URE-2000B 型紫外单面光刻机

1．技术参数

。曝光面积：100mmX100mm

。曝光波长：365nm

。分辨力：0.8μm（胶厚 2μm 的正胶）

。对准精度：± 0.6μm

。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸：直径 ± 15mm--± 100mm（各种不规则片）

厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)

。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

。照明不均匀性： 2.5%（±100mm 范围）

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍物镜 3 对：4 倍、10 倍、20 倍； 目镜 3 对：10 倍、16 倍、20 倍

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接口15

。掩模相对于样片运动行程： X:  ±5mm; Y:  ±5mm; Thellta:  ±6 度

。最大焦厚：600μm（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行度：1.2o

。曝光能量密度：>20mW/cm

。汞灯功率：1000W（直流，进口）

2．外形尺寸：1400mm（长）?1200mm(宽) ?1950mm（高）

3．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片自动调焦机构

。承片台 4 个（?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜及 CCD 对准系统

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD

。21 英寸液晶显示器

（4）电控系统

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)16

。单片机控制系统

。控制柜桌

（5）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪

（6）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台（静音泵）

。管道