产地类别： 国产
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本离子溅射仪主要的特点就是“无油，高真空”，制备薄膜纯度更高，薄膜质量更优；并且能够在超净间内使用。
另外附加旋转/偏转样品台选配件，具有公转+自转+偏转行星式样品台，针对3D结构及多孔隙结构样品多角度均匀喷镀导电层。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 5人次以内培训
免费仪器保养: 6个月一次
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 24小时到达现场并维修
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