气)分析仪

微波退火设备

型号:AXOM

品牌:SG

废气/废水处理机

半自动探针台

型号:Summit12000B-S

品牌:AS

探针台

LB膜分析仪

型号:KSV5000

品牌:NTS

沼气(煤气/天然气)分析仪

原子层沉积系统

型号:TFS200 ALD

品牌:BENEQ

原子层沉积系统(ALD)

微波等离子灰化系统

型号:E300

品牌:TE

马弗炉、电阻炉、实验炉

宽带网络分析仪

型号:JHI08-WX043

品牌:TS

矢量分析仪

无液氦综合物性测量系统

型号:PPMS DynaCool-9

品牌:SI

CO2分析仪、CO分析仪

SFQ电学测试系统

型号:PT415-SFQ

品牌:赛澔(香港)仪器有限公司

其它通用分析

磁控溅射仪

型号:MSP-3210

品牌:北京金盛微纳科技有限公司

离子溅射仪

物联网安全测试系统

型号:941-0034

品牌:IXIA

其它通用分析

高速示波器

型号:MSOV204A

品牌:SI

示波器

键合机

型号:EVG301, EVG810

品牌:MBH

甲烷/非甲烷烃检测仪

分子束外延设备

型号:V-80H148-8

品牌:/

分子束外延(MBE)

紧凑型溅射系统

型号:ACS-4000-C4

品牌:AC

其它通用分析

近场扫描显微镜

型号:研制

品牌:CS

数码显微镜

分子气体沉积系统

型号:SYS2-0077

品牌:PP

气体标准物质/标准品

扫描电化学显微镜

型号:EIProScan

品牌:KA

数码显微镜

远距离3D摄像系统

型号:BinoQ-P3

品牌:弼智

其它通用分析

大量程硅薄膜厚度测量系统

型号:F50-XT

品牌:TE

白光干涉测厚仪

活细胞多参数实时检测系统

型号:研制

品牌:中国科学院上海微系统所

组织细胞定量分析系统

纳米探针操纵系统

型号:OmniProbe 200

品牌:TE

甲烷/非甲烷烃检测仪

大面积高均匀性高稳定模拟太阳光源

型号:WPSS-2.0x1.5H-50x6, AM1.5G

品牌:WACO

光源/氙灯光源/汞灯光源

印胶仪

型号:HORIZON APi

品牌:DE

甲烷/非甲烷烃检测仪

太阳电池组件户外测试系统

型号:MP-165 Series

品牌:EKO

甲烷/非甲烷烃检测仪

MVD分子气体沉积系统

型号:MVD100-130

品牌:MS

气体标准物质/标准品

激光软焊料植球物设备

型号:SB2-Jet

品牌:C TECH

其它通用分析

多路基带信号源

型号:N5106A

品牌:TE

信号发生器

自动划片机

型号:DAD 341

品牌:SC

晶圆切割设备

精密激光修调仪

型号:TF-5900G

品牌:/

废气/废水处理机

手动探针台

型号:Summit 11000B-M

品牌:AS

探针台

高精度微区光电流扫描测试系统

型号:MSTARTER200

品牌:南京迈塔光电科技有限公司

放大器

超高真空分子束外延生长系统

型号:UHV-MBE

品牌:费密仪器有限公司

分子束外延(MBE)

氧化物分子束外延生长系统

型号:R450 MBE SYSTEM

品牌:DCA

分子束外延(MBE)

CVD外延炉

型号:Epsilon 2000

品牌:AS

化学气相沉积(CVD)

极微弱信号电化学测试分析系统

型号:Gamry Reference 600 Keithley 4200

品牌:SI

电化学工作站、恒电位仪

低温探针台

型号:CPX

品牌:KES

探针台

超远距离3D摄像系统

型号:BinQ-P2

品牌:弼智

其它通用分析

高密度等离子体柔性连续镀膜系统

型号:研制

品牌:中国科学院上海微系统所

等离子体/化学刻蚀设备

分子束外延生长系统

型号:V90

品牌:/

分子束外延(MBE)

等离子体活化系统

型号:EVG810LT

品牌:MBH

等离子体/化学刻蚀设备

高性能PECVD设备

型号:PE-260

品牌:嘉兴科民电子设备技术有限公司

化学气相沉积(CVD)

角分辨光电子能谱设备

型号:研制

品牌:中国科学院上海微系统所

俄歇电子能谱(AES)

关键尺寸扫描电镜

型号:XFS8820

品牌:上海芯斐贸易有限公司

扫描电镜(SEM)

SFQ低频多通道自动测试系统

型号:OCTOPUX-4FH/128H

品牌:CS

CT

SFQ低频多通道自动测试系统

型号:OCTOPUX-4FH/128H

品牌:CS

CT

示波器

型号:86100D

品牌:SI

示波器

三维原子探针系统

型号:LEAP5000XR

品牌:AME

同位素质谱仪

化学机械抛光机

型号:6DSSP

品牌:RA

抛光机、磨抛机、磨样机

晶圆倒角机

型号:WBM2100A

品牌:大途

其它通用分析

射频模拟电路及系统测试设备

型号:N9030APXA,N5182B

品牌:TE

其它通用分析

AFM显微镜

型号:NTEGRA NANO IR

品牌:DT

数码显微镜

全真空异质晶圆一体化贴合系统

型号:WAP-100T

品牌:TE

其它通用分析

键合机

型号:747677E

品牌:ND

甲烷/非甲烷烃检测仪

负载牵引自动测试系统

型号:MT984AU

品牌:RY

其它通用分析

微探针台

型号:S-1160 Series

品牌:SI

电子探针X射线微区分析仪(EPMA)

高精度复合刻蚀系统

型号:LMEC-200

品牌:江苏鲁汶仪器有限公司

其它通用分析

相关仪器品类

透射电子显微镜(透射电镜、TEM)
聚焦离子束显微镜
扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM)
扫描电镜(SEM)
电镜制样设备
X射线能谱仪(EDS)
光源/氙灯光源/汞灯光源
激光产品
太赫兹时域光谱仪
椭偏仪
高光谱仪/高光谱成像仪
数码显微镜
工具显微镜、测量显微镜
激光共聚焦显微镜
荧光显微镜
立体显微镜、体视显微镜
洗瓶机/清洗机
酸逆流清洗机
废气/废水处理机
离子溅射仪
抛光机、磨抛机、磨样机
等离子体表面处理仪
实验室配套设备
镀膜机
样品前处理工作站
马弗炉、电阻炉、实验炉
低温恒温器
化学气相沉积(CVD)
匀胶机
原子层沉积系统(ALD)
等离子体/化学刻蚀设备
分子束外延(MBE)
物理气相沉积(PVD)
半导体ATE设备
光刻机
氧化扩散设备
薄膜应力测试仪
离子注入机
电子/半导体
电子束刻蚀系统
探针台
快速退火炉
晶圆切割设备
闪点仪/燃点仪
沼气(煤气/天然气)分析仪
抑菌圈(抗生素效价)测量仪
组织细胞定量分析系统
智能化控制
生物芯片
甲烷/非甲烷烃检测仪
室内空气质量监测/检测仪
CO2分析仪、CO分析仪
悬浮物测定仪
其它通用分析
俄歇电子能谱(AES)
电子探针X射线微区分析仪(EPMA)
X射线衍射仪(XRD)
X射线应力分析仪
紫外、紫外分光光度计、紫外可见分光光度计、UV
激光诱导击穿光谱仪(LIBS)
圆二色光谱
红外光谱(IR、傅立叶)
ICP-MS电感耦合等离子体质谱
同位素质谱仪
电化学工作站、恒电位仪
色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器
液相色谱(LC)
自动进样器(多功能)
无线通讯测量仪
信号发生器
示波器
频谱分析仪
放大器
矢量分析仪
逻辑分析仪
集成电路测试仪
数模混合信号测试系统
信号开发和截获测量系统
其它测量/计量仪器
传感器/敏感元件
台阶仪
动态热机械分析仪(DMA/TMA/DMTA)
高低温冲击试验箱/冷热冲击试验箱
步入式试验箱、步入式实验室
磁学测量系统
白光干涉测厚仪
气体标准物质/标准品
纯元素、稀土、稀贵金属及合金
在线气相色谱
CT

所使用品牌

欧洲药典

10台仪器 20家供应商

日本电子

78台仪器 18家供应商

RD

0台仪器 14家供应商

SP

65台仪器 10家供应商

EMS

53台仪器 9家供应商

MP

23台仪器 9家供应商

MBH

0台仪器 6家供应商

API

46台仪器 5家供应商

基恩士

43台仪器 5家供应商

ISS

24台仪器 5家供应商

SUS

0台仪器 5家供应商

MS

58台仪器 4家供应商

爱斯特

53台仪器 4家供应商

EKO

45台仪器 4家供应商

EST

16台仪器 4家供应商

PHI

12台仪器 4家供应商

德科

2台仪器 4家供应商

EVG

67台仪器 3家供应商

EA

6台仪器 3家供应商

ARC

5台仪器 3家供应商

AS

2台仪器 3家供应商

艾柯

68台仪器 2家供应商

CK

31台仪器 2家供应商

NK

24台仪器 2家供应商

牛津

20台仪器 2家供应商

RA

19台仪器 2家供应商

AIT

10台仪器 2家供应商

LT

9台仪器 2家供应商

昂尼

9台仪器 2家供应商

善沧

8台仪器 2家供应商

泰思

7台仪器 2家供应商

IBA

5台仪器 2家供应商

LI

5台仪器 2家供应商

FIS

4台仪器 2家供应商

ISI

4台仪器 2家供应商

C TECH

3台仪器 2家供应商

SI

2台仪器 2家供应商

AMC

2台仪器 2家供应商

GL

2台仪器 2家供应商

OKO

0台仪器 2家供应商

ACT

0台仪器 2家供应商

美国NI

221台仪器 1家供应商

洛克泰克

96台仪器 1家供应商

北方

18台仪器 1家供应商

IO

11台仪器 1家供应商

DT

11台仪器 1家供应商

TE

11台仪器 1家供应商

百润

10台仪器 1家供应商

PTS

9台仪器 1家供应商

PP

8台仪器 1家供应商

WACO

7台仪器 1家供应商

MC

6台仪器 1家供应商

KA

6台仪器 1家供应商

ICA

6台仪器 1家供应商

BI

6台仪器 1家供应商

KES

5台仪器 1家供应商

DE

3台仪器 1家供应商

AME

3台仪器 1家供应商

PRI

2台仪器 1家供应商

NTS

2台仪器 1家供应商

顺安电子

1台仪器 1家供应商

AMA

1台仪器 1家供应商

OM

1台仪器 1家供应商

SE

1台仪器 1家供应商

Toho

1台仪器 1家供应商

科隆化学

0台仪器 1家供应商

铠柏

0台仪器 1家供应商

CS

0台仪器 1家供应商

ND

0台仪器 1家供应商

容宇

0台仪器 1家供应商

奥特泵业

0台仪器 1家供应商

真空

0台仪器 1家供应商

RT

0台仪器 1家供应商

SK

0台仪器 1家供应商

荷兰AC

0台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商

PK

0台仪器 1家供应商

GE

3台仪器 0家供应商

SG

0台仪器 0家供应商