Beneq P400A & P800 原子层沉积系统
Beneq P400A & P800 原子层沉积系统

¥100万 - 200万

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P400A & P800

--

欧洲

  • 银牌
  • 第3年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

eneq P400A 和 P800 是专为工业规模生产设计的原子层沉积系统。它们是从研发阶段到大规模的工业化生产的理想工具。该系统经过工业认证,技术成熟可靠。该设计主要基于在严苛的工业应用中连续运行25年(24/7)的丰富经验。

我们的大多数工业客户需要专用的设备和工艺设置。Beneq 拥有多台 P400A 和P800 系统,用于满足应用开发和薄膜研发过程中的各种镀膜需求。
因此,那些寻找生产设备的客户可以在进行投资之前,验证工艺及设备的技书性能和财务成本。此外,我们还提供小规模量产的可能性,直到客户可以实现自主生产。


性能优势

  • 研发阶段后可立即扩大到生产阶段。

  • 用于可重复生产控制的日志记录。

  • UPS支持功能。

  • 维护需求更低。

  • 采用独特的迷你尺寸设计,可满足装载、批量生产、基底尺寸的灵活性以及污染控制。

  • 采用迷你尺寸和专有的过滤器设计,可从 P400 系统上分离进行清洗工作。进行清洗时无需停机。

  • 具有高性价比的热腔和大容量批量系统。

  • 独特的热稳定源供应系统、嵌入式快速计量阀和集成的前驱体通道。

  • 真空泵系统采用专有的大容量前驱体吸附和过滤系统,可实现大批量加工。

  • 除了正常的加热回路以外,附加 PLC 可通过专用热电偶避免过热,从而提高生产安全性。

  • 经过30年的发展,行业见证的高重复性和生产可靠性。


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 免费安装培训

免费仪器保养: 质保期内免费仪器保养

保内维修承诺: 质保期内免费非人为损坏免费维修

报修承诺: 24小时内到达现场并维修

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原子层沉积 P400A & P800的工作原理介绍

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原子层沉积 P400A & P800的操作规程有吗?

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