产地类别: 国产
靶材材质: Au, Ag, Cu, Pt, Pd, Ir, Cr, Mo,C, etc.
靶材尺寸: φ50*0.1-3mm
控制方式: 自动控制
样品仓尺寸: φ150*110mm
样品台尺寸: >φ100mm
溅射气体: Ar or Air
看了离子溅射仪的用户又看了
本离子溅射仪主要的特点就是“无油,高真空”,制备薄膜纯度更高,薄膜质量更优;并且能够在超净间内使用。
另外附加旋转/偏转选配模块,实现3D结构样品及空隙结构样品均匀镀膜喷金导电。
用户单位 | 采购时间 |
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北京工业大学 | 2019-01-17 |
南开大学 | 2019-06-19 |
成都职业技术学院 | 2019-08-09 |
中国石油大学(华东) | 2019-09-09 |
上海科技大学 | 2019-11-05 |
中国工程物理研究院 | 2020-07-27 |
安徽工业大学 | 2020-11-11 |
中科院兰州化学物理所青岛研发中心 | 2020-12-08 |
南开大学 | 2020-12-15 |
海思光电子有限公司 | 2020-12-21 |
西安交通大学 | 2020-12-21 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 5人次以内培训
免费仪器保养: 6个月一次
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 24小时到达现场并维修
【SuPro】离子溅射仪/喷金仪 ISC150
型号:ISC150 8万速普仪器SEM/TEM电镜样品等离子清洗系统
型号:SPC 50万【速普仪器】电镜腔体原位等离子清洗仪RPS50
型号:RPS50 18万速普仪器【SuPro】高真空磁控溅射仪ISC150T
型号:ISC150T 18万若TEM样品杆长期暴露于大气,空气中水汽及残留污染物会附着于样品杆表面。当样品杆重新安装样品并插入TEM中时,会发生: 1.样品杆表面(包括杆内外表面)残存水汽缓慢地释放,大大延长了TEM抽真空时间(由于原位TEM样品杆内部结构复杂,内表面积大大增加,其进入TEM后抽真空延时现象尤甚); 2.残留污染物会污染待观察样品,甚至会污染TEM真空腔室及内部极靴、探测器等等。 从实用角度考虑,平时不用时,将样品及样品杆存放于真空存储站内;需要使用时,将样品杆从真空存储站内取出,固定好样品后即时插入TEM中。如此就能够保证样品杆与大气中水汽及污染物最大程度的隔绝,有效保证:1.TEM样品抽真空时间大大缩短;2.减少对TEM真空腔室及部件的污染。
ISC150离子溅射仪升级版本,采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境,保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率FE-SEM样品的喷金喷铂,光电薄膜制备,电极材料制备及其他金属镀膜用途。 150T版本离子溅射仪主要的特点就是“无油,高真空”,制备薄膜纯度更高,薄膜质量更优;并且能够在超净间内使用。
目前市面上主流喷金仪产品,采用高电压二极直流溅射方式沉积薄膜,这种设计优点是结构简单,但是缺点是容易造成能量集中,对于样品有明显的温升效应的。 我司ISC150喷金仪采用磁控溅射手段,通过磁控阴极+专用直流电源方式对样品喷金处理,有较低的离子轰击损伤和温升效应;另外,我们的特点还有操作简单,触控面板界面,一键式操作。
速普仪器离子溅射仪ISC150 T的工作原理介绍
离子溅射仪ISC150 T的使用方法?
速普仪器ISC150 T多少钱一台?
离子溅射仪ISC150 T可以检测什么?
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速普仪器的离子溅射仪在表面改性技术中具有先进性和实用性。