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本装置为高真空蒸镀设备,因此可对应搭载JA Wollam公司制造的橢偏仪而开发设计的蒸镀机。真空蒸镀过程中,配设橢偏仪以取得相关物性物理资讯。(以下的规格是记载除氧偏仪以外的高真空蒸镀机规格)
本蒸发镀膜装置搭载的是JA Wollam公司的椭偏仪,真空腔大小:280x410x290mm,蒸发源:2个,最大基板尺寸:80x80mm
Reference:
D.Yokoyama and C.Adachi: J.Appl.Phys. 107,123512(2010)
D.Yokoyama, K.Nakayama, T.Otani, and J.Kido: Adv.Mater. 24,6368(2012)
产品货期: 90天
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