仪器种类: 进口等离子清洗器
射频频率: 40
功率: 1200
设备尺寸: 61*110*143
样品腔容积: 3.6
样品腔材质: 有机物/光刻胶
工作气体: 1/2/3/4
控制方式: 自动
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享受高达每分钟7,000埃的快速剥离速度,同时实践对工程师和操作员而言更安全的绿色制造。无需有毒化学物质,RFS系列可为各种应用提供较低的拥有成本和灵活的等离子功率设置。此外,RFS系列提供精确的温度控制,以实现均匀,可重复的结果。下游过程不提供等离子体充电。当准备好进行大规模生产时,您可以无缝过渡到我们的大批量自动化EcoClean系统。
强大的清洁功能可去除光致抗蚀剂,聚酰亚胺和BCB;
具有温和的Descum功能
产品货期: 15天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修图纸;技术参数;专用工具;故障代码;维修手册
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