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WAFER AOI光学检验系统
进料的wafer,经过正反面目检和显微镜正面micro检查,进行检查和分选。操作员不接触wafer,避免了污染和损伤wafer。
性能描述:
标准配备1个Load port,单臂翻转Robot,Pre-aligner,目检台和显微镜。
兼容8寸和12寸wafer
标准load port可以对应FOUP,AutoFOSB自动开盖,具备mapping功能
高精度运动机构,低噪音,低尘,无需供油。
触摸屏操作,界面友好。
对应GEM300,采用SEMI标准软件
晶圆光学检测机:
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 面议
免费仪器保养: 面议
保内维修承诺: 面议
报修承诺: 面议
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