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该测试方案可适用于多数半导体器件的测试，以五种器件为例：场效应晶体管式传感器、电阻型二极管式传感器、电阻式存储器、生物器件脉冲式和电容测试。其他要求为系统漏电小于10-13（100fA）。测试需求整体可以归纳为微纳传感器件的IV、脉冲IV 和CV测试，漏电需求为100fA。整体系统组成为微纳器件测试探针台和半导体参数分析仪。
可测器件
器件1：场效应晶体管式传感器
器件2：电阻型二极管式传感器
器件3：电阻式存储器
器件4：脉冲式（输入脉冲电压，测量电流值）
器件5：电容测试
欢迎与我司联系了解详情，可按需定制系统。
产品货期: 90天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后30天内
电话支持响应时间: 4小时内
