Zygo激光干涉仪Verifire™ MST
多表面同时测试干涉仪
化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案,Verifire™ MST 采用专利的波长调制技术,可同时采集多个表面的相位数据。 提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息,如总厚度变化(TTV)、楔角甚至是材料不均匀性。
Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量,可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。
Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。
主要特点
同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 TTV 和楔角
薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
广泛的横向分辨率,包括像素限制的光学设计,可提供最佳的 ITF
1.2k x 1.2k(包括分立变焦,可实现高达 3 倍的光学变焦(适用于进口干涉仪))
2.3k x 2.3k
3.4k x 3.4k
工作波长为 633 nm 到 1.053 μm、1.064 μm 和 1.55 μm
ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术,可在振动较常见的环境中实现可靠的测量,该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集
Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置,可消除靶心并降低相干噪声
最多添加5台