纳动纳米-XY轴压电扫描台PK2H70-012U

产品描述

PK2H70-012U为微扫描红外成像超分辨重建专用型产品。微扫描技术包括不同的模式，拍摄同一场景的多张图像，同时每次将图像在检测器平面上移位等于检测器间距的一小部分的距离，然后将场景的采样帧用于形成单个高分辨率帧。压电位移台PK2L70-012U-S使焦平面阵列中的聚焦透镜沿X轴和Y轴移动本系列产品具有超紧凑、超高动态、超高精度等特性，是超高分辨客户应用的理想选则。

利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK1L130-050U/100U位移台可提供很好的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。

本产品具有亚纳米性能。PK2H70-012U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.02％的精度和重复性。

PK2H70-012U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供钛金属材料，具有更高的温度稳定性和定制真空制备版本。

产品特性

—XY位移：12μm（闭环）

—中孔尺寸：?28mm

—承载能力：1Kg

—紧凑型设计

—直接驱动具有更高的动态特性

选配功能

—可定制转接装置及中心孔径大小

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可定制其他行程版本

应用领域

—红外微扫描成像

—超分辨率显微镜

—掩模、晶圆定位

—干涉测量、测量技术

—显微操纵

                结构原理                                    叠堆形式                                      典型应用

PK2H70-012U系列技术参数