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技术特点：
· 超高定位精度
· 高动态
· 轴间运动学解耦设计
· 多运动模式：定位/扫描
· 兼容超高真空
· 运动行程：50~200um
应用领域：
· 光学对准
· 纳米压印
· 显微成像/操纵
· 表面检测
· 半导体加工
规格参数：
型号 | NP-ST-XY-100 |
位移方向 | X，Y |
传感器类型 | 光栅/激光干涉仪 |
行程（um） | 100X100 |
闭环分辨率（nm） | 0.35 |
空载谐振频率（Hz） | 900 |
最大负载（kg） | 1 |
材料 | 铝合金 |
尺寸（mm） | 130X130X20 |
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 48小时内
是否提供维保合同: 否
维修响应时间: 15天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 90天
核心零部支持时间: 1年
是否支持上门巡检: 否
是否提供预防性维护计划: 否
维修付款方式: 先付款后维修
基本维修资料公开: 维修图纸；技术参数；维修手册
无理由退换货: 不支持
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