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中国科学院上海微系统与信息技术研究所拥有扫描电化学显微镜、感应耦合等离子刻蚀设备、片上测试系统、模塑封压机、多功能倒扣焊机、电子束纳米精确成膜制备系统、光波器件分析仪、新型SOI材料高低温可靠性测试设备的组成、磁控溅射设备、纳米生物材料和器件测试系统等科研仪器。
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