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Zygo激光干涉仪Verifire™ XL
大口径立式干涉仪
大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式干涉仪工作站，可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。
这款完全集成的系统易于使用，其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位，而无需定制夹具。
占地面积小，内置隔振系统，并配有控制器显示器支架，只占用很小的车间地板空间。
独立的大口径工作站，用于测量直径达 12 英寸（300 mm）的平面光学表面面形，如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。
主要特点
12 英寸（300 mm）口径，下视式立式设计，便于零件处理和对准
一站式的独立系统，包括干涉仪主机、被动隔振系统、测试件对准台和 1/15 波 PVr 透射平面镜（TF）
紧凑的尺寸，最大限度地减少了对宝贵地面空间的占用
集成的隔振和 QPSI™ 技术允许在生产环境中进行可靠的测量
