芬兰PICOSUN 原子层沉积系统 R系列

PICOSUN拥有30多年在芬兰ALD反应器制造而得到的专业技术。Tuomo Suntola博士，于1974年发明了ALD技术，是PICOSUN董事会的成员。我们的首席技术官SVEN LINDFORS从1975年开始连续的设计ALD系统。综合起来讲，PICOSUN拥有了200多年的ALD经验并贡献了100多项ALD专利。我们悠久的历史和广泛的背景使PICOSUN成为ALD技术优质的合作伙伴。

技术参数：

技术指标 
SUNALE™ R系列技术特点 

基本特点： 
晶片尺寸 2-6”, 50-150 mm (8’’ = 200 mm on request) 
工艺温度 Up to 500°C 

反应室体积 小型、中型、大型 
反应室材料 316 SS, Ti, Ni, Al (quartz) 
前驱体 2-6 气体 / 气体 / 固体 

基片装载 气体升降 


尺寸： 
尺寸 27.6 x 41.3 x 36.4’’, 70 x 105 x 92.5 cm (W x H x D) 
重量 200 kg 



工况： 
电源 100-240 V, 50/60 Hz, 1- or 3-phase, 3.7 kW Vac 
真空泵 30-80 m3/h 
载气 99.999 % N2 / Ar, min. 2 slm 

压缩空气 4-5.5 bar 过压 
冷却水 反应器不需要 

排气 为真空泵及源橱柜配备 

样品装载选项： 
Picoloader™手动样品装载系统，带一个预真空室和闸阀

主要特点：

特点 
多功能的反应器设计 
全套的服务