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高精度纳米转台基于压电惯性驱动原理，提供无限行程的同时保证纳米级分辨率，借助独特的硬件及控制算法，可以在高频电压驱动下实现高速运动。纳米转台拥有极高的可拓展性和可集成性。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
高精度、高稳定性、高运动速度
轴心误差和晃动补偿与抑制
支持开环/闭环运动模式
超高真空兼容性
轻量化设计，结构紧凑
模块化设计，摩擦单元可替换
应用领域：
样品检验
精密微组装
光路切换
显微CT
机器视觉
半导体检测
机械参数：
| 型号 | RP-50C | RP-100C |
转动行程 | 360°（θZ） | 360°（θZ） |
几何尺寸 | 60*60*14.5mm | 100*17mm |
竖直最大负载 | 2kg | 4kg |
重量 | 180g | 400g |
精度参数：
转动重复精度 | 200µrad |
最小转动分辨率 | 20µrad |
工作环境：
支持真空环境 | 1x10-6 Pa |
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 48小时内
是否提供维保合同: 否
维修响应时间: 15天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 90天
核心零部支持时间: 1年
是否支持上门巡检: 否
是否提供预防性维护计划: 否
维修付款方式: 先付款后维修
基本维修资料公开: 维修图纸；技术参数；维修手册
无理由退换货: 不支持
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