纳动纳米-PFC压电物镜聚焦台（重载型）

产品描述

PFC-030U是重载设计的压电陶瓷物镜聚焦平台，是专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域，它设计为30μm的行程。PFC-030U的应用范围包括：Z向移动，3D成像，自动对焦或与我们提供的XY纳米位移台设备一起使用。PFC-050U/100U本体由铝，钢和黄铜制成，闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。。

黄铜安装环可以轻松更换，以使每个物镜都适合PFC纳米定位器。可用的标准产品包括RMS，M25，M26，M27、M32、M38等，也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。

零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性。它们的刚性可实现高负载能力，可带动较大物镜的高动态定位和扫描。

可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。

产品特性

—位移：30μm（闭环）

—螺纹尺寸：W0.8x1/36“至M32x0.75

—适用于质量达1Kg专用物镜

—超紧凑型设计

高谐振频率

选配功能

—可定制转接装置及固定方式

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可选择定制其它螺纹规格

应用领域

—倒置/正立显微镜

—表面扫描和分析、AFM显微镜

—生物技术（例如细胞扫描）

—光束聚焦用于印刷过程

—半导体测试设备

               结构原理                                      响应时间                                  典型应用

PFC-030U系列技术参数