压电·三轴并联位移台 Free3D.ZTxTy.150
3自由度并联设计,空间中ZTT移动
• 由纳米级驱动单元实现的三自由度并联结构,有效降低累积误差;
• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高;
• 平动行程:Z ±5 mm;
• 角摆行程:ΘX, ΘY ±3 °, ±3 °;
• 最小步伐:25 nm/7.5 μrad;
• 可提供真空环境规格;
详细参数:
尺寸图:
产品货期: 365天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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