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EZ 紫外纳米压印设备:PL200,PL400,PL600
可供实验室研发使用的UV纳米压印设备,通过一步骤和Auto-ReleaseTM自动脱膜技术,同时压印效果可达10nm,且具备准确套刻能力,该技术由惠普实验室研发(HP Lab.).该设备是业内最 具性价比的产品,在业内多家著 名的纳米实验室使用。
设备型号:PL200/PL400/PL600
可实现高质量的图形复制
可实现纳米热压设备的一切功能,而无需昂贵的工艺设备。
典型应用
在硅片上制作纳米级光栅
压印易碎的材料(例如III-V族材料)
微结构加工
制作压印印章
保护母版的适用寿命
热压高深宽比结构图形
主要性能
Wafer尺寸:2英寸,4英寸,6英寸;(可兼容小尺寸及不规则衬底压印工艺)
压印尺寸:2,4,6英寸;(全图形压印)
压印压力:0~25PSI(可升级到最 大100PSI)
模板尺寸:6,4,2,1”
典型压印时间:小于5分钟/wafer
Auto-Realease 自动脱膜工艺(无需特殊设备,自动脱膜工艺保证了纳米压印的高良率)
可根据用户和研发的需要扩张各种功能和应用
PLC触摸屏控制
兼容传统的聚合物UV固化工艺
压印效果可达10nm
产品良率可达99%
可完成对准功能(可选)
可提供模板制作及压印胶等辅助材料(可选)
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可支持压印工艺:
纳米压印模板自动脱离工艺-减少纳米压印结构缺陷
纳米压印胶点胶装置-可过滤0.20um的杂质,保证压印效果
纳米压印单层压印工艺-适合刻蚀(etching)工艺
纳米压印双层压印工艺-适合剥离(lift-off)工艺
纳米压印程序设定及优化工艺-可掌握纳米压印关键技巧
纳米压印模板抗粘层处理及材料-可对模板进行抗粘层处理
纳米压印模板复制工艺-可完成复制母版工艺
纳米压印快速模板转换工艺-可使用硅模板简单转化并实现UV压印工艺
纳米压印软膜压印工艺-提供完整的软膜压印工艺,可完成曲面压印并减少压印结构缺陷
应用实例:
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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