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一、设备简介
NE-PE60F是一款大型工业用真空等离子处理系统，设备配备大功率、大腔体、密度大、高稳定性，适用于大规模连续生产。设备采用进口品牌高性能真空泵快速产生超低的真空压强。同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE60F 系统功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体，卓越密封性
•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例
可调，采用高精度电子质量流量计(MFC)、针阀、美国世维洛克气体管路
设备参数
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-500W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配 | ||
频率 | 13.56 MHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 镜面不锈钢，军工级密封 |
腔体容积 | 370(W)*450(D)*400(H)mm; 60L | ||
单层有效处理面积 | W370mm x D370mm | ||
电极板数量 | 6层（可定制） | ||
真空测定系统 | （睿宝电阻真空硅管） 皮拉尼高精密电阻式真空计 | ||
绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
3 | 放电电极 | 电极 | 高导电铝合金专用电极 |
电极间距 | 可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，极大提升处理能力和效率 | ||
4 | 气路控制 | 气体流量控制器 | MFC 气体质量流量计精确控制流量 0-500ml/min |
气路设计 | 腔体均匀进气气路设计，保证清洗均匀性 | ||
气路数量 | 配置2路工艺气路，可支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等 | ||
5 | 真空测量 | 真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 测量范围：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa |
6 | 抽气系统 | 真空泵 | 油泵/无油干泵（选配） |
工作真空度 | 30PA以内 | ||
抽真空时间 | 60s以内 | ||
破真空时间 | ≤15s | ||
真空管路 | 不锈钢管路+气动阀门 | ||
7 | 控制系统 | PLC | 三菱PLC模块 |
触摸屏 | 7寸 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
8 | 场务条件 | 电源供应 | AC380V,50/60Hz，三相五线100A |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
压缩空气要求 | 0.6~0.8MPa | ||
输入气压检测系统 | 2路自动报警气压表 | ||
排气口 | KF25 | ||
9 | 整机参数 | 整机功率 | 4.5KW |
外形尺寸 | 900mm(L)×960mm(W) ×1750 mm(H) | ||
重量 | 400kg |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 乙方负责对甲方人员进行技术、操作和设备的维护保养培训，但甲方必须指定专人学习与操
免费仪器保养: 终生不收维修费，只收取基本材料费及运费
保内维修承诺: 终生不收维修费，只收取基本材料费及运费
报修承诺: 接受服务请求后1小时内做出反应，2小时内提出处理意见和解决方案。
