宽束氩离子抛光系统Gatan 697 Ilion II
精密刻蚀镀膜系统Gatan PECS II 685
第二代实时彩色阴极发光成像系统Gatan ChromaCL2
原位加热台Gatan Murano 525
高分辨成像与光谱分析阴极发光成像系统Gatan Mono CL4
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日立离子研磨装置IM4000 II