纳动纳米-Z轴压电陶瓷扫描台PKVL60-080U~240U

产品描述

PKVL60-080U/160U/240U为定制型产品，专为有空间限制应用而设计的，超紧凑尺寸、超低外形结构，便于安装集成在设备中。多种规格产品行程便于用户在不同应用场合进行选择对应产品。

压电扫描台移动面可放置物镜进行Z轴物镜聚焦操作，可提高图像分辨率。移动面可以预定制多种安装接口尺寸，方便各种转接工装的集成。

显微镜中的探头对准通常需要一个开放的中心空间（例如，用于通过光），针对此类应用开发了该系列扫描台，该平台具有25 mm的中心孔。该压电系统非常适合于动态应用，可以使用集成的位置传感测量系统来克服光刻的影响。

压电扫描台可轻松与其他机械定位系统结合使用，非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。

PKVL60-080U/160U/240U压电陶瓷扫描台可选择位置反馈闭环控制的版本，闭环版本品无迟滞和蠕变特性具有更高的位置线性精度和重复定位精度。

产品特性

—Z位移：80μm/160μm/240μm（闭环）

—中孔尺寸：?25mm

—承载能力：800g

—平行运动机械结构设计

—高精度柔性导向系统

选配功能

—可定制转接装置及中心孔径大小，可定制内螺纹孔径接口

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可选择XZ/XY/XYZ轴版本（仅80μm）

应用领域

—扫描显微镜

—超分辨率显微镜

—掩模、晶圆定位

—干涉测量、测量技术

—显微操纵

                 结构原理                                    叠堆形式                                    典型应用

PKVL60-080U/ 160U/240U系列技术参数