看了少子寿命测试仪的用户又看了
产品性能
• 灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷检测,
• 具有可视化测试的最高分辨率
• 测试速度: < 5 minutes,6英寸硅片, 1mm分辨率
• 寿命测试范围: 20ns到几ms
• 玷污测试: 产生于坩埚和生产设备中的金属沾污(Fe)
• 测试能力: 从切割的晶元片到所有工艺中的样品
• 灵活性: 允许外部激发光与测试模块进行耦合
• 可靠性: 模块化紧凑型台式检测设备,使用时间 > 99%
• 重复性: > 99.5%
• 电阻率: 无需时常校准的电阻率面扫描
常规寿命测试
• 无接触且非破坏的少子寿命成像测试: (μPCD/MDP(QSS),光电导率,电阻率和p/n型检测 符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110
• 最多可集成4个不同波长光源,具有大范围可调的光注入水平,可对单点进行少子寿命的瞬态测试,
• 可对单点进行少子寿命的瞬态测试,也可对晶圆片进行面扫
应用案例
• 铁浓度测定
• 陷阱浓度测试
• 硼氧浓度测试
• 受注入浓影响的测试
MDPStudio
用户友好的高级操作软件:
•
• 导入和导出功能
• 多级用户账户管理
• 所有已执行操作总览界面
• 样品参数输入
• 单点测试,例如受注入
影响的测试• 原始数据获取
• 面扫描选项
• 菜单选项
• 分析功能包
• 线扫描和单点瞬可视化测试
远程操控:基于IP系统,允许在任何地方进行远程操控和技术支持
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 6小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 否
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
维修付款方式: 先维修后付款
Freiberg Instruments少子寿命测试仪MDPmap的工作原理介绍
少子寿命测试仪MDPmap的使用方法?
Freiberg InstrumentsMDPmap多少钱一台?
少子寿命测试仪MDPmap可以检测什么?
少子寿命测试仪MDPmap使用的注意事项?
Freiberg InstrumentsMDPmap的说明书有吗?
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