GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪
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沈阳科晶

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GSL-1100X-SPC-12

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中国大陆

  • 银牌
  • 第15年
  • 生产商
  • 营业执照已审核
核心参数

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,最大放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300?,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。

主要特点

1、可以调节电流大小,可设置溅射时间。

2、已经过CE认证。

技术参数

1、输入电源:208V-240V  50Hz/60Hz

2、样品台:Φ60mm,高度可调节

3、石英腔体:Φ100mm×130mm

4、进气口:内部装有阀门,可以向腔体内通入各种气体

5、靶材:纯度为4N的金靶,Φ57mm×0.12mm

                      


产品规格

尺寸:480mm×320mm×150mm

重量:20kg

可选配件

1Au(Φ57mm×0.12mm4N

2Pt(Φ57mm×0.12mm4N

3Ag(Φ57mm×0.5mm,4N



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沈阳科晶镀膜机GSL-1100X-SPC-12的工作原理介绍

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