Zygo激光干涉仪Verifire™ MST

Zygo激光干涉仪Verifire™ MST

多表面同时测试干涉仪

化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案，Verifire™ MST 采用专利的波长调制技术，可同时采集多个表面的相位数据。  提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息，如总厚度变化（TTV）、楔角甚至是材料不均匀性。

Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量，可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。 

Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。

主要特点

同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 TTV 和楔角

薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析

广泛的横向分辨率，包括像素限制的光学设计，可提供最佳的 ITF

1.2k x 1.2k（包括分立变焦，可实现高达 3 倍的光学变焦（适用于进口干涉仪））

2.3k x 2.3k

3.4k x 3.4k

工作波长为 633 nm 到 1.053 μm、1.064 μm 和 1.55 μm

ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集

Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置，可消除靶心并降低相干噪声