光焱科技CIS / ALS / 光传感器晶圆测试仪 SG-O

CIS / ALS / 光传感器晶圆测试仪SG-O产品介绍：

提供您在 CIS / ALS / 光传感器晶圆级测试中所需的一切

SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪，它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从 400nm 到 1700nm 的连续白光光谱，以及在许多不同波长下具有一定 FWHM 的单色光输出。

探测器可以处理最大。200mm 晶圆尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片。SG-O 集成了超低噪音热卡盘，可提供 -60°C 至 180°C 的温度范围，具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。

特色:

高度均匀的光源

1. 从 UV 到 SWIR 的宽光谱范围

系统设计

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 测试仪（晶圆级）系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由 PC-1 的自动平移台控制，以切换位置和功能。

Prober 系统为 MPI TS2000，由 PC-2 控制。卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ，涵盖了大部分 IC 测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个 InGaAs 光电探测器通过皮安电流表检测和校准。

高度均匀的光源

• 光谱范围：400nm 至 1700nm
  

• 色温：3000K 至 5200K
  

• 均匀照明面积：42mm x 25mm，工作距离 >200mm
  

• 照度均匀度：优于98%
  

• 短期光不稳定性：≤ 1% 超过 1 小时
  

• 长期光不稳定性：≤ 1% 超过 10 小时
  

• DUT与最后一个光学组件之间的工作距离：≥200mm工作距离

  
  

  
  

单色光生成：

 1. 10nm FWHM 中心波长：420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 

     620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

 2. 25nm FWHM 中心波长：1010nm, 1250nm, 1450nm

 3. 45±5nm FWHM 中心波长： 815nm

 4. 50nm FWHM 的中心波长：1600nm

 5. 60±5nm FWHM 中心波长：650nm

 6. 70±5nm FWHM 的中心波长：485nm, 555nm

 7. 100±5nm FWHM 的中心波长：1600nm

• 带外透光率 ≤ 0.01%

• 带通区峰值传输 ≥ 80%

• 中心波长容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm

• FWHM 容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm

• 可变衰减器：PC 控制的 3-decade 分辨率，至少 1000步
  
  

半自动晶圆探针：

晶圆尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片

晶圆处理：单晶圆，手动进料型

半自动化：一步手动对准教和自动模步进

XYZ 平台

• 卡盘 XY 载物台行程：210mm x 300mm
  

• 卡盘 XY 平台分辨率：优于 0.5um
  

• 夹头 XY 平台精度：优于 2.0um
  

• 卡盘 XY 平台速度：最慢：10 微米/秒，最快：50 毫米/秒
  

• Chuck Z 载物台行程：50mm
  

• Chuck Z 平台分辨率：0.2um
  

• 卡盘 Z 平台精度：±2.0um
  

  
  

Theta 平台

• Theta 载物台行程：± 5 度运动范围
  

• Theta 分辨率：优于 0.01 度
  

• Theta 精度：0.1 度
  

卡盘

• 卡盘平整度 ≤ 10um
  

• 卡盘热操作：-60°C 至 200°C
  

• 25°C 时的卡盘泄漏： 25°C 时在 10V 偏压下每个电压 ≤ 20fA
  

• 卡盘剩余电容 ≤ 95fF
  

探针卡

• 探针卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸长
  

• 探针卡座与压板之间的间隙：≥ 7.5mm
  

微型腔室

• EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1MHz 范围内 ≥ 30dB
  

• 系统交流噪声：≤ 5mVp -p
  

光谱辐照度计

• 光谱范围：400nm 至 1600nm
  

• 波长分辨率：400nm 到 1000nm 增加步长 < 1nm；1000nm 到 1600nm 增加步长 < 3.5nm

  
  

主要表现

SG-O 系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件，SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview 功能调色板、驱动程序 / DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送 / 接收命令，例如芯片步进、芯片对齐 / 探测等。

来自 SG-O 显微镜系统的  CIS / ALS / 光传感器芯片图像


SG-O 的高度均匀光源具有一个超稳定的光引擎，在整个波长范围内，短期或长期的光强不稳定性均优于 0.2%。