Zygo位移测量干涉仪ZMI™ 系列测量板卡
ZMI™ 系列 – 位移测量干涉仪
ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。
ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳，提供了两个测量轴。
ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中，支持扩展到多达 64 个测量轴。
我们荣获专利的循环减小误差选项可以自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差，从而达到最高的测量精度。
| 型号： | 501A | 2400 | 4004 | 4104(C) |
| 轴/板的数量： | 2 | 1 或 2 | 4 | |
| 板卡类型： | 外壳 | 6U VME | 6U VME64x | |
| 最小光功率： | 8.0 μW | 1.9 μW | 1.0 μW | 0.07 μW |
| 位置分辨率： | 1.24 nm | 0.31 nm | 0.15 nm | |
| 最大速度： | ±0.475 m/s | ±2.1 m/s | ±2.55 m/s | |
| 最大速度下的精度（σ）： | 1.6 nm | 0.5 nm | 0.2 nm | |
| 循环误差补偿： | 否 | 是 | ||
| 兼容的激光器： | 7705 | 7702、7714 和 7724 | ||
| 注意：规格是针对双通干涉仪的。 | ||||
