仪器种类： 进口等离子体表面处理仪
射频频率： 13.56MHz
功率： 220W
设备尺寸： 59.69*71.12*30.48
样品腔容积： 45.72*45.72*30.48
样品腔材质： 铝
工作气体： 3
控制方式： 手动
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YES–G1000对于清洁，剥离和表面改性，等离子体是有毒化学物质的有效替代品，并且在表面上没有残留溶剂。 副产物是惰性的并且对环境安全。 G1000的工作频率为13.56MHz，用户可以从5种等离子模式中进行选择。 各向异性模式包括RIE和有源离子阱； 各向同性模式包括下游（无电子），有源和下游离子阱。
•13.56 MHz的射频等离子体
•低压环境
•下游侵蚀性等离子体
•温度监控器
•3个气体输入
•气体输入可包含更多深奥气
体，例如合成气，CF4和SF
产品货期: 15天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修图纸；技术参数；专用工具；故障代码；维修手册
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