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#化学气相沉积设备
关于化学气相沉积设备一些选型心得
仪器操作便捷，密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装
作者提到的仪器
1200℃双温区CVD系统
发布时间：2016-06-04 10:01
化学气相沉积（CVD）6月热度榜
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德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备
Corial 等离子体增强化学气相沉积设备 D250L
德国IPLAS MPCVD CYRANNUS® 微波等离子化学气相沉积
微波等离子化学气相沉积系统,VKTR,WBDQC-4
等离子体增强CVD系统
深圳市矢量科学仪器有限公司
热丝CVD设备HWCVD MVS
瞬渺科技（香港）有限公司
AXIC低温低损伤等离子体增强化学气相沉积(ICP PECVD)
南通宏腾微电子技术有限公司
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
