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URE-2000/17 型紫外单面光刻机(台式)
技术参数
。曝光面积:4 英寸
。曝光波长:365nm
。分辨力:1.5μm(胶厚 2 ?m 的正胶)
。对准精度:±1μm
。掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸:直径 Ф 15mm-- Ф 100mm,厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
。曝光方式:定时和定剂量
。照明不均匀性: 5%(Ф 100mm 范围)
。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
。掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞灯功率:200W(直流)
。曝光能量密度:6mW/cm
2.外形尺寸:650mm(长)x600mm(宽) x900mm(高)36
3.配置
(1)曝光头
。200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。光学系统
。冷却风扇
(2)对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,手动
。样片调焦机构,手动
。承片台 3 个(Ф 50mm 、?75mm 、 ?100mm )
。掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
。掩模抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
。光源(配备品 2 只)、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD(台湾)
。21 寸液晶显示器
(4)电控系统
。汞灯触发电源(200W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制机箱
(5)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
(6)其他附件
。真空泵一台
。管道
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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