NE-PE10
2、 设备简介
NE-PE10是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
设备原理示意图：如上
NE-PE10 系统功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，双层处理空间
•8K镜面不锈钢腔体，卓越密封性
•数字高频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果
•PLC+触摸屏控制，过程参数实时监控
•方便定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器，最佳气体控制
•性能卓越的双极旋片泵，高抽速，寿命长，耐腐蚀
4、 设备技术参数
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配 | ||
频率 | 40 KHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，军工级密封 |
腔体容积 | 10L | ||
腔体尺寸 | 200(L)*200(W)*270(D)mm | ||
电极数量 | 2个镀金铝合金专用电极+ 2个铝合金托盘 | ||
托盘尺寸 | W*D :180（W）×220（D）mm | ||
处理层数 | 2层 | ||
绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
气路数量 | 最小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等 | ||
4 | 真空测量 | 真空计 | SMC 真空计 |
5 | 抽气系统 | 真空泵 | 飞越 16M3/H |
极限真空度 | 0.1PA | ||
真空管路 | 不锈钢管路+气动阀门 | ||
6 | 控制系统 | 触摸屏 | 4.3寸 |
PLC | 松下PLC模块 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
7 | 场务条件 | 电源供应 | 220V |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
气体压力 | 0.3-0.6Mpa | ||
排气口 | KF25 | ||
8 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 460（L）*460（W）*650（H）mm (不含三色灯高度) | ||
重量 | 60kg |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 乙方负责对甲方人员进行技术、操作和设备的维护保养培训，但甲方必须指定专人学习与操
免费仪器保养: 终生不收维修费，只收取基本材料费及运费
保内维修承诺: 终生不收维修费，只收取基本材料费及运费
报修承诺: 接受服务请求后1小时内做出反应，2小时内提出处理意见和解决方案。
