系统参数：
◆原理非接触、三维白光扫描干涉仪。
◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器。
◆物镜: 1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X, 工作距离分别有标准/长焦/超长焦详见物镜参数表。
◆物镜座选件: 电动4位塔台可选。
◆视场放大倍数:高质量分立放大倍率镜头：0.5X,1.0X,2.0X。
◆成像放大视场：电动3位系统成像放大0.04-16mm,跟物镜和放大倍率有关，运用图像拼接技术可以得到更大范 围。
◆光源: 特殊设计长寿命白光LED。
◆控制：滤光板托架，视场光阑（辅助聚焦）。
◆测量阵列:1600×1600。
◆样件观察:专用液晶显示屏实时观察。
◆精密聚焦：电控手动和自动聚焦
◆Z 轴驱动（聚焦）:直流无刷微步进电机驱动，100mm行程，0.1um的精度
◆样品台: 电动,俯仰±3°和XY平移（±76mm）
◆计算机: 带液晶显示器的高性能DELL计算机
◆软件: 在Microsoft Windows7下运行的ZYGO Mx软件
◆尺寸（HWD）: 总尺寸：151×73×61cm; newview：75x64x56cm; 防震台：76x61x61cm
◆总重量: 约229Kg; newview：约91Kg
性能：
◆纵向扫描范围：150 um，可扩展到20mm
◆纵向分辨率：＜0.08nm
◆横向分辨率：0.34-16.42um 与所选物镜有关
◆扫描速度： ≥150 um/sec,与所选的CCD和扫描模式有关
◆RMS重复性：＜0.008nm, RMSσ
◆台阶测量：准确度 ≤ 0.8%；重复性≤0.1%@1σ
被测样品特性：
◆材料： 各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射
◆最大尺寸（HWD）：89 x 203 x 203mm 或更大
◆反射率：0.05%-100%
环境要求：
◆温度： 15-30℃ ＜1.0°C/15 分钟
◆湿度： 相对湿度 5%-95%，无凝结
◆隔振：需要隔离 1-120Hz 的振动（VC-C）
