TS3000 Probe System 半自动300mm探针台测试系统

• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 高温度范围-60°C至300°C
• 大的灵活性
• 具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的小电缆距离，可实现更好的测量方向性
• 小的卡盘到工作台面高度可实现佳mmW和内部节点探测
• 通过在内部集成热系统的冷却器，将系统占地面积降至低

结合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60至300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行微型定位器和（或）探针卡测试，并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。

探针悬停控制

MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制，以实现探针到晶圆的精确定位。

超大面积工作台

TS3000系列提供了易于使用的大型探针座放置台面，以适应多达12套直流或4套射频的微定位器。

集成了负载拉力调谐器或更大面积的微型定位器，使得TS3000系统成为RF和mmW测量的理想选择。

快捷的晶圆装载

双门通道和独特的卡盘设计使150、200、300mm晶圆，及微小器件的快速更换

两只陶瓷用射频校准AUX卡盘位于面，可以很方便地进行装卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。

温控系统

MPI和ERS共同设计了新型300 mm热卡盘AirCool®PRIME 系列，具有无与伦比的热灵活性，可将变温时间减少60％，

减少转换时间，改善电气性能，在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升性是AirCool®PRIME热卡盘系统的附加价值。

便捷式的触摸屏实时显示卡盘温度，该触摸屏位于操作员方的便利位置，以实现快速的操作和即时的反馈。

ERS独特的AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS独特的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™，与市场上的其他系统相比，可大幅减少30％至50％的空气消耗。

探针卡和微型定位器

多达12套DC或4套DC和4套射频微型定位器，及4.5英寸的标准探针卡夹具，使该系统成为设计验证和（或）故障分析工作的理想选择。

安全测试管理（STM）系统

独特的STM系统可防止在测试过程中打开门，以保证测量结果很安全。在负吸盘温度期间，任何情况下都无法意外打开任何系统门。独特的智能露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足，则STM™会自动将卡盘转换为安全模式，尽快将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过自动保持安全的测试环境，使TS3000的测量更加安全，可靠和方便。

仪器集成

可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。