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俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000
准分子激光器： CL7000, 俄罗斯 Optosystem
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CL7000系列技术参数：
型号 | ArF | KrF | XeCl |
波长 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
管材料 | 陶瓷 |
预电离 | 火花 |
标准脉冲能量 | 250 mJ | 400 mJ | 300 mJ |
平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100 |
5 W
10 W
20 W
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8 W
20 W
35 W
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6 W
15 W
25 W
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最大重复频率
CL 7020
CL 7050
CL 7100 |
20 Hz
50 Hz
100 Hz
|
脉宽 | 17 ns | 20 ns | 20 ns |
脉冲稳定度 | sigma < 2% |
光斑大小 | 6 x 20 mm | 6 x 21 mm | 7 x 22 mm |
光束发散角 | 1.5 x 4.5 mrad |
时间抖动 | < 2 ns |
尺寸, (重量) | 1350L x 375W x 710H мм (170 kg) |
冷却
CL 7020
CL 7050
CL 7100 |
风冷
水冷（水流< 1L/min）
水冷（水流< 3L/min）
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功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100 |
220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA
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气体 | 1 premix cylinder |
控制接口 | RS 232, DOS/Windows |
可选功能：
1 、1000Kz型号可选
2、窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1
3、 F2，157nm型号可选
特点：
1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命
2、激光腔，电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模式
4、预混合供气，使用简单
5、计算机控制
应用 ：
1、准分子激光脉冲沉积镀膜
2、准分子激光光栅光纤（FBG）刻写
3、准分子激光材料加工，微纳制造，光刻
准分子激光激光沉积镀膜（PLD）系统示意图
准分子激光器光纤光栅（FBG）刻写原理图
