成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制
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¥100万

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超迈光电

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CM-014

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中国大陆

  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

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●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。



售后服务承诺

产品货期: 100天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训;额外提供免费培训

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