YAMATO雅马拓等离子清洗机 YSP63FA
YAMATO雅马拓等离子清洗机 YSP63FA

¥10万 - 30万

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雅马拓

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YSP63FA

--

亚洲

  • 银牌
  • 第8年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

可进行样品传输系统定制
●  操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
●  软性基板也可以进行传送操作。
●  传送速度可在Hi-Low间调节。
●  可通过网络进行远程操作(选购品)。

规格 

型号

YSP63FA

模式

RIE(DP模式选购)

高频输功率

600W

反应台尺寸

W385×D362mm

内腔尺寸

W395×D378×H45mm(内尺寸)

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)

反应气体流量控制

质量流量控制器

真空泵

旋转式真空泵(约500L/min)

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训:

免费仪器保养:

保内维修承诺: 正常使用情况下免费提供更换零部件

报修承诺: 及时维修

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