丘山仪器 RM100A 扫描四探针电阻率测试仪

RM100A 扫描四探针测试仪 

RM100A是专为科学研究设计的扫描四探针电阻测试仪，可以对不超过100mm的样品（或4英寸晶圆）进行快速、自动的扫描，获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。探针头借鉴了机械钟表机芯制造工艺，使用红宝石轴承引导碳化钨探针，确保高机械精度和长使用寿命。动态测试重复性（接近真实场景）可达0.2%，为行业前沿水平。0.1 μΩ~110 MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景，可广泛适用于光伏、半导体、合金、陶瓷等诸多领域。

 ● 特性

 * 全自动多点扫描：多种测试方案供选择，也可以自定义测试方案

 * 手动任意点测量：只需提供坐标，一键测量

 * 精密探针头：镶嵌红宝石轴套的探针头，保证测量的机械精度、稳定性和寿命

 * 超宽测量范围：  0.1 μΩ~110 MΩ

 * 样品尺寸：        100 mm*100 mm*10 mm

 * 测量速度：        2 秒/点

 * 测量精度：     <±1%

 * 重复性(1σ)：     <±0.2% （动态测试）

            <±0.02%（静态测试）

 * 数据可视化：    2D 颜色编码图和3D等高线图

 * 数据自动存储：存储为EXCEL文本格式，便于后期数据分析

 ● 应用

 * 半导体及太阳能电池（单晶硅、多晶硅、非晶硅、钙钛矿）

 * 液晶面板（ITO/AZO）

 * 功能材料（热电材料、碳纳米管、石墨烯、银纳米线、导电纤维布）

 * 半导体工艺（金属层/离子注入/扩散层）

 ● 定位精度

 * 绝对定位精度：40 μm

 * 重复定位精度： 5 μm

 * 位移分辨率：   1 μm

 ● 探针头参数

 * 探针间距：1.00 mm

 * 探针材料：碳化钨

 * 探针压力（可选）：3~5 N（薄膜），5~7 N（薄片）

 * 机械游移：< 0.3%

 * 宝石轴承内孔与探针间距：< 6 μm

 ● 重复性测试

 ● 外观尺寸（长*宽*高）

 * 主机：355 mm * 385 mm * 255 mm

 * 欧姆表：295 mm * 215 mm * 80  mm